光刻胶喷嘴及其使用方法技术

本发明专利技术实施例提供一种光刻胶喷嘴及其使用方法。光刻胶喷嘴包括尖端，其中尖端包括第一部分以及第二部分。第一部分具有第一流体沟道，以使第一部分具有圆锥状的中空结构，且第一部分具有第一内表面以及第一外表面。第二部分具有第二流体沟道，以使第二部分具有圆锥状的中空结构，且第二部分具有第二内表面以及第二外表面。第二部分连接第一部分，第一内表面与第二内表面相接且为共平面，且第一外表面与第二外表面相接且具有夹角。

【技术实现步骤摘要】
光刻胶喷嘴及其使用方法
本专利技术实施例是有关于一种喷嘴及其使用方法，且特别是有关于一种光刻胶喷嘴及其使用方法。
技术介绍
半导体集成电路(integratedcircuit，IC)工业已历经快速成长的阶段。在IC材料与设计方面的技术发展的多个IC世代中，每个世代具有相较于前一世代更小且更复杂的电路。换言之，这样的IC发展趋势使得加工与制造IC的复杂度以及精密度亦同时提高。目前各方正努力开发适用于较高的加工与制造IC的复杂度以及精密度的技术与设备。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种光刻胶喷嘴。光刻胶喷嘴包括尖端，其中尖端包括第一部分以及第二部分。第一部分具有第一流体沟道，以使第一部分具有圆锥状的中空结构，且第一部分具有第一内表面以及第一外表面。第二部分具有第二流体沟道，以使第二部分具有圆锥状的中空结构，且第二部分具有第二内表面以及第二外表面。第二部分连接第一部分，第一内表面与第二内表面相接且为共平面，以使第一流体沟道与第二流体沟道相连接，且第一外表面与第二外表面相接且在相接处具有夹角。本专利技术实施例提供一种光刻胶喷嘴。光刻胶喷嘴包括尖端以及主体。尖端具有圆锥状的中空结构，其中尖端包括第一部分以及第二部分。第一部分具有第一内表面、第一外表面以及第一流体沟道。第二部分具有第二内表面、第二外表面以及第二流体沟道。第二流体沟道连接第一流体沟道，第一内表面与第二内表面为共平面，第一外表面与第二外表面之间具有夹角。主体具有连接第二流体沟道的主体流体沟道，其中第二流体沟道位于第一流体沟道与主体流体沟道之间。本专利技术实施例一种光刻胶喷嘴的使用方式，包括以下步骤。提供光刻胶供给装置，其中光刻胶供给装置具有上述光刻胶喷嘴。提供光刻胶储存装置以及光刻胶吸取装置，其中光刻胶储存装置以及光刻胶吸取装置連接光刻胶供给装置。提供光刻胶至光刻胶储存装置。透过光刻胶吸取装置使位于光刻胶储存装置中的光刻胶流经光刻胶喷嘴而喷涂至待涂布的物件上。基于上述，在本专利技术实施例中，藉由光刻胶喷嘴的尖端具有圆锥状的中空结构，光刻胶喷嘴可加强控制位于内部流体沟道中的光刻胶液面的水平的一致性，使得光刻胶喷嘴内的光刻胶具有稳定液面，进而减少回吸气泡。附图说明根据以下的详细说明并配合所附图式以了解本专利技术实施例。应注意的是，根据本产业的一般作业，各种特征并未按照比例绘制。事实上，为了清楚说明，可能任意的放大或缩小组件的尺寸。图1为依据一些本专利技术实施例的光刻胶喷嘴的剖面示意图。图2为依据一些本专利技术实施例示意性地绘示光刻胶喷嘴以及使用光刻胶喷嘴的相关装置。图3为依据一些本专利技术实施例的光刻胶喷嘴的使用方法的流程图。附图标号说明100：光刻胶喷嘴；101：第一部分；101a：第一内表面；101b：第一外表面；101c：第一流体沟道；102：第二部分；102a：第二内表面；102b：第二外表面；102c：第二流体沟道；103：主体；103a：内表面；103b：外表面；103c：主体流体沟道；110：尖端；120：凹槽结构；200：光刻胶供给装置；202：容置空间；210：光刻胶吸取装置；220：光刻胶储存装置；230：光刻胶供应单元；300：使用方法；S310、S320、S330、S340：步骤；D1：第一方向；D2：第二方向；H1、H2、H3：长度；W1、W2、W3：宽度；T1、T2、T3：厚度；θ1、θ2：夹角。具体实施方式以下揭露内容提供用于实施所提供的目标的不同特征的许多不同实施例或实例。以下所描述的构件及设置的具体实例是为了以简化的方式传达本揭露为目的。当然，这些仅仅为实例而非用以限制。举例来说，于以下描述中，在第一特征上方或在第一特征上形成第二特征可包括第二特征与第一特征形成为直接接触的实施例，且亦可包括第二特征与第一特征之间可形成有额外特征使得第二特征与第一特征可不直接接触的实施例。此外，本揭露在各种实例中可使用相同的组件符号及/或字母来指代相同或类似的部件。组件符号的重复使用是为了简单及清楚起见，且并不表示所欲讨论的各个实施例及/或设置本身之间的关系。另外，为了易于描述附图中所绘示的一个构件或特征与另一组件或特征的关系，本文中可使用例如“在...下”、“在...下方”、“下部”、“在…上”、“在…上方”、“上部”及类似术语的空间相对术语。除了附图中所绘示的定向之外，所述空间相对术语意欲涵盖组件在使用或操作时的不同定向。设备可被另外定向(旋转90度或在其他定向)，而本文所用的空间相对术语相应地作出解释。此外，文中所述用语诸如“第一”、“第二”等，其在文中的使用主要是便于描述图中所示相似或不同的组件或特征，并且可以根据叙述出现的顺序或上下文的描述而相互调换使用。图1为依据一些本专利技术实施例的光刻胶喷嘴的剖面示意图。请参考图1，在一些实施方式中，光刻胶喷嘴100包括尖端110以及主体103。在一些实施方式中，尖端110具有第一部分101以及第二部分102，其中第一部分101与第二部分102连接，第二部分102与主体103连接，且第二部分102位于第一部分101与主体103之间。换句话说，第一部分101、第二部分102以及主体103之间彼此相通，且第一部分101通过第二部分102与主体103分隔开来。请参照图1，在一些实施方式中，第一部分101具有第一流体沟道101c，以使第一部分101具有中空结构，且第一部分101具有第一内表面101a以及第一外表面101b。在一些实施方式中，第一流体沟道101c的第一内表面101a与第一外表面101b彼此不平行，第一内表面101a与第一外表面101b之间具有第一厚度T1。在一些实施方式中，第一部分101不与第二部分102相接的一端为尖端110的出口端，第二部分102不与第一部分101相接的一端为尖端110的入口端，且第一厚度T1从开口端往入口端逐渐增加。在一些实施方式中，第一厚度T1约为0.05毫米至0.2毫米，且位于开口端的第一流体沟道101c的内径W1约为0.55毫米至0.65毫米。在一些实施方式中，沿第二方向D2上，尖端110位于开口端的直径约为0.8毫米至1.01毫米。在特定实施方式中，以尖端110的开口端来说，第一流体沟道101c的内径W1约为0.6毫米，第一厚度T1约为0.1毫米。更具体来说，在一些实施方式中，第一流体沟道101c的内径W1从开口端往入口端逐渐增加。在一些实施方式中，第一部分101的第一内表面101a以及第一外表面101b不垂直于第二方向D2，其中夹置于第一部分101的第一内表面101a与第二方向D2之间的锐角约介于70度至80度。因此，第一部分101具有圆锥状的中空结构。在一些实施方式中，第二部分102具有第二流体沟道102c，以使第二部分102具有中空结构，且第二部分102具有第二内表面102a以及第二外表面102b，如图1所示。在一些实施方式中，第二流体沟道102c的第二内表面102a与第二外表面102b彼此平行，第二内表面102a与第二外表面102b之间具有第二厚度T2，且第二厚度T2的厚度保持不变。在一些实施方式中，第二厚度T2约为0.25毫米至0.4毫米，且位于入口端的第二流体沟道102c的内径W2约为2.5毫米至4.0毫米。在特定实施方式中，以尖端110的入口端来说，第二流体沟道1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光刻胶喷嘴，其特征在于，包括：尖端，其中所述尖端包括：第一部分，其中所述第一部分具有第一流体沟道，以使所述第一部分具有圆锥状的中空结构，且所述第一部分具有第一内表面以及第一外表面；以及第二部分，其中所述第二部分具有第二流体沟道，以使所述第二部分具有圆锥状的中空结构，且所述第二部分具有第二内表面以及第二外表面，其中所述第二部分连接所述第一部分，所述第一内表面与所述第二内表面相接且为共平面，以使所述第一流体沟道与所述第二流体沟道相连接，且所述第一外表面与所述第二外表面相接且在相接处具有夹角。

【技术特征摘要】
1.一种光刻胶喷嘴，其特征在于，包括：尖端，其中所述尖端包括：第一部分，其中所述第一部分具有第一流体沟道，以使所述第一部分具有圆锥状的中空结构，且所述第一部分具有第一内表面以及第一外表面；以及第二部分，其中所述第二部分具有第二流体沟道，以使所述第二部分具有圆锥状的中空结构，且所述第二部分具有第二内表面以及第二外表面，其中所述第二部分连接所述第一部分，所述第一内表面与所述第二内表面相接且为共平面，以使所述第一流体沟道与所述第二流体沟道相连接，且所述第一外表面与所述第二外表面相接且在相接处具有夹角。2.根据权利要求1所述的处光刻胶喷嘴，其特征在于，其中所述第一流体沟道不与所述第二流体沟道相接的一端为所述尖端的出口端，所述第二流体沟道不与所述第一流体沟道相接的一端为所述尖端的入口端，其中所述第一内表面与所述第一外表面彼此不平行，所述第一内表面与所述第一外表面之间具有第一厚度，且所述第一厚度从所述开口端往所述入口端逐渐增加。3.根据权利要求1所述的处光刻胶喷嘴，其特征在于，其中所述第二内表面与所述第二外表面彼此平行，所述第一内表面与所述第一外表面之间具有第二厚度。4.根据权利要求1所述的处光刻胶喷嘴，其特征在于，其中所述尖端具有圆锥状的中空结构。5.一种光刻胶喷嘴，其特征在于，包括：尖端，具有圆锥状的中空结构，其中所述尖端包括：第一部分，其中所述第一部分具有第一内表面、第一外表面以及第一流体沟道；以及第二部分，其中所述第二部分具有第二内表面、第二外表面以及第二流体沟道，其中所述第二流体沟道连接所述第一流体沟道，所述第一内表面与所述第二内表面为共平面，所述第一外表面与所述第二外表面之间具有夹角；以及主体，具有连接所述第二流体沟道的主体流体沟道，其中所述第二流体沟道位于所述第一流体沟道...

【专利技术属性】
技术研发人员：林裕翔，沈裕闵，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71