多工位掩膜板在线切换装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了多工位掩膜板在线切换装置，属于在线切换技术领域，其包括支撑底板和物料框，所述支撑底板的顶部固定连接有多级伸缩机构，所述物料框的数量为多个，多个物料框之间固定连接，多个物料框中均设有放料组件，且最下方物料框与多级伸缩机构之间固定连接。该多工位掩膜板在线切换装置，通过设置多级伸缩机构和推出机构，多级伸缩机构可以控制物料框上下运动，使得每个放料组件上不同的掩膜板可以与推出机构的位置对应，进而可以通过推出机构自动推出放料组件实现掩膜板推出使用，且多个掩膜板之间有序放置，可实现自动切换使用，而且通过放料组件避免了散乱放置，导致掉落或受到外力损坏的问题。致掉落或受到外力损坏的问题。致掉落或受到外力损坏的问题。

【技术实现步骤摘要】
多工位掩膜板在线切换装置


[0001]本技术属于在线切换
，具体为多工位掩膜板在线切换装置。

技术介绍

[0002]光学掩模板是指在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位，以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构，在需要多个掩膜板分别使用的过程中，一般都是散落放置在桌面上，不仅容易受到外力作用掉落或者损坏，而且不便于快速自动切换，因此，研究一种新的多工位掩膜板在线切换装置来解决上述问题具有重要意义。

技术实现思路

[0003]为了克服上述缺陷，本技术提供了多工位掩膜板在线切换装置，解决了在需要多个掩膜板分别使用的过程中，一般都是散落放置在桌面上，不仅容易受到外力作用掉落或者损坏，而且不便于快速自动切换的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：多工位掩膜板在线切换装置，包括支撑底板和物料框，所述支撑底板的顶部固定连接有多级伸缩机构，所述物料框的数量为多个，多个物料框之间固定连接，多个物料框中均设有放料组件，且最下方物料框与多级伸缩机构之间固定连接，最下方物料框的右侧位置对应设有推出机构本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.多工位掩膜板在线切换装置，包括支撑底板(1)和物料框(4)，其特征在于：所述支撑底板(1)的顶部固定连接有多级伸缩机构(2)，所述物料框(4)的数量为多个，多个物料框(4)之间固定连接，多个物料框(4)中均设有放料组件(5)，且最下方物料框(4)与多级伸缩机构(2)之间固定连接，最下方物料框(4)的右侧位置对应设有推出机构(3)，所述推出机构(3)固定安装在支撑底板(1)的上方。2.根据权利要求1所述的多工位掩膜板在线切换装置，其特征在于：所述推出机构(3)包括电动推杆(32)，所述电动推杆(32)嵌设安装在两个固定板(33)中，两个固定板(33)固定连接在支撑底板(1)的上方。3.根据权利要求2所述的多工位掩膜板在线切换装置，其特征在于：所述电动推杆(32)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：周焱文，
申请(专利权)人：武汉普迪真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：