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本发明涉及一种加热器悬挂支架及成膜设备，包括沿一圆周周向分布的多个架体单元，多个所述架体单元的一端沿所述圆周的径向延伸至所述圆周的中心处相接，每个所述架体单元上均设置有滑动单元，所述滑动单元能够沿接近或背离所述圆周的中心的方向滑动，每个所述...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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