一种配合于硅片清洗机的硅片清洗转运箱制造技术

本实用新型专利技术属于硅片清洗领域，具体的说是一种配合于硅片清洗机的硅片清洗转运箱，包括运输箱，所述运输箱的顶端活动安装有保护盖，所述保护盖的顶端固定安装有把手一，所述运输箱的内侧底端固定安装有液压缸，所述液压缸的顶端固定安装有传动盘，所述传动盘的顶端固定安装有若干组连接座，所述连接座的顶端开设有卡槽，且连接座的内侧固定安装有电机，所述电机的一端传动安装有驱动轮，所述驱动轮的一侧位于卡槽的内侧，工作时，解决了硅片清洗时不发生运动，导致清洁效果较差的问题，同时硅片上有部分区域和装置接触，导致清洗不到位的问题，从而提高了装置的清洁效果。从而提高了装置的清洁效果。从而提高了装置的清洁效果。

【技术实现步骤摘要】
一种配合于硅片清洗机的硅片清洗转运箱


[0001]本技术涉及硅片清洗领域，具体是一种配合于硅片清洗机的硅片清洗转运箱。

技术介绍

[0002]硅片是制作半导体的主要材料，半导体生产中的硅片，必须进过多步骤且严谨的清洗流程，才可以进行生产，稍微细小的污渍残留，都会造成半导体的实效；
[0003]现有的硅片清洗转运箱往往结构简单，在固定硅片的方便只是将硅片进行定位式的固定，且不具备晃动效果，导致清洗效果一般，且定位式的固定，会导致硅片与装置接触的部位不能全面与液体接触，导致清洗效果较差。

技术实现思路

[0004]为了弥补现有技术的不足，清洗效果一般的问题，本技术提出一种配合于硅片清洗机的硅片清洗转运箱。
[0005]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：本技术所述的一种配合于硅片清洗机的硅片清洗转运箱，包括运输箱，所述运输箱的顶端活动安装有保护盖，所述保护盖的顶端固定安装有把手一，所述运输箱的内侧底端固定安装有液压缸，所述液压缸的顶端固定安装有传动盘，所述传动盘的顶端固定安装有若干组连接座，所述连接座的顶端开设有卡槽本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种配合于硅片清洗机的硅片清洗转运箱，其特征在于：包括运输箱(1)，所述运输箱(1)的顶端活动安装有保护盖(2)，所述保护盖(2)的顶端固定安装有把手一(3)，所述运输箱(1)的内侧底端固定安装有液压缸(6)，所述液压缸(6)的顶端固定安装有传动盘(5)，所述传动盘(5)的顶端固定安装有若干组连接座(4)，所述连接座(4)的顶端开设有卡槽(14)，且连接座(4)的内侧固定安装有电机(16)，所述电机(16)的一端传动安装有驱动轮(15)，所述驱动轮(15)的一侧位于卡槽(14)的内侧。2.根据权利要求1所述的一种配合于硅片清洗机的硅片清洗转运箱，其特征在于：所述运输箱(1)的内侧固定安装有阻挡环(10)，所述阻挡环(10)的顶端设置有阻断板(17)，所述阻断板(17)成圆盘形设置，且阻挡环(10)的内环也为圆环形设置，所述阻断板(17)...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈忠海，
申请(专利权)人：苏州德瑞姆超声科技有限公司，
类型：新型
国别省市：