The utility model provides a silicon wafer water splitting mechanism, including a water supply tank body, in which the positioning and lifting device in the water supply tank and the water outlet device and the friction suction device are arranged in turn, in which the positioning and lifting devices are used to locate the overlapped silicon to the fixed position, and the effluent splitting device is used for dividing the water. Away from the silicon. The beneficial effect of the utility model is that the automatic operation of wafer water partition can be realized, and the problem of manual splitting and inserting on the silicon chip in the existing technology and easy to fragment in the operation is solved, which has the characteristics of high stability, large capacity, saving personnel and so on, and has high practical value.
【技术实现步骤摘要】
一种硅片水中分片机构
本技术属于半导体硅片生产机械
,尤其是涉及一种硅片水中分片机构。
技术介绍
在现有的技术中单晶硅通过线切、脱胶清洗及碱腐工序后,需要手动作业将硅片插入到硅片装载装置中,以便进行下道清洗作业,手动分片、插片会造成硅片污染,并且在作业中极易发生破片。半导体硅片对于表面的颗粒度有严格的要求,手动作业产生的次生污染已不能适应生产的需求,在工业发展迅速的大环境下,随着半导体行业的发展,以及人员费用的递增,急需一种硅片水中分片机构配合硅片自动插片机,取代目前半导体硅片手动分片、插片的形式,以适应工业发展趋势。
技术实现思路
本技术提供一种硅片水中分片机构,目的是要解决现有技术中手动分片、插片对硅片造成污染、在作业中易碎片的问题,实现硅片水中分片的自动化作业。为解决上述技术问题,本技术采用的技术方案是:一种硅片水中分片机构,包括水中供料槽体,所述水中供料槽体内依次设置定位及升降装置和出水分片装置,其中:所述定位及升降装置,用于将叠在一起的硅片定位到指定位置;所述出水分片装置,用于分离叠在一起的硅片。优选地,所述出水分片装置包括摩擦吸着装置,所述摩擦吸着装置包括摩擦装置和吸着装置,利用摩擦力和吸着力吸附传送硅片。优选地,还包括传输装置,所述传输装置的一部分设置在所述供料槽体内部与所述摩擦吸着装置通过连接件连接,所述传输装置的另一部分设置在所述供料槽体外。优选地,所述传输装置包括第一传输装置和第二传输装置,所述第一传输装置与所述吸着装置通过连接件连接。优选地,所述连接件为依次设置的一段30°皮带和一段水平皮带,所述水平的皮带与所述第一传输装置连接,所 ...
【技术保护点】
一种硅片水中分片机构,包括水中供料槽体,其特征在于,所述水中供料槽体内依次设置定位及升降装置和出水分片装置,其中:所述定位及升降装置,用于将叠在一起的硅片定位到指定位置;所述出水分片装置,用于分离叠在一起的硅片。
【技术特征摘要】
1.一种硅片水中分片机构,包括水中供料槽体,其特征在于,所述水中供料槽体内依次设置定位及升降装置和出水分片装置,其中:所述定位及升降装置,用于将叠在一起的硅片定位到指定位置;所述出水分片装置,用于分离叠在一起的硅片。2.根据权利要求1所述的一种硅片水中分片机构,其特征在于:所述出水分片装置包括摩擦吸着装置,所述摩擦吸着装置包括摩擦装置和吸着装置,利用摩擦力和吸着力吸附传送硅片。3.根据权利要求2所述的一种硅片水中分片机构,其特征在于:还包括传输装置,所述传输装置的一部分设置在所述供料槽体内部与所述摩擦吸着装置通过连接件连接,所述传输装置的另一部分设置在所述供料槽体外。4.根据权利要求3所述的一种硅片水中分片机构,其特征在于:所述传输装置包括第一传输装置和第二传输装...
【专利技术属性】
技术研发人员:甄辉,齐风,陈小雪,徐长坡,陈澄,梁效峰,杨玉聪,李亚哲,黄志焕,王晓捧,王宏宇,王鹏,徐艳超,
申请(专利权)人:天津环鑫科技发展有限公司,
类型:新型
国别省市:天津,12
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