The utility model discloses a sputtering coating device for a solar cell, including a target for sputtering to a substrate, a barrier unit located between the target and the substrate, and the positive projection of the barrier unit on the substrate coincides with the projection portion of the target on the substrate. By setting barrier units between the target and the substrate, the barrier section can be blocked by the barrier unit, and the thickness of the film deposited on the substrate is reduced by the blocking part, that is, by flexibly setting the position of the barrier unit, the thickness of the film formed on the substrate is in good consistency, and the film is improved. The uniformity of layers can meet the actual needs of industrial production.
【技术实现步骤摘要】
一种用于太阳能电池的溅射镀膜装置
本技术涉及太阳能电池加工领域,尤其涉及一种用于太阳能电池的溅射镀膜装置。
技术介绍
柔性衬底铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池具有质量轻、抗辐射能力强、稳定性好等优势。其与卷对卷(rolltoroll)技术相结合,适于大规模生产,可显著降低材料成本和制造成本。窗口层既是CIGS太阳能电池异质结n型区的核心部分,又是电池功率输出的主要通道。窗口层即为溅射在衬底上的膜层,窗口层的均匀性对电池转换效率和产品良率尤为重要。在实际产业化生产过程中,由于靶材特性,溅射气体分布以及靶内磁场分布等原因,所制备的窗口层厚度均匀性不理想。通过在镀膜后的衬底上测量窗口层厚度,可以看到该膜层厚度中间部分偏厚,上下两边偏薄,均匀性偏差较大,不能满足产业化生产的实际需要。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种用于太阳能电池的溅射镀膜装置,以解决现有技术中的问题,提高衬底上膜层的均匀度。本技术提供了一种用于太阳能电池的溅射镀膜装置,所述用于太阳能电池的溅射镀膜装置包括:用于向衬底溅射的靶材;位于所述靶材与所述衬底之间的阻挡单元,所述阻挡单元在所述衬底上的正投影与所述靶材在所述衬底上的正投影部分重合。作为优选,所述阻挡单元相对所述靶材固定,且所述阻挡单元在所述靶材上的正投影位于所述靶材的中部。作为优选,所述阻挡单元的长度占所述靶材长度的50%-75%。作为优选,所述靶材设置有四块,四块靶材沿着一字排列,所述阻挡单元设置在排列方向上位于末端的靶材处。作为优选,所述用于太阳能电池的溅射镀膜装置还包括用于容纳所述靶材的靶仓。作为优选,所述靶仓内设置有用于容纳所述靶材的 ...
【技术保护点】
1.一种用于太阳能电池的溅射镀膜装置,其特征在于,所述用于太阳能电池的溅射镀膜装置包括:用于向衬底溅射的靶材;位于所述靶材与所述衬底之间的阻挡单元,所述阻挡单元在所述衬底上的正投影与所述靶材在所述衬底上的正投影部分重合。
【技术特征摘要】
1.一种用于太阳能电池的溅射镀膜装置,其特征在于,所述用于太阳能电池的溅射镀膜装置包括:用于向衬底溅射的靶材;位于所述靶材与所述衬底之间的阻挡单元,所述阻挡单元在所述衬底上的正投影与所述靶材在所述衬底上的正投影部分重合。2.根据权利要求1所述的用于太阳能电池的溅射镀膜装置,其特征在于,所述阻挡单元相对所述靶材固定,且所述阻挡单元在所述靶材上的正投影位于所述靶材的中部。3.根据权利要求2所述的用于太阳能电池的溅射镀膜装置,其特征在于,所述阻挡单元的长度占所述靶材长度的50%-75%。4.根据权利要求1所述的用于太阳能电池的溅射镀膜装置,其特征在于,所述靶材设置有四块,四块靶材沿着一字排列,所述阻挡单元设置在排列方向上位于末端的靶材处。5.根据权利要求1所述的用于太阳能电池的溅射镀膜装置,其特征在于,所述用于太阳能电池的溅射镀...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱朋建,孙红霞,胡超,舒毅,潘登,陈凡,徐国军,
申请(专利权)人:米亚索乐装备集成福建有限公司,
类型:新型
国别省市:福建,35
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。