下载立式双室双面镀磁控溅射卷绕镀膜机的技术资料

文档序号:1811260

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本实用新型公开了一种双室双面镀磁控溅射卷绕镀膜机,其特征是:整体机体设置成一个倒“U”形真空室体结构,两个收放料室(8、8a)位于下方两端,两收放料室(8、8a)上方分别连接有两个立式隧道式镀膜室(6、6a),两镀膜室(6、6a)由上方的连...
该专利属于长沙鑫邦工程新材料技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长沙鑫邦工程新材料技术有限公司授权不得商用。

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