下载一种具有可移动坩埚的蒸镀设备的技术资料

文档序号:18516337

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本实用新型提供一种蒸镀设备,包括:用于容纳蒸镀材料的内坩埚、容纳所述内坩埚的外坩埚,还包括设置于所述内坩埚底部的升降机构,所述升降机构为弹簧机构,用于控制所述内坩埚在所述外坩埚内的上升和下降;还包括喷射口,位于所述外坩埚的上部,用于使蒸发或...
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