用于减薄机的高度规检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种用于减薄机的高度规检测装置，包括高度规、湿度传感器和显示装置，本体具有内腔；湿度传感器的检测端伸入内腔中；显示装置与湿度传感器连接并位于高度规的外侧。本实用新型专利技术中的高度规的内腔中设置有湿度传感器，湿度传感器能够检测高度规内部的湿度值，然后将湿度值信号传送给显示装置，以进行显示或提示，以此提示工作人员高度规内的湿度情况。

Height gauge detection device for thinner

The utility model provides a height gauge detection device for a thinner, which comprises a height gauge, a humidity sensor and a display device. The body has an inner cavity; the detection end of the humidity sensor extends into the inner cavity; the display device is connected with the humidity sensor and is located outside the height gauge. A humidity sensor is arranged in the inner cavity of the height gauge of the utility model, and the humidity sensor can detect the humidity value inside the height gauge, and then transmit the humidity value signal to the display device for displaying or prompting, so as to prompt the humidity situation of the staff in the height gauge.

【技术实现步骤摘要】
用于减薄机的高度规检测装置
本技术涉及芯片制造
，具体而言，涉及一种用于减薄机的高度规检测装置。
技术介绍
减薄机对芯片的减薄加工需要高度规对减薄过程中的芯片厚度实时测量，并将结果反馈给控制部计算并控制研磨主轴的进给量。由于高度规工作在充满水的磨削腔室内，因而极易导致水雾渗入其内。当橡胶密封件因老化或维修而出现裂口时，极易导致高度规因密封不严而进水。而进入高度规内的水雾会导致测量值漂移，产生芯片减薄厚度偏差、甚至报废的问题，对生产造成了极其严重的不良影响。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种用于减薄机的高度规检测装置，以解决现有技术中的高度规检测精度差的问题。为了实现上述目的，根据本技术的一个方面，提供了一种用于减薄机的高度规检测装置，包括：高度规，高度规具有内腔；湿度传感器，湿度传感器的检测端伸入内腔中；显示装置，显示装置与湿度传感器连接并位于高度规的外侧。进一步地，显示装置与高度规间隔设置。进一步地，显示装置包括用于显示湿度传感器检测到的湿度值x的湿度显示仪。进一步地，显示装置包括：报警装置；控制部，湿度传感器和报警装置均与控制部连接，湿度传感器给控制部发送湿度检测信号，控制部接收湿度检测信号并与控制部内预设的湿度上限值相比较，当湿度检测信号的湿度值x超出湿度上限值时，控制部控制报警装置报警提示。进一步地，报警装置是指示灯或蜂鸣器。进一步地，控制部为湿度显示仪。进一步地，显示装置还包括消警开关，消警开关与控制部连接，以在触发消警开关时使报警装置结束报警。进一步地，控制部内设置有控制开关，控制开关控制报警装置的启动和停止。进一步地，控制开关为ALARM继电器。进一步地，湿度传感器为具有一次函数关系的湿度传感器。进一步地，湿度传感器与显示装置之间通过屏蔽电缆连接。应用本技术的技术方案，通过在高度规的内腔中设置湿度传感器，使湿度传感器能够检测高度规内部的湿度值，然后将湿度值信号传送给显示装置以进行显示或提示，并提示工作人员高度规内的湿度情况。这样，工作人员就能够及时发现高度规内是否渗入大量的水雾，以为判断高度规是否因水雾的影响而导致检测精度变低提供了有力的参考依据。附图说明构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：图1示出了根据本技术的用于减薄机的高度规检测装置的结构示意图。其中，上述附图包括以下附图标记：10、高度规；11、内腔；20、湿度传感器；21、屏蔽电缆；31、湿度显示仪；32、报警装置；34、消警开关；35、控制开关。具体实施方式需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。需要指出的是，除非另有指明，本申请使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属
的普通技术人员通常理解的相同含义。在本技术中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下、顶、底”通常是针对附图所示的方向而言的，或者是针对部件本身在竖直、垂直或重力方向上而言的；同样地，为便于理解和描述，“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内、外，但上述方位词并不用于限制本技术。为了解决现有技术中的高度规内部水雾渗入过多不易及时发现的问题，本技术提供了一种用于减薄机的高度规检测装置。如图1所示的一种用于减薄机的高度规检测装置，包括高度规10、湿度传感器20和显示装置，本体具有内腔11；湿度传感器20的检测端伸入内腔11中；显示装置与湿度传感器20连接并位于高度规10的外侧。具体地，在高度规的内腔11中设置湿度传感器20，使湿度传感器20能够检测高度规内腔11的湿度值，然后将湿度值信号传送给显示装置以进行显示或提示，并提示工作人员高度规内的湿度情况。这样，工作人员就能够及时发现高度规内是否渗入大量的水雾，以为判断高度规是否因水雾的影响而导致检测精度变低提供了有力的参考依据。可选地，显示装置与高度规10间隔设置。具体地，显示装置可以与高度规10间隔设置，避免显示装置影响高度规10的正常工作。可选地，显示装置包括用于显示湿度传感器20检测到的湿度值x的湿度显示仪31。具体地，为了方便工作人员查看当前的湿度值，在显示装置中设置有湿度显示仪31，湿度显示仪31能够显示湿度传感器20检测到的湿度值。需要说明的是，湿度显示仪31的显示屏内应该设置有背光灯。这样，及时在昏暗的工况条件下，工作人员能够看清湿度值，提高了高度规的使用便捷性。当然，显示屏也可以是LED显示屏。当然，还可以设置一个播音器与湿度显示仪31连接。这样，用户可以通过播音器，直接听到湿度显示仪31播报的湿度值，从而直接获知高度规的湿度情况。可选地，显示装置包括报警装置32和控制部，湿度传感器20和报警装置32均与控制部连接，湿度传感器20给控制部发送湿度检测信号，控制部接收湿度检测信号并与控制部内预设的湿度上限值相比较，当湿度检测信号的湿度值x超出湿度上限值时，控制部控制报警装置32报警提示。进一步可选地，在如图1所示的具体实施例中，控制部为湿度显示仪31。将控制部与湿度显示仪31设置为一个整体，减小了控制部的体积，方便进行安装使用。当然，湿度显示仪31也可以作为单独的装置单独设置。具体地，显示装置中的控制部能够接收湿度传感器20传送来的湿度检测信号，并将湿度检测信号转化处理为相应的湿度值在湿度显示仪31上进行显示，同时将该湿度值与控制部内预设的湿度上限值相比较，当湿度值超出预设的湿度上限值时，控制部控制报警装置32发出警报，提示工作人员进行检查维修，防止出现高度规的内腔11渗入水雾过多而造成湿度过高的问题，保证了高度规的检测精度，进而保证加工的芯片的质量的稳定性、提高了生产加工的可靠性。进一步可选地，报警装置32是指示灯或蜂鸣器。也就是说，工作人员可以通过声光报警的提示，及时知道高度规内的湿度过高，以注意到此时的高度规的检测精度可能受到了严重的影响，存在精度降低、检测不准的问题。可选地，显示装置还包括消警开关34，消警开关34与控制部连接，以在触发消警开关34时使报警装置32结束报警。具体地，当工作人员知晓高度规内腔11的湿度值过高后，工作人员可以通过消警按钮控制报警装置32停止报警。然后，再对高度规进行除湿处理，以使高度规能够快速恢复正常的工作状态。可选地，控制部内设置有控制开关35，控制开关35控制报警装置32的启动和停止。具体地，控制开关35作为报警装置32的启动开关，当湿度值超出预设的湿度上限值时，控制部控制通过控制开关35控制报警装置32发出警报。进一步可选地，控制开关35为ALARM继电器。当控制部控制继电器开关闭合时，由于继电器具有保持连通的功能，因而控制部只需要触发一次继电器触点即可完成继电器的持续闭合，从而控制部不需要的向控制开关35发送持续的控制信号，简化了控制流程。可选地，湿度传感器20将检测到的湿度值x输出为电压值y，电压值y与湿度值x的关系为一次函数y＝ax+b，其中a>0，b>0。也就是说，湿度传感器20为具有一次函数关系的湿度传感器。具体地，一次函数相对于其它函数更加简单本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于减薄机的高度规检测装置，其特征在于，包括：高度规，所述高度规具有内腔；湿度传感器，所述湿度传感器的检测端伸入所述内腔中；显示装置，所述显示装置与所述湿度传感器连接并位于所述高度规的外侧。

【技术特征摘要】
1.一种用于减薄机的高度规检测装置，其特征在于，包括：高度规，所述高度规具有内腔；湿度传感器，所述湿度传感器的检测端伸入所述内腔中；显示装置，所述显示装置与所述湿度传感器连接并位于所述高度规的外侧。2.根据权利要求1所述的用于减薄机的高度规检测装置，其特征在于，所述显示装置与所述高度规间隔设置。3.根据权利要求1所述的用于减薄机的高度规检测装置，其特征在于，所述显示装置包括用于显示所述湿度传感器检测到的湿度值x的湿度显示仪。4.根据权利要求1所述的用于减薄机的高度规检测装置，其特征在于，所述显示装置包括：报警装置；控制部，所述湿度传感器和所述报警装置均与所述控制部连接，所述湿度传感器给所述控制部发送湿度检测信号，所述控制部接收所述湿度检测信号并与所述控制部内预设的湿度上限值相比较，当所述湿度检测信号的湿度值x超出所述湿度上限值时，所述控制部控制所述报警装置报警提示。5.根据权利要求4所述的用于减薄机...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志伟，吴航，
申请(专利权)人：杭州士兰集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33