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脆性材料基板的断开方法以及断开装置制造方法及图纸
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文档序号:18126997
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本发明涉及一种脆性材料基板的断开方法以及断开装置,将脆性材料基板保持于切割环,防止承载在工作台上时基板的弯曲。在粘贴于切割环(31)的粘着带(32)上保持蓝宝石基板(30)。在断开装置的玻璃工作台(12)上设置弹性支承板(40),在其上方固...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。
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