一种张网机夹持装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种张网机夹持装置，包括两组夹持结构和两个夹爪台；两组夹持结构沿X方向相对设置，且每组夹持结构中包含沿Y向并排设置的至少2个夹爪组件；每一夹爪组件下方均设有用于驱动所述夹爪组件进行Y向移动的Y向平移机构；Y向平移机构安装于夹爪台上；夹爪组件包括两级X向驱动机构，分别用于对精细金属掩膜板位置进行X向粗调和细调；Y向平移机构包括两级Y向驱动机构，分别用于对精细金属掩膜板位置进行Y向粗调细调。夹持装置工作时，对精细金属掩膜板X向Y向的拉伸均采用两级驱动机构，两级驱动机构分别对精细金属掩膜板的位置进行粗调和细调，实现双自由度、高精度位置调节，同时增加Y向位置调整，可以起到减小褶皱产生的作用。的作用。的作用。

【技术实现步骤摘要】
一种张网机夹持装置


[0001]本专利技术涉及显示面板制造设备领域，特别是涉及一种张网机夹持装置。

技术介绍

[0002]有机发光二极管(OLED，Organic Light Emitting Diode)显示面板是一种利用OLED作为显示像素的面板。相比于传统的液晶显示面板，OLED显示面板因具有自发光、功耗低、色彩效果好、可用于柔性显示等诸多优点，越来越受到市场的欢迎。
[0003]OLED发光器件的制备一般采用将有机材料蒸镀到基板(例如，在AM型面板中为TFT基板)上的方式。蒸镀有机材料通常需要使用掩膜板例如普通精细金属掩膜板(CMM，Common Metal Mask)、精细金属掩膜板(FMM，Fine Metal Mask)，且掩膜板通常设置在金属框架上且放在蒸镀机中使用，其中精细金属掩膜板网板和精细金属掩膜板框架一般采用焊接结合。精细金属掩膜板网板为多条网板，张网时逐条采用夹爪夹持并通过拉伸、移动调整到预设位置后焊接在金属框架上。现有国外张网设备中的夹持机构一般设计简单，通常在拉伸方向上只有一个自由度，位置调整的驱动单元不能兼顾行程和精度，而且调整时存在滞回，位置重复性不佳。无法有效减少掩模版在拉伸过程中出现的褶皱问题，而掩膜板对蒸镀所得的OLED发光层的显示性能具有显著的影响，进而影响到后续的蒸镀工序，造成产品良率的下降。

技术实现思路

[0004]本专利技术针对现有技术中存在的技术问题，提供一种运动自由度较多且精度较高的张网机夹持装置，该装置提高了张网过程中可以调节的夹爪自由度和位移调整精度，可以减小像素孔的位置偏移值和掩模版在拉伸过程中出现的褶皱问题，提高后续蒸镀工序的产品良率。
[0005]本专利技术解决上述技术问题的技术方案如下：本专利技术所提供的一种张网机夹持装置，包括两组夹持结构和两个夹爪台；所述两组夹持结构分别沿X方向相对设置于所述两个夹爪台上，且每组夹持结构中包含并排设置的至少2个沿X方向拉伸精细金属掩膜板的夹爪组件；所述夹爪组件用于夹持所述精细金属掩膜板的边沿所设的夹耳；每一夹爪组件均对应设置有Y向平移机构，所述Y向平移机构安装于夹爪台上，用于驱动相应所述夹爪组件进行Y向移动；所述夹爪组件包括两级X向驱动机构，所述两级X向驱动机构包括用于对所述精细金属掩膜板位置进行X向粗调的第一级X向驱动机构和用于对所述精细金属掩膜板位置进行X向细调的第二级X向驱动机构；所述Y向平移机构包括两级Y向驱动机构，所述两级Y向驱动机构包括用于对精细金属掩膜板位置进行Y向粗调的第一级Y向驱动机构和用于对所述精细金属掩膜板位置进行Y向细调第二级Y向驱动机构；
其中，所述X方向为所述精细金属掩膜板拉伸时的长度方向，所述Y方向为所述精细金属掩膜板拉伸时的宽度方向。
[0006]夹持装置工作时，对精细金属掩膜板X向Y向的拉伸均采用两级驱动机构，两级驱动机构分别对精细金属掩膜板的位置进行粗调和细调，实现双自由度、高精度位置调节，同时增加Y向位置调整，可以起到调整FMM姿态减小褶皱产生的作用。
[0007]进一步的，所述夹爪台上安装有底板，底板上设置有第一Y向导轨；所述夹爪组件通过第一滑块与所述第一Y向导轨滑动连接；所述两级Y向驱动机构中的第二级Y向驱动机构与对应的夹爪组件连接。
[0008]进一步的，所述第一级Y向驱动机构包括Y向伺服电机，所述第二级Y向驱动机构包括Y向压电促动器；所述Y向伺服电机的固定端安装在所述夹爪台上，其输出端与所述Y向压电促动器的固定端连接，所述Y向压电促动器的输出端与所述夹爪组件固定连接。
[0009]进一步的，所述第一级X向驱动机构包括X向伺服电机、行星减速器；所述第二级X向驱动机构包括X向压电促动器，所述X向压电促动器的固定端通过所述行星减速器与所述X伺服电机的输出端固定连接。
[0010]进一步的，该张网机夹持装置还包括多个第一锁定机构，所述第一锁定机构与所述夹爪组件一一对应固定连接，并与所述第一Y向导轨滑动连接，用于对相应夹爪组件Y向滑动位置进行锁定。
[0011]进一步的，所述夹爪组件还包括：夹爪底座、夹紧机构；所述两级X向驱动机构、所述夹紧机构设置于所述夹爪底座上，所述夹爪底座通过所述第一滑块与所述第一Y向导轨滑动连接，并和所述两级Y向驱动机构中的第二级Y向驱动机构固定连接；所述夹紧机构用于夹持所述精细金属掩膜板的边沿所设的夹耳，所述夹紧机构与所述第二级X向驱动机构固定连接。
[0012]进一步的，所述夹紧机构包括夹头、夹紧框架和夹紧气缸；所述夹头，用于夹持精细金属掩膜板；所述夹紧框架，用于支撑所述夹头和夹紧气缸，并且所述夹紧框架的一侧与所述第二级X向驱动机构连接，且所述夹紧框架上设置有与所述夹头相配合的突块；所述夹紧气缸的固定端安装在所述夹紧框架上且所述夹紧气缸的输出端通过一连接件与夹头连接，所述夹头在所述夹紧机构的驱动下带动所述精细金属掩膜板移动。
[0013]进一步的，所述夹紧框架与所述第二级X向驱动机构之间还连接有力传感器。
[0014]进一步的，所述夹紧框架底部还设有第二锁定机构，所述第二锁定结构与所述夹紧框架固定连接，并与所述X向导轨滑动连接，用于对夹紧框架的X向滑动位置进行锁定。
[0015]进一步的，该张网机夹持装置还包括第二Y向导轨和驱动机构；所述夹爪台安装在所述第二Y向导轨上，所述驱动机构用于驱动所述夹爪台在所述第二Y向导轨上沿Y向移动。
[0016]本专利技术的有益效果是：使用了低精度（5-20μm）大行程（≥30mm）的伺服电机和高精度（0.05%-0.1%F.S）小行程（10-200μm）的压电促动器配合，同时兼顾了高精度大行程的运动要求，压电促动器是以压电陶瓷为基础元件，通过外部机械结构进行封装，并输出位移及
出力，不存在回程间隙，定位精度高，同时结合伺服电机及行星减速器的配合，从而可以满足夹取FMM时候夹头在X方向上30mm左右的运动行程需求。
附图说明
[0017]图1为本专利技术实施例提供的张网机夹持装置整体结构俯视图；图2为本专利技术实施例提供的其中一侧的夹持结构、Y向平移机构及夹爪台的结构示意图；图3为本专利技术实施例提供的夹爪组件结构示意图。
[0018]附图中，各标号所代表的部件列表如下：1、夹爪组件；2、Y向平移机构；3、夹爪台；4、精细金属掩膜板；5、第二Y向导轨；6、驱动机构；101、X向伺服电机；102、行星减速器；103、电机座；104、X向压电促动器；105、力传感器；106、夹头；107、夹紧气缸；108、夹爪底座；109、X向导轨；110、第一安装座；111、第二锁定机构；112、夹紧框架；113、X向导轨；201、Y向伺服电机；202、Y向压电促动器；203、第一锁定机构；204、第一滑块；301、底板；302、第一Y向导轨。
具体实施方式
[0019]以下结合附图对本专利技术的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本专利技术，并非用于限定本专利技术的范围。
[0020]六代AMOLED产线使用的FMM设计收缩率一般本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种张网机夹持装置，其特征在于，包括两组夹持结构和两个夹爪台（3）；所述两组夹持结构分别沿X方向相对设置于所述两个夹爪台（3）上，且每组夹持结构中包含并排设置的至少2个沿X方向拉伸精细金属掩膜板的夹爪组件（1）；所述夹爪组件（1）用于夹持所述精细金属掩膜板的边沿所设的夹耳；每一夹爪组件（1）均对应设置有Y向平移机构（2），所述Y向平移机构（2）安装于夹爪台（3）上，用于驱动相应所述夹爪组件（1）进行Y向移动；所述夹爪组件（1）包括两级X向驱动机构，所述两级X向驱动机构包括用于对所述精细金属掩膜板位置进行X向粗调的第一级X向驱动机构和用于对所述精细金属掩膜板位置进行X向细调的第二级X向驱动机构；所述Y向平移机构（2）包括两级Y向驱动机构，所述两级Y向驱动机构包括用于对精细金属掩膜板位置进行Y向粗调的第一级Y向驱动机构和用于对所述精细金属掩膜板位置进行Y向细调第二级Y向驱动机构；其中，所述X方向为所述精细金属掩膜板拉伸时的长度方向，所述Y方向为所述精细金属掩膜板拉伸时的宽度方向。2.根据权利要求1所述的张网机夹持装置，其特征在于，所述夹爪台（3）上安装有底板（301），底板（301）上设置有第一Y向导轨（302），所述夹爪组件（1）通过第一滑块（204）与所述第一Y向导轨（302）滑动连接；所述两级Y向驱动机构中的第二级Y向驱动机构与对应的夹爪组件（1）连接。3.根据权利要求2所述的张网机夹持装置，其特征在于，所述第一级Y向驱动机构包括Y向伺服电机（201），所述第二级Y向驱动机构包括Y向压电促动器（202）；所述Y向伺服电机（201）的固定端安装在所述夹爪台（3）上，其输出端与所述Y向压电促动器（202）的固定端连接，所述Y向压电促动器（202）的输出端与所述夹爪组件（1）固定连接。4.根据权利要求2所述的张网机夹持装置，其特征在于，所述第一级X向驱动机构包括X向伺服电机（101）、行星减速器（102）；所述第二级X向驱动机构包括X向压电促动器（104），所述X向压电促动器（104）的固定端通过所述行星减速器（102）与所述X伺服电机（101）的输出端固定连接。5.根据权利要求2所述的张网机夹...

【专利技术属性】
技术研发人员：何远超，顾骏，刘耀阳，徐健，
申请(专利权)人：上海精骊电子技术有限公司，
类型：发明
国别省市：