ITO镀膜玻璃偏心轴旋转的平面磁控溅射装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种ＩＴＯ镀膜玻璃偏心轴旋转的平面磁控溅射装置，其特征在于：它包括：ＩＴＯ靶材（２）、无氧铜板（３）、永久磁铁（４）、磁铁基座（５）、靶座（６）、轴座（７）、偏心轴（９）和轴承座（１０），所述无氧铜板（３）固定在靶座（６）内侧，ＩＴＯ靶材（２）焊接固定在无氧铜板（３）内侧，磁铁基座（５）设置于靶座（６）内，与无氧铜板（３）平排布置，永久磁铁（４）固定在磁铁基座（５）内侧，轴承座（１０）固定在磁铁基座（５）外侧，轴承（１１）置于轴承座（１０）内，轴座（７）固定在靶座（６）外侧，偏心轴（９）内端通过轴承（１１）偏心连接于轴承座（１０）内，中间穿置于轴座（７）。本实用新型专利技术靶材刻蚀的中心沟部被拉宽，靶材利用率达到了６０％～７０％，是原来的３倍。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种ＩＴＯ镀膜玻璃偏心轴旋转的平面磁控溅射装置，其特征在于：它包括：ＩＴＯ靶材（２）、无氧铜板（３）、永久磁铁（４）、磁铁基座（５）、靶座（６）、轴座（７）、偏心轴（９）和轴承座（１０），　　　　所述无氧铜板（３）固定在靶座（６）内侧，ＩＴＯ靶材（２）焊接固定在无氧铜板（３）内侧，磁铁基座（５）设置于靶座（６）内，与无氧铜板（３）平排布置，永久磁铁（４）固定在磁铁基座（５）内侧，轴承座（１０）固定在磁铁基座（５）外侧，轴承（１１）置于轴承座（１０）内，轴座（７）固定在靶座（６）外侧，偏心轴（９）内端通过轴承（１１）偏心连接于轴承座（１０）内，中间穿置于轴座（７）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：朱春光，朱泉兴，
申请(专利权)人：江阴瑞兴塑料玻璃制品有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]