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本实用新型涉及半导体制备设备技术领域，且公开了一种硅片清洗甩干机，包括固定箱，所述固定箱的下表面固定连接有保护箱，所述保护箱内壁底部的中心处固定连接有支撑板，所述支撑板的上表面固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有托盘，所述固定箱内壁左...
该专利属于苏州德瑞姆超声科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州德瑞姆超声科技有限公司授权不得商用。

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