The utility model discloses a baffle component applied to a cylindrical rotating target, including a free ring, a semicircle ring baffle, a link ring, a ring press plate, a bearing and a ball ball, the free ring is U, and the lateral part is symmetrically arranged with two limiting parts; the half circle ring baffle is connected to the bottom of the free ring; the link ring is U and is in a free ring. The inner, including the ring shaped bottom and the ring bulge; the annular pressure plate and the bearing are arranged on the outer side of the annular protruding part of the coupling ring. The annular pressure plate is connected with the free ring through the outer sleeve with the elastic parts; the bottom surface of the ring shaped bottom of the shaft ring corresponds to the corresponding position of the top surface of the circular ring bottom of the free ring. The annular grooves are provided with spherical pits, and the balls are arranged in annular grooves or spherical pits. The utility model does not need to use a separate motor or cylinder driving device, at the same time, it does not need to use a separate matching vacuum cavity opening structure and shaft seal structure, and can reduce the fault point at the same time reduce the production cost of the baffle.
【技术实现步骤摘要】
一种应用于柱形旋转靶的挡板组件
本技术属于溅射镀膜挡板结构
,具体涉及一种应用于柱形旋转靶的挡板组件。
技术介绍
溅射镀膜靶材的挡板结构用于防止不同材料靶材溅射的相互污染问题,对于柱形旋转靶而言,常采用半环形挡板结构。现有的半环形挡板开关一般采用两种方式:一种是采用独立的电机加传感器实现挡板的关闭;另一种方式是采用气缸驱动,前述的两种方式均需要配置与挡板单独配套的真空腔体开孔结构和轴封结构,从而会导致增加真空漏气故障点。
技术实现思路
针对上述问题,本技术提出一种应用于柱形旋转靶的挡板组件,无需使用单独配套的电机或者气缸等驱动装置,同时无需使用单独配套的真空腔体开孔结构和轴封结构,能够减少故障点的同时降低挡板的制作成本。实现上述技术目的,达到上述技术效果,本技术通过以下技术方案实现:一种应用于柱形旋转靶的挡板组件,包括自由环、半圆环挡板、连轴环、环状压板、轴承和滚珠;所述自由环呈U型,包括圆环状的底部和环状凸起部,其外侧部上对称设置有两个限位件;所述半圆环挡板与自由环的底端相连,其延伸方向与自由环的底部的延伸方向相垂直,且半圆环挡板的两个端部分别位于自由环上对应的限位件下方;所述连轴环呈U型,设于自由环内部,且与自由环同轴设置,包括圆环状的底部和环状凸起部;所述环状压板和轴承均套设在连轴环的环状凸起部外侧,所述环状压板位于轴承上方,且环状压板通过外侧套设有弹性件的螺杆与自由环上的环状凸起部相连;所述连轴环的圆环状的底部的底表面与自由环的圆环状的底部的顶表面的对应位置处均设有环形凹槽,环形凹槽上还设有球形凹坑,连轴环和自由环上的环形凹槽共同形成跑道,所述滚珠设 ...
【技术保护点】
1.一种应用于柱形旋转靶的挡板组件,其特征在于:包括自由环、半圆环挡板、连轴环、环状压板、轴承和滚珠;所述自由环呈U型,包括圆环状的底部和环状凸起部,其外侧部上对称设置有两个限位件;所述半圆环挡板与自由环的底端相连,其延伸方向与自由环的底部的延伸方向相垂直,且半圆环挡板的两个端部分别位于自由环上对应的限位件下方;所述连轴环呈U型,设于自由环内部,且与自由环同轴设置,包括圆环状的底部和环状凸起部;所述环状压板和轴承均套设在连轴环的环状凸起部外侧,所述环状压板位于轴承上方,且环状压板通过外侧套设有弹性件的螺杆与自由环上的环状凸起部相连;所述连轴环的圆环状的底部的底表面与自由环的圆环状的底部的顶表面的对应位置处均设有环形凹槽,环形凹槽上还设有球形凹坑,连轴环和自由环上的环形凹槽共同形成跑道,所述滚珠设于环形凹槽或者球形凹坑内。
【技术特征摘要】
1.一种应用于柱形旋转靶的挡板组件,其特征在于:包括自由环、半圆环挡板、连轴环、环状压板、轴承和滚珠;所述自由环呈U型,包括圆环状的底部和环状凸起部,其外侧部上对称设置有两个限位件;所述半圆环挡板与自由环的底端相连,其延伸方向与自由环的底部的延伸方向相垂直,且半圆环挡板的两个端部分别位于自由环上对应的限位件下方;所述连轴环呈U型,设于自由环内部,且与自由环同轴设置,包括圆环状的底部和环状凸起部;所述环状压板和轴承均套设在连轴环的环状凸起部外侧,所述环状压板位于轴承上方,且环状压板通过外侧套设有弹性件的螺杆与自由环上的环状凸起部相连;所述连轴环的圆环状的底部的底表面与自由环的圆环状的底部的顶表面的对应位置处均设有环形凹槽,环形凹槽上还设有球形凹坑,连轴环和自由环上的环形凹槽共同形成跑道,所述滚珠设于环形凹槽或者球形凹坑内。2.根据权利要求1所述的一种应用于柱形旋转靶的挡板组件,...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴疆,李东滨,秦正春,冯斌,王德苗,金浩,
申请(专利权)人:浙江大学昆山创新中心,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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