一种全自动硅片清洗机用清洗液回收过滤装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于硅片技术领域，具体的说是一种全自动硅片清洗机用清洗液回收过滤装置，包括壳体；所述壳体的内侧壁固接有排水板；所述排水板的内部开设有排水孔件；所述壳体的内部设有有过滤板件；所述过滤板件的顶端固接有一号滤渣件；通过一号导向件、二号导向件和三号导向件的配合可以把水导向一号导向件，通过一号导向件和二号过滤件和三号过滤件的配合，可以把使用后的清洗水进行过滤，再通过抽水泵的输出使水可以再次使用，从而可以节省水的浪费避免环境污染，通过过滤板件可以使水循环利用。用。用。

【技术实现步骤摘要】
一种全自动硅片清洗机用清洗液回收过滤装置


[0001]本技术属于硅片
，具体的说是一种全自动硅片清洗机用清洗液回收过滤装置。

技术介绍

[0002]半导体器件生产中硅片须经严格清洗；微量污染也会导致器件失效；硅片清洗后的污水直接排放，浪费水又污染环境。
[0003]目前现有技术中，清洗过滤是利用清洗过后不清洁的水，当液体经过滤件过滤后，液体过滤干净，液体可以实现回收循环再使用，清洗设备将清洗后的污水直接排放，既浪费又易造成环境污染，在此我们提供一种全自动硅片清洗机用清洗液回收过滤装置。

技术实现思路

[0004]为了弥补现有技术的不足，解决目前现有技术中，清洗过滤是利用清洗过后不清洁的水，当液体经过滤件过滤后，液体过滤干净，液体可以实现回收循环再使用，清洗设备将清洗后的污水直接排放，既浪费又易造成环境污染的问题，本技术提出的一种全自动硅片清洗机用清洗液回收过滤装置。
[0005]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：本技术所述的一种全自动硅片清洗机用清洗液回收过滤装置，包括壳体；所述壳体的内侧壁固接有排水板；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种全自动硅片清洗机用清洗液回收过滤装置，其特征在于：包括壳体(1)；所述壳体(1)的内侧壁固接有排水板(21)；所述排水板(21)的内部开设有排水孔件(22)；所述壳体(1)的内部设有有过滤板件(23)；所述过滤板件(23)的顶端固接有一号滤渣件(24)；所述一号滤渣件(24)的底端固接有一号导向件(251)；所述一号导向件(251)的底端固接有一号过滤件(252)；所述一号过滤件(252)的底端固接有二号导向件(253)；所述二号导向件(253)的底端固接有二号过滤件(254)；所述二号过滤件(254)的底端固接有三号导向件(255)；所述三号导向件(255)的底端固接有三号过滤件(256)；所述过滤板件(23)的内侧壁固接有固位件(257)；所述固位件(257)的中部固接有导水件(258)；所述壳体(1)的内部固接有抽水泵(26)；所述抽水泵(26)的顶端固接有水管件(27)；所述壳体(1)的内部固接有隔板件(28)。2....

【专利技术属性】
技术研发人员：陈忠海，
申请(专利权)人：苏州德瑞姆超声科技有限公司，
类型：新型
国别省市：