一种具有可移动坩埚的蒸镀设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种蒸镀设备，包括：用于容纳蒸镀材料的内坩埚、容纳所述内坩埚的外坩埚，还包括设置于所述内坩埚底部的升降机构，所述升降机构为弹簧机构，用于控制所述内坩埚在所述外坩埚内的上升和下降；还包括喷射口，位于所述外坩埚的上部，用于使蒸发或升华后的蒸镀材料通过；还包括加热单元，所述加热单元设置在外坩埚的外部，用于加热容纳于所述内坩埚内部的蒸镀材料使其达到熔化或升华温度以上的某一温度值。实用新型专利技术提供的蒸镀设备，可以使得蒸镀材料在玻璃上沉积速率保持一致，还降低了功耗，并且蒸镀材料性质稳定，不易劣化，提高了蒸镀材料的利用率和蒸镀工艺的良率。

A kind of steaming equipment with movable crucible

The utility model provides a steam plating device, including an inner crucible for holding a steamed plating material, an external crucible containing the inner crucible, and a lifting mechanism set at the bottom of the inner crucible. The lifting mechanism is a spring mechanism for controlling the rise and fall of the inner crucible in the outer crucible; also included The ejector, located at the upper part of the external crucible, is used to pass the evaporation or distillation of the plating material; also includes a heating unit, which is set outside the external crucible for heating a steam plating material accommodated in the inner crucible to achieve a certain temperature value above the melting or sublimation temperature. The steam plating equipment provided by the utility model can keep the deposition rate of the steamed material on the glass consistent and reduce the power consumption, and the properties of the steamed material are stable, not easy to deteriorate, and the utilization rate of the steamed material and the good rate of the evaporation process are improved.

【技术实现步骤摘要】
一种具有可移动坩埚的蒸镀设备
本技术涉及蒸镀工艺
，特别是涉及一种蒸镀设备。
技术介绍
OLED(OrganicLight-EmittingDiode，有机发光二级管，简称OLED)显示屏由于具有薄、轻、宽视角、主动发光、响应速度快、能耗小、驱动电压低、工作温度范围宽、发光效率高及可柔性显示等优点，已被列为极具发展前景的下一代显示技术。在基板上形OLED器件通常采用蒸镀工艺，具体为加热蒸镀材料，使蒸镀材料熔化（或升华）成蒸汽，然后凝结在基板表面成膜，从而形成OLED器件的功能层。现有的蒸镀制程中，通常采用电阻丝对内坩埚内的材料进行加热。随着蒸镀的进行，蒸镀材料形成的液面会逐渐下降。这会产生两个不利后果：其一，液面高度的变化会影响到玻璃上的沉积速率；其二，材料变少而加热装置难以实时调整使得局部可能温度过高，材料易出现劣化并影响器件性能。
技术实现思路
本技术提供一种蒸镀设备，包括：用于容纳蒸镀材料的内坩埚，还包括容纳所述内坩埚的外坩埚，还包括设置于所述内坩埚底部的升降机构，所述升降机构为弹簧机构，用于控制所述内坩埚在所述外坩埚内的上升和下降，还包括喷射口，位于所述外坩埚的上部，用于使蒸发本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：用于容纳蒸镀材料的内坩埚、容纳所述内坩埚的外坩埚，还包括设置于所述内坩埚底部的升降机构，所述升降机构为弹簧机构，用于控制所述内坩埚在所述外坩埚内的上升和下降；还包括喷射口，位于所述外坩埚的上部，用于使蒸发或升华后的蒸镀材料通过；还包括加热单元，所述加热单元设置在外坩埚的外部，用于加热容纳于所述内坩埚内部的蒸镀材料使其达到熔化或升华温度以上的某一温度值。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：用于容纳蒸镀材料的内坩埚、容纳所述内坩埚的外坩埚，还包括设置于所述内坩埚底部的升降机构，所述升降机构为弹簧机构，用于控制所述内坩埚在所述外坩埚内的上升和下降；还包括喷射口，位于所述外坩埚的上部，用于使蒸发或升华后的蒸镀材料通过；还包括加热单元，所述加热单元设置在外坩埚的外部，用于加热容纳于所述内坩埚内部的蒸镀材料使其达到熔化或升华温度以上的某一温度值。2.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述弹簧机构控制所述内坩埚在所述外坩埚内的上升和下降，使得在蒸镀过程中，容纳于所述内坩埚内部的蒸镀材料的液面高度始终一致。3.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述弹簧机构连接所述内坩埚的底部和所述外坩埚内侧的底部。4.如权利要求3所述的蒸镀设备，其特征在于，在蒸镀工艺开始前，所述内坩埚内放置有初始量的蒸镀材料，所述内坩埚及所述蒸镀材料压缩所述弹簧机构，所述弹簧机构产生压缩形变；随着蒸镀工艺的进行，所述蒸镀材料逐渐被消耗，所述弹簧...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾骏，
申请(专利权)人：上海精骊电子技术有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31