【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种磁控溅射卷绕镀膜机，特别是涉及一种双室双面镀磁控溅射卷绕镀膜机。
技术介绍
现有技术中，柔性基材如布料、尼龙、聚脂、聚酰亚胺膜等的金属化处理设备一般是立式单室双面磁控溅射卷绕镀，设置二至四对靶位，其不足之处是1、由于靶位太少，生产能力受限制，很难完成不同材质多层膜的组合；2、单室结构靶位设置不能太多，否则高度方向太大，造成操作、维护诸多不便，对厂房造价也不利。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种处理能力高、能实现不同材质的多层膜组合且操作和维护方便的双室双面镀磁控溅射卷绕镀膜机。为了解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是一种双室双面镀磁控溅射卷绕镀膜机，其特征是整体机体设置成一个倒“U”形真空室体结构，两个收放料室位于下方两端，两收放料室上方分别连接有两个立式隧道式镀膜室，两镀膜室由上方的连接通道连通。采用上述技术方案的双室双面镀磁控溅射卷绕镀膜机，被镀物料从左侧的收放料室经左侧的镀膜室镀膜，再经过连接通道进入右侧的镀膜室镀膜，直至右侧的收放料室收卷。整卷物料镀完后，根据产品要求，也可以不限次数的往返运行。本技术为一种立式双室双面镀磁控溅射卷绕镀膜机，是一个倒置的“U”形结构，这种双室镀膜机结构，允许设置更多的靶位，生产能力成倍提高，容易实现不同材质的多层膜组合。由于整个工艺过程是在真空状态下完成的，产品质量好，工艺稳定，操作方便，生产过程无毒、无害、不污染环境。综上所述，本技术是一种处理能力高、能实现不同材质的多层膜组合且操作和维护方便的双室双面镀磁控溅射卷绕镀膜机。附图说明附图是本技术结构截面示意图。具体实施方式参见附图，本技术...
【技术保护点】
一种双室双面镀磁控溅射卷绕镀膜机，其特征是：整体机体设置成一个倒“Ｕ”形真空室体结构，两个收放料室（８、８ａ）位于下方两端，两收放料室（８、８ａ）上方分别连接有两个立式隧道式镀膜室（６、６ａ），两镀膜室（６、６ａ）由上方的连接通道（１）连通。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：唐砾，胡文彬，彭建武，施勤，
申请(专利权)人：长沙鑫邦工程新材料技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：43[中国|湖南]
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