一种加热组件制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体设备加工技术领域，尤其涉及一种加热组件。本申请提供的加热组件，设于载板下方，包括呈上下设置的第一加热单元及第二加热单元，第一加热单元包括多根平行布置的第一加热元件，第二加热单元包括多根平行布置的第二加热元件；第一加热元件的排布方向垂直于第二加热元件的排布方向设置，且第一加热元件与第二加热元件在载板加热面上的投影构成多个环形加热区域。结构简单，设计合理，通过设有上下两层的加热单元，每个加热单元均包括多根加热元件，且两个加热单元的加热元件在载板加热面上的投影共同构成了多个环形加热区域，如此，把载板的加热面分为多个环形的区域，有效提高了加热温度分布的均匀性，利于工艺结果的提升。

【技术实现步骤摘要】
一种加热组件
本技术涉及半导体设备加工
，尤其涉及一种加热组件。
技术介绍
目前，光电器件、太阳能器件、半导体器件通常利用多种制造工艺处理衬底表面而被制造。外延膜或材料通过化学气相沉积(CVD)工艺或金属有机物CVD(MOCVD)工艺被生长或沉积在衬底上的方法被广泛应用，外延膜或材料通常对于特定的器件，例如光电器件、太阳能器件等都会包括多个不同组分的层。CVD技术常常通过反应类型或者压力来分类，包括低压CVD(LPCVD)、常压CVD(APCVD)、等离子体增强CVD(PECVD)及金属有机化合物CVD(MOCVD)等。共同特征是用于工艺沉积的腔室与大气隔绝，内部用于沉积薄膜工艺的晶片衬底需要加热到一定的工艺温度，例如用于硅外延的APCVD和用于沉积GaN的MOCVD，其外延工艺温度超过1000℃。高温下如何保持温度均匀性，对工艺的结果会产生巨大的影响，如LED行业中的MOCVD设备的温度均匀性被要求达到1℃。特别的，对于平板式反应腔室，例如公开专利CN102422392加热灯系统及其方法的实施方案中，通过使晶片承载器沿着晶片承载器轨道将晶片衬底移送至工艺沉积腔室内，用于支撑晶片衬底的晶片衬托器下表面暴露于从加热灯组件辐射的能量下，同时晶片衬底被晶片衬托器加热至工艺温度。具体如图1所示，红外加热灯组件被布置在晶片承载器轨道的下方，其中包括多个安装高度一样的红外加热灯管624，多个红外加热灯管624平行排布，构成加热区。但是，采用上述红外加热灯管平行排布的方式，虽说可以独立调节每个灯管的电量用以控制灯管辐射的能量，但是只能调节灯管平行排布方向的温度分布，而与灯管排布垂直方向的温度分布则无法调节，即每只灯管的长度方向无法调节功率，也就不能调节该方向上的温度分布，这个缺陷造成在现有控制技术上温度分布不能满足更高的均匀性要求。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本技术的目的是：提供一种结构简单、设计合理且能实现对整个载板加热区域周向的温度分布均匀控制的加热组件，以解决现有的加热方式只能单向调节温度分布，进而造成不能满足更高的温度均匀性的问题。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本技术提供了一种加热组件，设于载板下方，用于对所述载板的加热面进行加热，包括呈上下设置的第一加热单元及第二加热单元，所述第一加热单元包括多根平行布置的第一加热元件，所述第二加热单元包括多根平行布置的第二加热元件；所述第一加热元件的排布方向垂直于所述第二加热元件的排布方向设置，且所述第一加热元件与第二加热元件在所述载板加热面上的投影构成多个环形加热区域。根据上述技术方案的优选，所述第一加热元件及第二加热元件均包括加热段和非加热段，所述第一加热元件与第二加热元件的加热段在所述载板加热面上的投影构成类“回”字型。根据上述技术方案的优选，所述第一加热元件及第二加热元件均为独立控制的加热灯管，所述加热灯管包括石英玻璃管及设于所述石英玻璃管内的灯丝。根据上述技术方案的优选，进一步地，还包括用于控制各个所述加热灯管中灯丝的功率的控制器。根据上述技术方案的优选，所述加热灯管对应于所述灯丝发热段的管壁下表面设有反射层。根据上述技术方案的优选，所述加热灯管包括红外加热灯管。根据上述技术方案的优选，所述第一加热单元及第二加热单元均还包括灯外壳，多根所述第一加热元件及多根所述第二加热元件间隔设置在对应的所述灯外壳内，且多根所述第一加热元件及多根第二加热元件均包括至少两种电阻值的电阻丝。根据上述技术方案的优选，还包括用于独立地控制所述第一加热单元及第二加热单元的功率的控制器。根据上述技术方案的优选，所述灯外壳对应于所述电阻丝的加热段的管壁下表面设有反射层。根据上述技术方案的优选，所述反射层包括Ag层、Al层、AlNd层、石英层及陶瓷层中的一种或多种。(三)有益效果本技术的上述技术方案具有如下优点：本技术提供了一种加热组件，设于载板下方，用于对载板的加热面进行加热，包括呈上下设置的第一加热单元及第二加热单元，第一加热单元包括多根平行布置的第一加热元件，第二加热单元包括多根平行布置的第二加热元件；第一加热元件的排布方向垂直于第二加热元件的排布方向设置，且第一加热元件与第二加热元件在载板加热面上的投影构成多个环形加热区域。本申请提供的用于加热载板的加热组件，结构简单，设计合理，并通过设有上下两层的加热单元，每个加热单元均包括多根加热元件，且两个加热单元的加热元件在载板加热面上的投影共同构成了多个环形加热区域，如此，可以实现把载板的加热面分为多个环形的区域，有效提高了加热温度分布的均匀性，解决了因单一方向的加热方式造成的温度不均问题，利于工艺结果的提升。附图说明图1是现有技术中红外加热灯管排布的结构示意图；图2是本技术一种加热组件实施例一中被加热载板与加热组件的排布方式示意图；图3是本技术一种加热组件实施例一中加热组件的排布方式示意图。图中：624：红外加热灯管；1：载板；2：加热段；3：非加热段；4：第一加热元件；5：第二加热元件。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。实施例一如图2至图3所示，本技术实施例提供了一种加热组件，设于载板1下方，用于对载板1的加热面进行加热，包括呈上下设置的第一加热单元及第二加热单元，第一加热单元包括多根平行布置的第一加热元件4，第二加热单元包括多根平行布置的第二加热元件5；第一加热元件4的排布方向垂直于第二加热元件5的排布方向设置，且第一加热元件4与第二加热元件5在载板1加热面上的投影构成环形加热区域。在本实施例中，加热组件包括呈上下设置的第一加热单元及第二加热单元，即包括两层加热单元；第一加热单元可设于第二加热单元的上方，也可设于第二加热单元的下方，具体可根据实际实施条件进行合理的设置。其中，第一加热单元包括多根竖直设置的第一加热元件4(即平行于图1中的Y轴)，第二加热单元包括多根水平设置的第二加热元件5(即平行于图1中的X轴)。第一加热元件4与第二加热元件5共同构成用于加热载板1的加热区域，且第一加热元件4与第二加热元件5在载板1加热面上的投影构成环形加热区域，如此，可以实现把载板1的加热面分为多个环形的区域，有效提高了加热温度分布的均匀性，解决了因单一方向的加热方式造成的温度不均问题，利于工艺结果的提升。特别的，在本实施例中，被加热的方形载板1放在上层加热单元的上方，与加热元件呈平面平行放置，且载板1的尺寸一般都要比加热区域的面积小，以保证温度均匀性。另外，本申请提供的加热组件，结构简单，设计合理，且加热温度均匀，实用性强，利于进行标准化生产及推广。根据上述技术方案的优选，第一加热元件4及第二加热元件5均包括加热段2和非加热段3，第一加热元件4与第二加热元件5的加热段2在载板1加热面上的投影构成类“回”字型。第一加热元件4及第二加热元件5排布后，如图2至图3所示，图2及图3中的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加热组件，设于载板下方，用于对所述载板的加热面进行加热，其特征在于：包括呈上下设置的第一加热单元及第二加热单元，所述第一加热单元包括多根平行布置的第一加热元件，所述第二加热单元包括多根平行布置的第二加热元件；所述第一加热元件的排布方向垂直于所述第二加热元件的排布方向设置，且所述第一加热元件与第二加热元件在所述载板加热面上的投影构成多个环形加热区域。

【技术特征摘要】
1.一种加热组件，设于载板下方，用于对所述载板的加热面进行加热，其特征在于：包括呈上下设置的第一加热单元及第二加热单元，所述第一加热单元包括多根平行布置的第一加热元件，所述第二加热单元包括多根平行布置的第二加热元件；所述第一加热元件的排布方向垂直于所述第二加热元件的排布方向设置，且所述第一加热元件与第二加热元件在所述载板加热面上的投影构成多个环形加热区域。2.根据权利要求1所述的加热组件，其特征在于：所述第一加热元件及第二加热元件均包括加热段和非加热段，所述第一加热元件与第二加热元件的加热段在所述载板加热面上的投影构成类“回”字型。3.根据权利要求1所述的加热组件，其特征在于：所述第一加热元件及第二加热元件均为独立控制的加热灯管，所述加热灯管包括石英玻璃管及设于所述石英玻璃管内的灯丝。4.根据权利要求3所述的加热组件，其特征在于：还包括用于控制各个所述加热灯管中...

【专利技术属性】
技术研发人员：管长乐，南建辉，张金斌，
申请(专利权)人：北京创昱科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11