一种硅片清洗甩干机制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体制备设备技术领域，且公开了一种硅片清洗甩干机，包括固定箱，所述固定箱的下表面固定连接有保护箱，所述保护箱内壁底部的中心处固定连接有支撑板，所述支撑板的上表面固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有托盘，所述固定箱内壁左右两侧的下部均固定连接有固定架，所述固定架内壁的上表面固定连接有卡块，所述卡块的上表面固定连接有固定块，所述固定块的一侧设置有电热丝，所述固定架内壁的左右两侧均设置有风机，所述固定箱上表面的中心处开设有孔洞，所述孔洞的内部固定连接有水管，所述水管的上表面固定连接有水箱。该硅片清洗甩干机具有能够对硅片进行清洗和烘干且具有操作简单和成本较低的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片清洗甩干机
本技术涉及半导体制备设备
，具体为一种硅片清洗甩干机。
技术介绍
随着世界经济的不断发展，现代化建设对高效能源需求不断增长。光伏发电作为绿色能源以及人类可持续发展的主要能源的一种，日益受到世界各国的重视并得到大力发展，单晶硅片和多晶硅片作为光伏发电的太阳能电池片的基础材料，拥有广泛的市场需求，硅片是一种半导体器件基础材料，是由硅锭通过切割加工成具有一定厚度的片状基底材料，通过在基底材料上进行若干工序形成具有各种功能的半导体器件，是组成各种电子设备的基础，在现在的工业产品生产过程中，例如硅片的生产过程中，需要对生产出来的硅片进行清洗，但是市场上对硅片清洗的设备不具备烘干功能。本技术一种硅片清洗甩干机具有能够对硅片进行清洗和烘干且具有操作简单和成本较低的优点。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本技术提供了一种硅片清洗甩干机，具备能够对硅片进行清洗和烘干且具有操作简单和成本较低等优点，解决了上述
技术介绍
中的问题。(二)技术方案为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种硅片清洗甩干机，包括固定箱，所述固定箱的下表面固定连接有保护箱，所述保护箱内壁底部的中心处固定连接有支撑板，所述支撑板的上表面固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有托盘，所述固定箱内壁左右两侧的下部均固定连接有固定架，所述固定架内壁的上表面固定连接有卡块，所述卡块的上表面固定连接有固定块，所述固定块的一侧设置有电热丝，所述固定架内壁的左右两侧均设置有风机，所述固定箱上表面的中心处开设有孔洞，所述孔洞的内部固定连接有水管，所述水管的上表面固定连接有水箱，所述水管远离水箱的一端固定连接有喷头，所述托盘右下角处设置有出水管，所述出水管上设置有第一阀门。优选的，所述固定箱的右下角处设置有活动门。优选的，所述保护箱下表面的左右两侧均固定连接有滚轮。优选的，所述滚轮的数量为四个，且四个滚轮呈矩形阵列的方式固定连接在保护箱的下表面。优选的，所述固定箱右侧的上部固定连接有把手。优选的，所述水管上部的外表面设置有第二阀门。(三)有益效果与现有技术相比，本技术提供了一种硅片清洗甩干机，具备以下有益效果：1、该硅片清洗甩干机，通过固定块、电热丝和风机的设置，当硅片在托盘上部清洗完成后，启动风机和电热丝，使风机吹出的风变为热风，达到对硅片烘干的目的，通过水箱和喷头的设置，通过打开第二阀门使水箱内的水流出，达到对硅片清洗的目的。2、该硅片清洗甩干机，通过电机和托盘的设置，当将硅片放置在托盘内时，启动电机使托盘旋转，当在进行烘干时，从而使硅片能够随着托盘的旋转而旋转，达到使硅片快速干燥的目的，通过出水管的设置，清洗硅片后的污水能够经出水管流出到托盘外，起到排放污水的作用。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术风机结构示意图。图中：1固定箱、2保护箱、3支撑板、4电机、5托盘、6固定架、7固定块、8电热丝、9风机、10水管、11水箱、12喷头、13出水管、14活动门、15滚轮、16把手、17卡块。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1至图2，本技术提供一种技术方案：一种硅片清洗甩干机，包括固定箱1，固定箱1右侧的上部固定连接有把手16，起到方便推动设备的作用，固定箱1的右下角处设置有活动门14，起到方便清理污水的作用，固定箱1的下表面固定连接有保护箱2，保护箱2下表面的左右两侧均固定连接有滚轮15，滚轮15的数量为四个，且四个滚轮15呈矩形阵列的方式固定连接在保护箱2的下表面，起到方便设备移动的作用，保护箱2内壁底部的中心处固定连接有支撑板3，支撑板3的上表面固定连接有电机4，当在进行烘干时，从而使硅片能够随着托盘5的旋转而旋转，达到使硅片快速干燥的目的，起到带动托盘5转动的作用，电机4的输出端固定连接有托盘5，固定箱1内壁左右两侧的下部均固定连接有固定架6，固定架6内壁的上表面固定连接有卡块17，卡块17的上表面固定连接有固定块7，固定块7的一侧设置有电热丝8，固定架6内壁的左右两侧均设置有风机9，当硅片在托盘5上部清洗完成后，启动风机9和电热丝8，使风机9吹出的风变为热风，达到对硅片烘干的目的，固定箱1上表面的中心处开设有孔洞，孔洞的内部固定连接有水管10，水管10上部的外表面设置有第二阀门，水管10的上表面固定连接有水箱11，水管10远离水箱11的一端固定连接有喷头12，托盘5右下角处设置有出水管13，出水管13上设置有第一阀门，清洗硅片后的污水能够经出水管13流出到托盘5外，起到排放污水的作用。该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220V市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。综上所述，该硅片清洗甩干机，通过固定块7、电热丝8和风机9的设置，当硅片在托盘5上部清洗完成后，启动风机9和电热丝8，使风机9吹出的风变为热风，达到对硅片烘干的目的，通过水箱11和喷头12的设置，通过打开第二阀门使水箱11内的水流出，达到对硅片清洗的目的，通过电机4和托盘5的设置，当将硅片放置在托盘5内时，启动电机4使托盘5旋转，当在进行烘干时，从而使硅片能够随着托盘5的旋转而旋转，达到使硅片快速干燥的目的，通过出水管13的设置，清洗硅片后的污水能够经出水管13流出到托盘5外，起到排放污水的作用。需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片清洗甩干机，包括固定箱(1)，其特征在于：所述固定箱(1)的下表面固定连接有保护箱(2)，所述保护箱(2)内壁底部的中心处固定连接有支撑板(3)，所述支撑板(3)的上表面固定连接有电机(4)，所述电机(4)的输出端固定连接有托盘(5)，所述固定箱(1)内壁左右两侧的下部均固定连接有固定架(6)，所述固定架(6)内壁的上表面固定连接有卡块(17)，所述卡块(17)的上表面固定连接有固定块(7)，所述固定块(7)的一侧设置有电热丝(8)，所述固定架(6)内壁的左右两侧均设置有风机(9)，所述固定箱(1)上表面的中心处开设有孔洞，所述孔洞的内部固定连接有水管(10)，所述水管(10)的上表面固定连接有水箱(11)，所述水管(10)远离水箱(11)的一端固定连接有喷头(12)，所述托盘(5)右下角处设置有出水管(13)，所述出水管(13)上设置有第一阀门。

【技术特征摘要】
1.一种硅片清洗甩干机，包括固定箱(1)，其特征在于：所述固定箱(1)的下表面固定连接有保护箱(2)，所述保护箱(2)内壁底部的中心处固定连接有支撑板(3)，所述支撑板(3)的上表面固定连接有电机(4)，所述电机(4)的输出端固定连接有托盘(5)，所述固定箱(1)内壁左右两侧的下部均固定连接有固定架(6)，所述固定架(6)内壁的上表面固定连接有卡块(17)，所述卡块(17)的上表面固定连接有固定块(7)，所述固定块(7)的一侧设置有电热丝(8)，所述固定架(6)内壁的左右两侧均设置有风机(9)，所述固定箱(1)上表面的中心处开设有孔洞，所述孔洞的内部固定连接有水管(10)，所述水管(10)的上表面固定连接有水箱(11)，所述水管(10)远离水箱(11)的一端固定连...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈忠海，
申请(专利权)人：苏州德瑞姆超声科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32