加热器悬挂支架及成膜设备制造技术

本发明专利技术涉及一种加热器悬挂支架及成膜设备，包括沿一圆周周向分布的多个架体单元，多个所述架体单元的一端沿所述圆周的径向延伸至所述圆周的中心处相接，每个所述架体单元上均设置有滑动单元，所述滑动单元能够沿接近或背离所述圆周的中心的方向滑动，每个所述滑动单元上设置有固定单元，所述固定单元能够沿垂直于所述圆周所在平面的方向移动，并且，所述固定单元远离所述滑动单元的一端设置有承载端部。本发明专利技术能够承载加热器，避免了维护时需拆除加热器的过程，提高了工作效率。

Heater suspension bracket and film forming equipment

The invention relates to a heater suspension bracket and a film forming device, which comprises a plurality of frame units distributed along a circumferential direction. One end of the frame units extends along the radial direction of the circumference to the center of the circumference, and a sliding unit is arranged on each frame unit, and the sliding unit can be connected along the circumference. A fixed unit is arranged on each sliding unit, which can move in a direction perpendicular to the plane of the circumference, and a bearing end is arranged far from one end of the sliding unit. The invention can carry the heater, avoids the process of removing the heater during maintenance, and improves the working efficiency.

【技术实现步骤摘要】
加热器悬挂支架及成膜设备
本专利技术涉及半导体集成电路制造领域，尤其涉及一种加热器悬挂支架及成膜设备。
技术介绍
用于低介电质成膜工艺上的某成膜设备，该设备工艺腔体中的加热器固定在加热器底座上，加热器底座下方连接有冷却底座，冷却底座与升降丝杠上的运动滑块相连接。当需要对升降丝杠或伺服电机等其他升降机构上的部件进行维护或更换时，必须将加热器(重约5kg)从加热器底座上拆除并取出，否则会导致加热器倾倒，使埋设在加热器中的升降顶针、波纹管等其他部件造成损伤，然而拆除加热器的过程较为复杂和繁琐，且容错率较低，因此耗时较长，延误工作效率。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种加热器悬挂支架及成膜设备，以解决维修或更换成膜设备的升降机构部件时，需要将加热器拆除的问题。为了达到上述目的，本专利技术提供了一种加热器悬挂支架，包括沿一圆周周向分布的多个架体单元，多个所述架体单元的一端沿所述圆周的径向延伸至所述圆周的中心处相接，每个所述架体单元上均设置有滑动单元，所述滑动单元能够沿接近或背离所述圆周的中心的方向滑动，每个所述滑动单元上设置有固定单元，所述固定单元能够沿垂直于所述圆周所在平面的方向移动，并且，所述固定单元远离所述滑动单元的一端设置有承载端部，以承载一加热器。可选的，所述架体单元沿着所述圆周的径向上设置有滑槽，所述滑槽嵌设进所述架体单元中，所述滑动单元的底部设置在所述滑槽上，并能够沿着所述滑槽移动，所述滑槽的底部设置有第一槽口，所述第一槽口贯穿所述滑槽的底部及所述架体单元的底部。可选的，所述架体单元的一侧上设置有第二槽口，所述滑动单元与所述第二槽口相邻的一侧上设置有螺纹孔，第一锁紧件通过所述第二槽口旋入所述螺纹孔内，以将所述架体单元与所述滑动单元固定。可选的，所述滑动单元的顶部凸出于所述架体单元，并且，所述滑动单元顶部的截面宽度较底部的截面宽度大。可选的，所述固定单元包括固定轴及设置于所述固定轴一端的所述承载端部，所述固定轴与所述承载端部构成“L”型。可选的，所述滑动单元中设置有第一贯通孔，所述第一贯通孔从所述滑动单元的顶部贯穿至所述滑动单元的底部，所述固定轴未设置所述承载端部的一端穿过所述第一槽口并伸入所述第一贯通孔中。可选的，所述滑动单元的顶部还设置有第二贯通孔，所述第二贯通孔横穿所述滑动单元的顶部，所述固定轴上设置有多个第三贯通孔，第二锁紧件插入所述第二贯通孔及任一所述第三贯通孔，以将所述固定单元及所述滑动单元固定。可选的，所述滑动单元及所述固定单元的承载端部位于所述架体单元的异侧。可选的，所述第一槽口及第二槽口的形状为矩形。本专利技术还提供了一种使用上述加热器悬挂支架的设备，包括工艺腔体、加热器及所述加热器悬挂支架，所述加热器位于所述工艺腔体中，所述加热器悬挂支架的多个架体单元设置于所述工艺腔体的上表面，所述滑动单元通过在所述架体单元上滑动以使所述固定单元与所述加热器的侧壁接触，所述固定单元的承载端部与所述加热器的底部接触以承载所述加热器。本专利技术通过将加热器悬挂支架的多个架体单元设置在工艺腔体的上表面，调节滑动单元在架体单元上的位置，使固定单元与所述加热器的侧壁接触，再调节固定单元相对于加热器底部的高度，使固定单元的承载端部与加热器底部接触，从而支撑加热器，使加热器稳固地悬挂于加热器悬挂支架上，避免了拆除加热器的需求。附图说明图1为本专利技术实施例提供的加热器悬挂支架的结构俯视示意图；图2为本专利技术实施例提供的加热器悬挂支架从图1的A-A向剖切示意图；图3为本专利技术实施例提供的成膜设备的示意图。其中：1-架体单元；2-滑动单元；3-固定单元；31-固定轴；32-承载端部；4-滑槽；5-第一槽口；6-第二槽口；7-螺纹孔；8-第一贯通孔；9-第二贯通孔；10-第三贯通孔；101-工艺腔体；102-加热器；103-升降顶针；104-波纹管；105-加热器底座；106-冷却底座；107-运动滑块；108-升降丝杠；109-联轴器；110-伺服电机。具体实施方式下面将结合示意图对本专利技术的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本专利技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。参阅图1、图2所示，其为本实施例提供的加热器悬挂支架的示意图，包括沿一圆周周向分布的多个架体单元1，所述架体单元1的一端沿所述圆周的径向延伸至所述圆周的中心处相接，每个所述架体单元1上均设置有滑动单元2，所述滑动单元2能够沿接近或背离所述圆周的中心的方向滑动，每个所述滑动单元2上设置有固定单元3，所述固定单元3能够沿垂直于所述圆周所在平面的方向移动，并且，所述固定单元3远离所述滑动单元2的一端设置有承载端部32，以承载一加热器。所述架体单元1沿着所述圆周的径向上设置有滑槽4，所述滑槽4嵌设进所述架体单元1中，所述滑动单元2的底部设置在所述滑槽4上，并能够沿着所述滑槽4移动，所述滑槽4的底部设置有第一槽口5，所述第一槽口5贯穿所述滑槽4的底部及所述架体单元1的底部。在本实施例中，所述加热器悬挂支架包括从圆周中心形成间隔120度周向分布的三个架体单元1，三个架体单元1一体成型，此类似等边三角形的结构最稳定，能够确保使用时，用较少的接触面积达到最优的稳固效果；所述架体单元1为矩形并设置有滑槽4，三个滑动单元2分别设置在所述架体单元1的三个滑槽4上，以便将滑动单元2嵌入所述滑槽4内，并可沿接近或背离圆周中心的方向滑动，以调节滑动单元2在架体单元1上的位置；所述滑槽4的底部设置有矩形状的第一槽口5，三个固定单元3分别插入所述三个滑动单元2中，沿垂直于所述圆周所在平面的方向在滑动单元2内移动，以调节固定单元3相对于滑动单元2的高度。进一步的，如图2所示，所述架体单元1的一侧上设置有第二槽口6，所述滑动单元2与所述第二槽口6相邻的一侧上设置有螺纹孔7，第一锁紧件通过所述第二槽口6旋入所述螺纹孔7内，以将所述架体单元1与所述滑动单元2固定。第二槽口6设置在架体单元1的其中一侧，螺纹孔7设置在与架体单元1一侧的第二槽口6对应的区域范围内，第二槽口6为矩形或者两端带弧形的U形，且第二槽口6的宽度大于第一锁紧件的外径，螺纹孔7的螺纹尺寸与第一锁紧件的螺纹尺寸相匹配。这样，通过将第一锁紧件经由第二槽口6旋入螺纹孔7内，可固定所述滑动单元2在架体单元1上的位置。第一锁紧件可以为锁紧螺钉，旋入滑动单元2中后，将滑动单元2与架体单元1的侧壁夹紧；从滑动单元2中旋出第一锁紧件后，滑动单元2可以在架体单元1上沿接近或背离所述圆周的中心的方向滑动，可随时方便地调节滑动单元2在架体单元1上的位置。较佳的，所述滑动单元2的顶部凸出于所述架体单元1，并且，所述滑动单元2顶部的截面宽度较底部的截面宽度大。在本实施例中，滑动单元2嵌入架体单元1的滑槽4内，以平行于所述架体单元1末端部的平面对所述滑动单元2剖切后形成的截面，滑动单元2的形状类似T形结构。进一步的，所述固定单元3包括固定轴31及设置于所述固定轴31一端的所述承载端部32，所述固定轴31与所述承载端部32构成“L”型。固定单元3的承载端部32，用于承载加热器。由于三个在滑动单元2内的固定单元3相对于圆周中心呈间隔120°分布，因而伸出的承载端部3本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加热器悬挂支架，其特征在于，包括沿一圆周周向分布的多个架体单元，多个所述架体单元的一端沿所述圆周的径向延伸至所述圆周的中心处相接，每个所述架体单元上均设置有滑动单元，所述滑动单元能够沿接近或背离所述圆周的中心的方向滑动，每个所述滑动单元上设置有固定单元，所述固定单元能够沿垂直于所述圆周所在平面的方向移动，并且，所述固定单元远离所述滑动单元的一端设置有承载端部，以承载一加热器。

【技术特征摘要】
1.一种加热器悬挂支架，其特征在于，包括沿一圆周周向分布的多个架体单元，多个所述架体单元的一端沿所述圆周的径向延伸至所述圆周的中心处相接，每个所述架体单元上均设置有滑动单元，所述滑动单元能够沿接近或背离所述圆周的中心的方向滑动，每个所述滑动单元上设置有固定单元，所述固定单元能够沿垂直于所述圆周所在平面的方向移动，并且，所述固定单元远离所述滑动单元的一端设置有承载端部，以承载一加热器。2.如权利要求1所述的一种加热器悬挂支架，其特征在于，所述架体单元沿着所述圆周的径向上设置有滑槽，所述滑槽嵌设进所述架体单元中，所述滑动单元的底部设置在所述滑槽上，并能够沿着所述滑槽移动，所述滑槽的底部设置有第一槽口，所述第一槽口贯穿所述滑槽的底部及所述架体单元的底部。3.如权利要求2所述的一种加热器悬挂支架，其特征在于，所述架体单元的一侧上设置有第二槽口，所述滑动单元与所述第二槽口相邻的一侧上设置有螺纹孔，第一锁紧件通过所述第二槽口旋入所述螺纹孔内，以将所述架体单元与所述滑动单元固定。4.如权利要求3所述的一种加热器悬挂支架，其特征在于，所述滑动单元的顶部凸出于所述架体单元，并且，所述滑动单元顶部的截面宽度较底部的截面宽度大。5.如权利要求2所述的一种加热器悬挂支架，其特征在于，所述固定单元包...

【专利技术属性】
技术研发人员：龚飞昊，龚荟卓，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31