轨道系统的监控车技术方案

一种用于轨道系统的监控车，包含轮式推车、架空车身、至少一支撑结构与至少一第一感应器。轮式推车可操作以于轨道系统的至少一轨道上移动。支撑结构连接轮式推车与架空车身。第一感应器设置于轮式推车，并配置以侦测轨道系统的轨道的至少一第一参数。

The monitoring vehicle of the track system

The utility model relates to a monitoring vehicle for track system, which comprises a wheeled trolley, an overhead body, at least one supporting structure and at least one first inductor. The wheeled cart can be operated to move on at least one track of the track system. The support structure connects the wheeled cart and the overhead body. The first inductor is arranged on the wheel cart and is configured to detect at least one first parameter of the track of the track system.

【技术实现步骤摘要】
轨道系统的监控车
本专利技术实施例是关于一种用于轨道系统的监控车。
技术介绍
半导体行业经历了指数式的增长，而集成电路(IntegratedCircuits；ICs)被用于各种应用中，例如记忆体，中央处理器(CentralProcessingUnit；CPU)，液晶显示(LiquidCrystalDisplay；LCD)装置，发光二极管(LightEmittingDiode；LED)，激光二极管，或微芯片。在半导体集成电路的制造过程中，半导体晶圆在不同的处理设备下进行多个处理步骤。例如，为了完成IC芯片的制造，通常在不同的处理设备中进行沉积，清洁，离子注入，蚀刻和/或钝化步骤等各种步骤。因此，制造设备通常包括例如自动化材料处理系统(AutomatedMaterialHandlingSystem；AMHS)的轨道系统，以于处理设备之间传送半导体晶圆。
技术实现思路
根据本专利技术的多个实施例，一种用于轨道系统的监控车包含轮式推车、架空车身、至少一支撑结构与至少一第一感应器。轮式推车可操作以于轨道系统的至少一轨道上移动。支撑结构连接轮式推车与架空车身。第一感应器设置于轮式推车，并配置以侦测轨道系统的轨道的至少一第一参数。附图说明图1绘示依照本专利技术多个实施例的轨道系统内的监控车的上视图；图2绘示依照本专利技术多个实施例的轨道系统内的监控车的剖面图；图3绘示依照本专利技术多个实施例的轨道系统内的监控车的另一剖面图；图4绘示依照本专利技术多个实施例用于轨道系统的监控车的方块图；图5绘示依照本专利技术多个实施例监控轨道系统的方法的流程图。具体实施方式以下揭示内容提供许多不同实施例或实例，以便实施所提供标的的不同特征。下文描述组件及排列的特定实例以简化本揭露。当然，这些实例仅为示例且并不意欲为限制性。举例来说，以下描述中在第二特征上方或第二特征上形成第一特征可包括以直接接触形成第一特征及第二特征的实施例，且亦可包括可在第一特征与第二特征之间形成额外特征以使得第一特征及第二特征可不处于直接接触的实施例。另外，本揭露可在各实例中重复元件符号及/或字母。此重复是出于简明性及清晰的目的，且本身并不指示所论述的各实施例及/或配置之间的关系。进一步地，为了便于描述，本文可使用空间相对性术语(诸如“之下”、“下方”、“下部”、“上方”、“上部”及类似者)来描述诸图中所绘示一个元件或特征与另一元件(或多个元件)或特征(或多个特征)的关系。除了诸图所描绘的定向外，空间相对性术语意欲包含使用或操作中装置的不同定向。设备可经其他方式定向(旋转90度或处于其他定向)，因此可同样解读本文所使用的空间相对性描述词。在制造设备中，轨道系统的异常，例如异常的振动、温度、粒子、轨道高度差或轨道系统的光信号，可能会增加在晶圆上形成意外损伤、粒子或特征的风险，及/或减低制造过程的生产效率。因此，侦测或监控轨道系统的一个或多个轨道的一个或多个参数，可避免运输半导体晶圆时的运输异常。请参照图1～图2。图1绘示依照本专利技术多个实施例的轨道系统内的监控车的上视图。图2绘示依照本专利技术多个实施例的轨道系统内的监控车的剖面图。在一些实施例中，监控车包含轮式推车10、检查装置50、架空车身80以及至少一支撑结构S。轮式推车10可操作以于轨道系统60的一个或多个轨道610上沿预定路线移动。支撑结构S连接轮式推车10以及架空车身80。检查装置50包含至少一设置于轮式推车10以侦测轨道系统60的轨道610的至少一参数的感应器。因此，监控车可被稳定地于轨道610上移动。当监控车移动时，设置于轮式推车10的检查装置50的感应器可随监控车以自由移动的方式被移动。如此一来，检查装置50可以侦测轨道系统60的轨道610沿预定路线的参数。在一些实施例中，轮式推车10可移动地耦合安装于天花板的轨道系统60的轨道610。具体而言，轨道系统60包含一对轨道610，轨道610沿轨道610的排列方向D1彼此相距，排列方向D1垂直于轨道610的长度方向D2，而轨道610的剖面如图2所示实质上为C形架构。轮式推车10可被轨道系统60的轨道610所支撑，以让监控车于轨道系统60沿轨道610的长度方向D2行驶。在一些实施例中，轮式推车10包含至少一主体100、驱动器200、至少一对辅助导引轮300以及至少一对导引轮400。主体100包含底表面110、一对第一侧壁120以及一对第二侧壁130。底表面110、第一侧壁120以及对第二侧壁130定义容置空间SP。容置空间SP可容置电子装置，例如启动器、电路板、控制器或其他适合操作监控车的装置。驱动器200设置于主体100的容置空间SP，而驱动器200配置以驱动轮式推车10沿轨道610移动。举例而言，驱动器200可以但不受限为，引擎、马达、电磁线圈或其他适合的装置。在一些实施例中，举例而言，如图3所示，轮式推车10包含两个主体100、两对导引轮400以及四对辅助导引轮300。其中一个主体100沿轨道610的长度方向D2位于另一个主体100的后方，而每个主体100具有一对导引轮400以及两对辅助导引轮300。在一些实施例中，导引轮400分别设置于主体100的相对两侧，例如于相对的第一侧壁120上。导引轮400可转动地轴颈连接于支撑轴402，并接触于轨道610的上表面614。导引轮400可以但不受限为，滚轮、轮子或其他适合的装置。换句话说，导引轮400以支撑轴402连接于主体100，支撑轴402具有第一轴向D4，第一轴向D4实质上平行于轨道610的上表面614。因此，当监控车被放置于轨道610之上时，导引轮400可分别于轨道系统60的左轨道610及右轨道610的上表面614滚动。在一些实施例中，辅助导引轮300分别设置于主体100的底表面110的左部分及右部分。辅助导引轮300于C形轨道610的限制下行驶，并接触于轨道610的内表面612，且在导引轮400的合作下以导引的形式接合内表面612，以使主体100在行驶时的水平振动可以避免，也使得监控车的行驶可以进行得更稳定及更快速。辅助导引轮300可以但不受限为，滚轮、轮子或其他适合的装置。具体而言，辅助导引轮300以支撑轴302连接于主体100，支撑轴302具有第二轴向D3，第二轴向D3实质上平行于轨道610的内表面612。因此，当监控车被放置于轨道610之上时，辅助导引轮300可分别于轨道系统60的左轨道610及右轨道610的内表面612滚动。在一些实施例中，如图2～图3所示，支撑结构S延伸至低于轮式推车10的底部。具体而言，支撑结构S从主体100的底表面110向下延伸至架空车身80的上表面810。换句话说，支撑结构S具有上端S1以及下端S2，上端S1连接主体100的底表面110，而下端S2连接架空车身80的上表面810。架空车身80从支撑结构S的下端S2朝侧向延伸，也就是说，架空车身80被支撑结构S连接至主体100。在一些实施例中，架空车身80可被设计以容置但不受限为，例如前开门晶圆盒系统(FrontOpenUnifiedPods；FOUPs)、晶圆载体、卡带、标线架或其他适合的物件。当监控车被放置于轨道系统60之上时，支撑结构S可被放置于轨道610之间的间隙G，而架空车身80可被放置于轨道610之下。在一些实施例中，如图2所示，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于轨道系统的监控车，其特征在于，包含：一轮式推车，可操作以于该轨道系统的至少一轨道上移动；一架空车身；至少一支撑结构，连接该轮式推车以及该架空车身；以及至少一第一感应器，设置于该轮式推车，并配置以侦测该轨道系统的该轨道的至少一第一参数。

【技术特征摘要】
2016.11.28 US 62/427,108;2017.07.10 US 15/645,9801.一种用于轨道系统的监...

【专利技术属性】
技术研发人员：简士浤，王仁地，黎辅宪，刘志鋐，徐永璘，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71