The invention relates to a breaking method of a brittle material substrate and a disconnecting device, which keeps the brittle material substrate in the cutting ring to prevent the bending of the substrate when carrying on the worktable. The sapphire substrate (30) is adhered to the adhesive tape (32) of the cutting ring (31). An elastic support plate (40) is arranged on the glass working table (12) of the disconnecting device, and a cutting ring (31) is fixed above the elastic supporting plate. By pressing the roller (22) on sapphire substrate (30) and making it relatively mobile, the sapphire substrate (30) is tightly attached to the elastic supporting plate (40). Next, a surveillance camera is used to identify the scribing, and the broken rod is dropped from the top of the line to separate the brittle material substrate.
【技术实现步骤摘要】
脆性材料基板的断开方法以及断开装置
本专利技术涉及用于断开薄的脆性材料基板的断开方法以及断开装置。
技术介绍
在断开脆性材料基板时,例如如专利文献1所示,预先在脆性材料基板形成划线,在支承台上经由切割环而保持基板,从划线的正上方按压断开杆从而从基板的上侧进行断开。然而,在脆性材料基板较薄时,基板的周边部分容易翘曲。若脆性材料基板翘曲,则存在如下缺点:在从下方识别基板上所形成的划线时,监视摄像机的焦点不容易校准,不容易准确地从划线的正上方按压断开杆而断开基板。在专利文献2中提出了一种加工装置,当使用激光断开半导体晶片等的基板时,即便其端部向上侧弯曲也校正弯曲,因此空气从半导体晶片的上侧流入凹部的空间内,从而按压并校正。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2015-188968号公报专利文献2:日本特开2010-29930号公报在使用专利文献2的装置断开脆性材料基板时,空气从基板的上侧流入凹部的空间内,并从上侧按压,因此必须密封凹部,需要使空气流入的泵,从而存在结构复杂的问题点。本专利技术着眼于该问题点,其目的在于即便是容易弯曲的薄基板也能够使基板紧密贴合在工作台上,从而准确地断开。
技术实现思路
为了解决该课题,本专利技术的脆性材料基板的断开方法,使形成有划线的脆性材料基板粘着保持在由框状体保持的粘着带上,在透明的工作台上一体地保持透明的弹性支承板,所述脆性材料基板与所述框状体一起保持在所述弹性支承板上,通过使辊在保持在所述框状体上的脆性材料基板的上侧滚动,使所述脆性材料基板紧贴在所述弹性支承板上,使用监视摄像机检测与所述弹性支承板紧贴的所述脆性材料基板的划 ...
【技术保护点】
一种脆性材料基板的断开方法,其特征在于,包括:使形成有划线的脆性材料基板粘着保持在由框状体保持的粘着带上;在透明的工作台上一体地保持透明的弹性支承板;所述脆性材料基板与所述框状体一起保持在所述弹性支承板上;通过使辊在保持在所述框状体上的所述脆性材料基板的上侧滚动,使所述脆性材料基板紧贴在所述弹性支承板上;使用监视摄像机检测与所述弹性支承板紧贴的所述脆性材料基板的划线;以及通过使断开杆沿使用所述监视摄像机检测到的所述划线从所述脆性材料基板的上侧下降,从而沿所述划线断开所述脆性材料基板。
【技术特征摘要】
2016.11.29 JP 2016-2311631.一种脆性材料基板的断开方法,其特征在于,包括:使形成有划线的脆性材料基板粘着保持在由框状体保持的粘着带上;在透明的工作台上一体地保持透明的弹性支承板;所述脆性材料基板与所述框状体一起保持在所述弹性支承板上;通过使辊在保持在所述框状体上的所述脆性材料基板的上侧滚动,使所述脆性材料基板紧贴在所述弹性支承板上;使用监视摄像机检测与所述弹性支承板紧贴的所述脆性材料基板的划线;以及通过使断开杆沿使用所述监视摄像机检测到的所述划线从所述脆性材料基板的上侧下降,从而沿所述划线断开所述脆性材料基板。2.根据权利要求1所述的脆性材料基板的断开方法,其特征在于,在所述脆性材料基板的上表面粘贴用于保护蓝宝石基板的透明的保护膜。3.根据权利要求1或2所述的脆性材料基板的断开方法,其特征在于,在所述弹性支承板上一体地设置有透明的膜,...
【专利技术属性】
技术研发人员:村上健二,
申请(专利权)人:三星钻石工业股份有限公司,
类型:发明
国别省市:日本,JP
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