The invention discloses a wafer anti-fragment alarm system for wafer detection, which belongs to the field of wafer detection. The purpose of the invention is to provide a wafer anti-fragment alarm system which can effectively avoid wafer deviation from the wafer box and thus impact on the inner wall of the measuring platform. The technical key points of the system include main control unit, power supply circuit, detection circuit and buzzer report. Alarm circuit; main control unit; power supply circuit, whose input terminal is connected with VCC terminal of the first control chip STC12C2052AD through conversion, and powers the buzzer alarm circuit; detection circuit includes the photosensitive probe terminal XS1 for installing photosensitive probe, and the photosensitive probe terminal XS1 is connected with the AD of the first control chip STC12C2052AD. The C7 port transfers the detection signal to the photosensitive probe. It can effectively prevent the wafer from falling out of the wafer box and thus hitting the inner wall of the platform.
【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆防破片报警系统
本专利技术涉及晶圆片检测领域,特别涉及一种用于晶圆防破片报警系统。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆制造厂把这些多晶硅融解,再在融液里种入籽晶,然后将其慢慢拉出,以形成圆柱状的单晶硅晶棒,由于硅晶棒是由一颗晶面取向确定的籽晶在熔融态的硅原料中逐渐生成,此过程称为“长晶”。硅晶棒再经过切段,滚磨,切片,倒角,抛光,激光刻,包装后,即成为集成电路工厂的基本原料——硅晶圆片,这就是“晶圆”。晶圆在加工后,一般需要使用中测台测量晶圆的导电性能,检测时晶圆通过晶圆匣放置于中测台内,但是在检测过程中,中测台产生的微振动很容易使得晶圆偏出晶圆匣而触碰到中测台内侧壁,由于晶圆本身的易碎特性,很容易到导致晶圆破片。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种用于晶圆防破片报警系统,具有有效防止晶圆破片的优点。本专利技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:一种用于晶圆防破片报警系统,其特征在于:包括主控单元、供电电路、检测电路、蜂鸣器报警电路;主控单元,包括第一控制芯片STC12C2052AD;供电电路,其输入端接外部稳压源经转换接入第一控制芯片STC12C2052AD的VCC端,并给蜂鸣器报警电路供电;检测电路,包括用于安装感光探头的感光探头端子XS1,感光探头端子XS1连接第一控制芯片STC12C2052AD的ADC7端口向其传输感光探头的检测信号;蜂鸣器报警电路,包括第一开关电路和蜂鸣器,第一开关电路包括开关管Q1, ...
【技术保护点】
1.一种用于晶圆防破片报警系统,其特征在于:包括主控单元、供电电路、检测电路、蜂鸣器报警电路;主控单元,包括第一控制芯片STC12C2052AD;供电电路,其输入端接外部稳压源经转换接入第一控制芯片STC12C2052AD的VCC端,并给蜂鸣器报警电路供电;检测电路,包括用于安装感光探头的感光探头端子XS1,感光探头端子XS1连接第一控制芯片STC12C2052AD的ADC7端口向其传输感光探头的检测信号;蜂鸣器报警电路,包括第一开关电路和蜂鸣器,第一开关电路包括开关管Q1,开关管Q1的基极接入第一控制芯片STC12C2052AD的ADC端,集电极接入蜂鸣器负极,蜂鸣器正极与供电电路输出端连接。
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆防破片报警系统,其特征在于:包括主控单元、供电电路、检测电路、蜂鸣器报警电路;主控单元,包括第一控制芯片STC12C2052AD;供电电路,其输入端接外部稳压源经转换接入第一控制芯片STC12C2052AD的VCC端,并给蜂鸣器报警电路供电;检测电路,包括用于安装感光探头的感光探头端子XS1,感光探头端子XS1连接第一控制芯片STC12C2052AD的ADC7端口向其传输感光探头的检测信号;蜂鸣器报警电路,包括第一开关电路和蜂鸣器,第一开关电路包括开关管Q1,开关管Q1的基极接入第一控制芯片STC12C2052AD的ADC端,集电极接入蜂鸣器负极,蜂鸣器正极与供电电路输出端连接。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆防破片报警系统,其特征在于:所述供电电路包括两个稳压芯片7812、7805,电阻R2,二极管D1,电容C5、C4,外部稳压源依次通过电阻R2、二极管D1接入稳压芯片7812的输入端,稳压芯片7812输出端接入稳压芯片7805输入端,稳压芯片7805的输出端接入第一控制芯片STC12C2052AD的VCC端。3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆防破片报警系统,其特征在于:报警系统还包括探头工作指示灯电路,所述探头工作指示灯电路包括发光二极管D3,电阻R6,发光二极管D3的正极接稳压芯片7805的输出端,发光二极管D3的负极通过电阻R6接入第一控制芯片STC12C2052AD的ADC7端口。4.根据权利要求2所述的一种用于晶圆防破片报警系统,其特征在于:报警系统还包括呼叫器模块和呼叫器连接电路,呼叫器模块用于通知工作人员出现偏出晶圆的中测台,第一控制芯片STC12C2052AD与呼叫器模块通过呼叫器连接电路连接。5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆防破片...
【专利技术属性】
技术研发人员:季建松,何志强,
申请(专利权)人:江阴佳泰电子科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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