膜厚检测装置及蒸镀机制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种膜厚检测装置，用于在基板蒸镀时检测所述基板的蒸镀速率，包括蒸镀源、膜厚检测器、调节部、气体管道与加热部，所述蒸镀源具有喷嘴，在第一方向上所述喷嘴、所述气体管道、所述调节部以及所述膜厚检测器依次排列，所述喷嘴与所述气体管道的进料口连通，所述调节部可绕固定轴旋转，且所述调节部中设有数个间隔设置的通孔，所述加热部围绕所述气体管道外周设置，进而从所述喷嘴中蒸发的蒸镀材料在所述第一方向上穿过所述气体管道时保持气态，并经所述通孔蒸镀于所述膜厚检测器上。本发明专利技术解决了蒸镀材料对通孔的堵塞导致的生产效率低的技术问题。

Film thickness detection device and evaporation machine

The invention provides a film thickness detection device for detecting the evaporation rate of the substrate during the plate evaporation, including the evaporation source, the film thickness detector, the regulating part, the gas pipe and the heating part. The evaporation source has a nozzle, the nozzle, the gas pipe channel, the adjusting part and the film thickness inspection in the first direction. The nozzle is arranged in turn, the nozzle is connected with the feed inlet of the gas pipeline, and the adjusting part is rotated around the fixed axis, and the regulating part is provided with several holes arranged at intervals, and the heating part is arranged around the gas pipe outside the pipe, and then the evaporation material evaporated from the nozzle is worn in the first direction. The gas pipe passes through the gas pipeline to maintain gas state and is evaporated on the film thickness detector through the through hole. The invention solves the technical problem of low production efficiency caused by the blockage of the through-hole material by the evaporation material.

【技术实现步骤摘要】
膜厚检测装置及蒸镀机
本专利技术涉及显示
，特别涉及一种膜厚检测装置及蒸镀机。
技术介绍
有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)显示器，也称为有机电致发光显示器，是一种新兴的平板显示装置，由于其具有制备工艺简单、成本低、功耗低、发光亮度高、工作温度适应范围广、体积轻薄、响应速度快，而且易于实现彩色显示和大屏幕显示、易于实现和集成电路驱动器相匹配、易于实现柔性显示等优点，因而具有广阔的应用前景。目前OLED的主流制备方法是蒸镀法，即在OLED蒸镀机的腔体内加热有机小分子材料，使其升华或者熔融气化成材料蒸汽，透过金属光罩的开孔沉积在基板上。通常，OLED蒸镀机的腔体内都设有膜厚监控仪(ThicknessMonitor)，所述膜厚监控仪包括壳体、设于壳体内的转盘、膜厚监测传感器(sensor)，所述转盘上设有通孔，所述膜厚监控仪使用时，所述数个膜厚监测传感器中的一个移至该通孔处。蒸镀时，真空OLED蒸镀机的腔体内的有机小分子材料挥发至该通孔，并沉积于膜厚监测传感器的表面，所述膜厚监测传感器通过监测自身表面的膜厚经过换算后得出镀在基板表面的膜厚本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种膜厚检测装置，用于在基板蒸镀时检测所述基板的蒸镀速率，其特征在于，包括蒸镀源、膜厚检测器、调节部、气体管道与加热部，所述蒸镀源具有喷嘴，在第一方向上所述喷嘴、所述气体管道、所述调节部以及所述膜厚检测器依次排列，所述喷嘴与所述气体管道的进料口连通，所述调节部可绕固定轴旋转，且所述调节部中设有数个间隔设置的通孔，所述加热部围绕所述气体管道外周设置，进而从所述喷嘴中蒸发的蒸镀材料在所述第一方向上穿过所述气体管道时保持气态，并经所述通孔蒸镀于所述膜厚检测器上。

【技术特征摘要】
1.一种膜厚检测装置，用于在基板蒸镀时检测所述基板的蒸镀速率，其特征在于，包括蒸镀源、膜厚检测器、调节部、气体管道与加热部，所述蒸镀源具有喷嘴，在第一方向上所述喷嘴、所述气体管道、所述调节部以及所述膜厚检测器依次排列，所述喷嘴与所述气体管道的进料口连通，所述调节部可绕固定轴旋转，且所述调节部中设有数个间隔设置的通孔，所述加热部围绕所述气体管道外周设置，进而从所述喷嘴中蒸发的蒸镀材料在所述第一方向上穿过所述气体管道时保持气态，并经所述通孔蒸镀于所述膜厚检测器上。2.根据权利要求1所述的膜厚检测装置，其特征在于，所述气体管道可在其轴线方向上振动。3.根据权利要求2所述的膜厚检测装置，其特征在于，数个所述通孔围绕所述调节部的中心沿着径向间隔设置形成一调节区，所述气体管道的出料口与所述膜厚检测器均对准所述调节区。4.根据权利要求3所述的膜厚检测装置，其特征在于，所述加热部为加热丝，所述加热丝缠绕所述气体管道...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄鹏，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42