The utility model relates to a powder sputtering coating device, including a coated cavity. The upper part of the coated cavity can be rotated and arranged with a separate disc. A sputtering cathode is arranged on one side of the middle part of the coating cavity, and the bottom of the coating cavity is connected with the inlet end of the conveying pipe, and the outlet end of the transmission pipeline is connected to the coated cavity. The outlet end of the conveying pipe is set on the opposite side of the sputtering cathode and above the separation turntable, and the flexible hanging dragon can be rotated in the conveying pipe, and the utility model realizes the deposition of various functional film layers on the surface of the powder, and increases its hardness, corrosion resistance and surface modification.
【技术实现步骤摘要】
一种粉体溅射镀膜装置
本技术涉及镀膜领域，尤其涉及一种粉体溅射镀膜装置。
技术介绍
目前，常用于粉体真空镀膜的方式是利用震动的方法对粉体进行雾化，然后对雾化的粉体进行镀膜，但在粉体质量不均匀情况下很难获得均匀雾化，最终很难获使得所有粉体获得均匀膜层，成品率较低。此外采用震动雾化的方式，对一次装入粉体数量有一定限制，大量粉体很难一次装入。基于此，需要一种能一次制备大量粉体、镀膜均匀性极大提高、不受粉体颗粒大小限制、结构简单、性能稳定、操作方便的粉体溅射镀膜装置被设计出来。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服现有技术的不足，得到一种能一次制备大量粉体、镀膜均匀性极大提高、不受粉体颗粒大小限制、结构简单、性能稳定、操作方便的粉体溅射镀膜装置。本技术是通过以下技术方案实现：一种粉体溅射镀膜装置，包括镀膜腔体，所述镀膜腔体上部可转动设置有分离转盘，所述镀膜腔体中部的一侧设置有溅射阴极，所述镀膜腔体底部连接有输送管道进口端，所述输送管道的出口端连接至镀膜腔体的上部，所述输送管道的出口端设置在溅射阴极的对侧且位于分离转盘的上方，所述输送管道内可转动设置有柔性绞龙。作为优选，所述镀膜腔体的底部为圆锥形结构，圆锥形结构的截面面积沿出粉方向逐渐减小。作为优选，所述输送管道的出口端伸入设置在镀膜腔体内，出口端的伸入部分的下部为多孔结构。与现有的技术相比，本技术的有益效果是：本技术主要应用于粉体材料表面改性，使其获得更好的耐腐蚀性、硬度或易焊性，通过设置带有多孔结构的输送管道及其内部柔性绞龙的作用，将粉体从镀膜腔体底部输送至腔体顶部自由下落，在下落过程中通过分离转盘的作用，使得粉体均匀...
【技术保护点】
1.一种粉体溅射镀膜装置，其特征在于，包括镀膜腔体，所述镀膜腔体上部可转动设置有分离转盘，所述镀膜腔体中部的一侧设置有溅射阴极，所述镀膜腔体底部连接有输送管道进口端，所述输送管道的出口端连接至镀膜腔体的上部，所述输送管道的出口端设置在溅射阴极的对侧且位于分离转盘的上方，所述输送管道内可转动设置有柔性绞龙。
【技术特征摘要】
1.一种粉体溅射镀膜装置，其特征在于，包括镀膜腔体，所述镀膜腔体上部可转动设置有分离转盘，所述镀膜腔体中部的一侧设置有溅射阴极，所述镀膜腔体底部连接有输送管道进口端，所述输送管道的出口端连接至镀膜腔体的上部，所述输送管道的出口端设置在溅射阴极的对侧且位于分离转盘的上方，所述输送管道内...
【专利技术属性】
技术研发人员：周焱文，
申请(专利权)人：武汉普迪真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北,42
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