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本实用新型涉及晶片研磨盘，包括盘体，盘体正中设置有与研磨机转轴匹配的轴孔，盘体内设置有与其同心的永磁铁圈，盘体上下表面均设置有若干晶片固定槽，盘体同一面的若干个晶片固定槽位于同一圆周上，盘体上下表面均设置有环形凹槽，环形凹槽位于晶片固定槽外...
该专利属于嘉兴晶控电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过嘉兴晶控电子有限公司授权不得商用。

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