光阻实时检测装置、光阻实时检测方法及光阻涂布设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种光阻实时检测装置，包括工台，设置于工台上的基板，口金，口金用于在基板上涂布光阻，工台上还设置有光学检测件和与光学检测件电连接的控制件，口金在基板沿第一方向上涂布光阻时，光学检测件对光阻进行检测，并反馈检测信号至控制件，控制件将检测信号与标准信号进行对比而确定光阻是否达标。本发明专利技术提供的一种光阻实时检测装置，通过设置光学检测件，并在口金涂布光阻时对光阻进行检测，光学检测件将检测信号反馈至控制件，控制件将检测信号与标准信号进行对比，达到了对光阻实时检测的目的，解除了抽检方式所存在的漏检风险，提高了产品的良率，对产能的影响小。本发明专利技术还提供了一种光阻实时检测方法及一种光阻涂布设备。 1

Photoresist real-time detection device, photoresist real-time detection method and photoresist coating equipment

The present invention provides a real-time optical resistance detection device, including a workstand, a substrate arranged on a workbench, an oral gold and a mouth gold for coating light resistance on a substrate. An optical detection piece and an electrical connection with the optical detection part are also arranged on the platform. The optical detection piece is resistant to the optical resistance when the mouth gold is coated along the first direction. The signal is detected and the signal is sent back to the control part. The control unit compares the detection signal with the standard signal to determine whether the photoresist is up to the standard. The present invention provides a real-time detection device for optical resistance. By setting optical detection parts and detecting optical resistance in the light resistance of the mouth gold, the optical detection part feedback the detection signal to the control part, the control part compares the detection signal with the standard signal, and achieves the purpose of real-time detection of optical resistance and relieves the sampling inspection party. The risk of missed inspection increases the yield of products and has little influence on the capacity. The invention also provides a real-time detection method for photoresist and a photoresist coating device. One

【技术实现步骤摘要】
光阻实时检测装置、光阻实时检测方法及光阻涂布设备
本专利技术属于光阻涂布
，尤其涉及一种光阻实时检测装置、光阻实时检测方法及光阻涂布设备。
技术介绍
目前，液晶面板行业的光阻涂布制程中，多采用涂布机对基板进行光阻涂布。为保证量产良率，需要对光阻涂布制程进行如下三方面检测监控：1、实际量产中，当每次涂布机进行维护保养完毕要复机，均需要先在基板上涂布光阻，再用膜厚机测量基板涂布的光阻厚度，进而确认光阻厚度整体均一性是否在规格内；2、生产中，为保证光阻涂布后破膜现象及时发现，需在涂布机后配备1台AOI(AutomatedOpticalInspection，自动光学检测)检测机，对基板涂布后状况进行抽检；3、为保证膜厚异常现象(膜厚整体偏薄或偏厚)及时发现，会在月保养时进行测量监控确认。但是以上检测监控措施，会导致如下问题：1、维护保养后确认复机时间较长(一般不少于一小时)，影响产能；2、进行AOI抽检影响产能，抽检频率无法太高，导致漏检风险存在；3、偶发的膜厚异常现象，通过月保养时确认，无法实时监控避免，存在产品报废风险。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种光阻实时检测装置，以解决现有技术所存在的检测影响产能，抽检存在漏检风险，不能实时监控的问题。为实现本专利技术的目的，本专利技术提供了如下的技术方案：第一方面，本专利技术提供一种光阻实时检测装置，包括工台，设置于所述工台上的基板，口金，所述口金用于在所述基板上涂布光阻，所述工台上还设置有光学检测件和与所述光学检测件电连接的控制件，所述口金在所述基板沿第一方向上涂布光阻时，所述光学检测件对所述光阻进行检测，并反馈检测信号至所述控制件，所述控制件将所述检测信号与标准信号进行对比而确定所述光阻是否达标。在第一方面的第一种可能的实现方式中，所述控制件包括存储模块和信号处理模块，所述存储模块用于存储所述光学检测件所反馈的无缺陷光阻的标准信号，所述信号处理模块用于将所述检测信号与所述标准信号进行对比。在第一方面的第二种可能的实现方式中，所述光学检测件包括在所述基板两侧相对设置的光发射器和光接收器，所述光发射器发出光线，所述光线穿透所述光阻由所述光接收器接收，所述光发射器和所述光接收器跟随所述口金在所述第一方向同步移动。结合第一方面及第一方面的第二种可能的实现方式，在第一方面的第三种可能的实现方式中，所述光接收器可将接收到的所述光线转换为电信号，并将所述电信号传输至所述控制件。结合第一方面及第一方面的第二种可能的实现方式，在第一方面的第四种可能的实现方式中，所述光接收器可将接收到的所述光线转换为电信号，并将所述电信号传输至所述控制件。第二方面，本专利技术还提供了一种光阻实时检测方法，包括以下步骤：提供一光发射器和光接收器，所述光发射器和所述光接收器设置于工台上的基板相对的两侧；在口金沿第一方向在所述基板上涂布光阻的同时，所述光发射器和所述光接收器跟随所述口金同步移动；所述光发射器发出光线，所述光线穿透所述光阻由所述光接收器接收；所述光接收器将接收到的所述光线转换为电信号，并将所述电信号传输至控制件；所述控制件将所述电信号与标准信号进行对比，从而确定所述光阻是否达标。在第二方面的第一种可能的实现方式中，所述控制件包括存储模块和信号处理模块，所述存储模块存储所述光接收器传输的无缺陷光阻的标准信号，所述信号处理模块将所述电信号与所述标准信号进行对比。在第二方面的第二种可能的实现方式中，在所述工台上设置导轨，将所述导轨沿所述第一方向设置，将所述光发射器与所述光接收器设置于所述导轨上。结合第二方面及第二方面的第二种可能的实现方式，在第二方面的第三种可能的实现方式中，所述导轨在所述工台上的位置可以调整。第三方面，本专利技术还提供了一种光阻涂布设备，包括如第一方面中任一所述的光阻实时检测装置。本专利技术的有益效果：本专利技术提供的一种光阻实时检测装置，通过设置光学检测件，并在口金涂布光阻时对光阻进行检测，光学检测件将检测信号反馈至控制件，控制件将检测信号与标准信号进行对比，在每次涂布光阻时均对光阻进行检测，达到了对光阻实时检测的目的，解除了抽检方式所存在的漏检风险，提高了产品的良率，对产能的影响小。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术一种实施方式的光阻实时检测装置的俯视结构示意图；图2是本专利技术一种实施方式的光阻实时检测装置的正视结构示意图；图3是本专利技术一种实施方式的光阻实时检测装置的控制结构示意图；图4是沿图2中E-F的剖面结构示意图；图5是一种实施方式的光阻实时检测装置的导轨结构示意图；图6是另一种实施方式的光阻实时检测装置的导轨结构示意图；图7是另一种实施方式的光阻实时检测装置的导轨结构示意图；图8是本专利技术的光阻实时检测装置的控制件对检测信号进行对比的示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施方式中的附图，对本专利技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本专利技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本专利技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本专利技术保护的范围。本专利技术提供一种光阻涂布设备，包括光阻实时检测装置，能够在涂布光阻时对光阻的达标情况实时检测，节省工时，不影响产能。请参阅图1至图3，图1是本专利技术一种实施方式的光阻实时检测装置的俯视结构示意图，图2是本专利技术一种实施方式的光阻实时检测装置的正视结构示意图，图3是本专利技术一种实施方式的光阻实时检测装置的控制结构示意图。本专利技术一种实施方式提供一种光阻实时检测装置，包括工台100，设置于所述工台100上的基板200，口金30，所述口金30用于在所述基板300上涂布光阻300，所述工台100上还设置有光学检测件(图中未标号)和与所述光学检测件电连接的控制件90，所述口金30在所述基板200沿第一方向X上涂布光阻300时，所述光学检测件对所述光阻300进行检测，并反馈检测信号至所述控制件90，所述控制件90将所述检测信号与标准信号进行对比而确定所述光阻300是否达标。通过设置光学检测件，并在口金30涂布光阻300时对光阻300进行检测，光学检测件将检测信号反馈至控制件90，控制件90将检测信号与标准信号进行对比，达到了对光阻300实时检测的目的，解除了抽检方式所存在的漏检风险，提高了产品的良率，对产能的影响小。工台100用于支撑基板200，工台100包括一平面，基板200设置于该平面上，基板200设置于工台100上时，可设治具(图中未示出)限定基板200的位置，工台100上与基板200对应的位置还可设置有顶针结构(图中未示出)，用于顶起基板100以便于更换下一块基板100。基板200是光阻300的载体，基板200的材质可以为玻璃。基板200包括长边和短边，在工台100上设置时长边沿第一方向X设置，短边沿第二方向Y设置，第一方向X与第二方向Y具有一例如为90°的夹角，第一方向X和第二方向Y形成的平面与基板200共面，口金30在基板上涂本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光阻实时检测装置，其特征在于，包括工台，设置于所述工台上的基板，口金，所

【技术特征摘要】
1.一种光阻实时检测装置，其特征在于，包括工台，设置于所述工台上的基板，口金，所述口金用于在所述基板上涂布光阻，所述工台上还设置有光学检测件和与所述光学检测件电连接的控制件，所述口金在所述基板沿第一方向上涂布光阻时，所述光学检测件对所述光阻进行检测，并反馈检测信号至所述控制件，所述控制件将所述检测信号与标准信号进行对比而确定所述光阻是否达标。2.如权利要求1所述的光阻实时检测装置，其特征在于，所述控制件包括存储模块和信号处理模块，所述存储模块用于存储所述光学检测件所反馈的无缺陷光阻的标准信号，所述信号处理模块用于将所述检测信号与所述标准信号进行对比。3.如权利要求1所述的光阻实时检测装置，其特征在于，所述光学检测件包括在所述基板两侧相对设置的光发射器和光接收器，所述光发射器发出光线，所述光线穿透所述光阻由所述光接收器接收，所述光发射器和所述光接收器跟随所述口金在所述第一方向同步移动。4.如权利要求3所述的光阻实时检测装置，其特征在于，所述光接收器可将接收到的所述光线转换为电信号，并将所述电信号传输至所述控制件。5.如权利要求3所述的光阻实时检测装置，其特征在于，所述光发射器和所述光接收器设...

【专利技术属性】
技术研发人员：张瑞军，莫超德，范志翔，刘文波，孟小龙，王松，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44