应用于柔性基板制作的涂布液供给装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种应用于柔性基板制作的涂布液供给装置，包括外壳、设于所述外壳内的涂布液存储容器以及与所述外壳连通的真空发生装置，所述外壳上开设有涂布液进口、涂布液出口，所述涂布液存储容器同时与所述涂布液进口、所述涂布液出口连通，并与所述外壳围成密闭的腔体；所述真空发生装置与所述腔体连通，以对所述腔体加压使所述涂布液存储容器容积变小而将涂布液从所述涂布液出口压出。本发明专利技术的涂布液供给装置结构简单，涂布液不与气体压缩腔直接接触，无需对密闭腔体进行高精度的处理或研磨，制造成本低，不会产生微粒，且涂布液吐出流量大，可以适用于高世代的基板的制作。

Coating liquid supply device for flexible substrate production

The invention discloses a coating liquid supply device for the manufacture of a flexible substrate, including a shell, a coating liquid storage container in the shell, and a vacuum generating device connected with the shell. The outer shell is provided with a coating liquid inlet and a coating liquid outlet, and the coating liquid storage container is simultaneously coated with the coating. The liquid inlet, the coating of the coating liquid is connected, and the enclosure is enclosed in a closed cavity; the vacuum generator is connected with the cavity, and the coating volume of the coating liquid is reduced by pressure to the cavity, and the coating liquid is pressed out of the coating liquid from the coating. The coating liquid supply device has the advantages of simple structure, no direct contact with the gas compression chamber, no high precision processing or grinding of the closed chamber, low manufacturing cost, no particle production, and large discharge flow, which can be applied to the production of high generation substrates.

【技术实现步骤摘要】
应用于柔性基板制作的涂布液供给装置
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种应用于柔性基板制作的涂布液供给装置。
技术介绍
柔性显示技术，作为FPD(FlatPanelDisplay，即平板显示)新兴领域之一，是未来OLED(OrganicLight-EmittingDiode，有机发光二极管)面板发展的大方向。柔性基板衬底制作，是制作柔性OLED的前制程，直接关联和影响后续整个柔性制程品质。柔性基板衬底制作过程中，用到的主要有机涂布材料是液态PAA(Polyimideamicacid，PI制作前体，业界内一般称为PIsolution，简称PI)、PET(Polyethyleneterephthalate，聚对苯二甲酸乙二醇酯)和PEN(PENPolyethylenenaphthalate，聚萘二甲酸乙二醇酯)等。受限于柔性基板衬底材料特性(粘度特别高，通常为3000-10000CP)，柔性涂布设备的涂布液供给装置使用的泵需要非常大的推力，传统的涂布液供给装置通常使用活塞式压力泵吸入和压出涂布液，其活塞与腔体、涂布液直接接触，工作时来回往返动作，活塞与腔体的摩擦极易产生Particle(微粒)，然后混合在涂布液内造成产品不良。并且，活塞与腔体直接接触，为保证活塞工作时来回往返动作的顺畅度，需要对密闭腔体内部表面进行表面处理和高精度的研磨，导致活塞式压力泵制造时间长，生产成本高昂。另外，当其应用到高世代的基板制作时，涂布量非常大，活塞式压力泵的推力显得过小而不再适用。
技术实现思路
鉴于现有技术存在的不足，本专利技术提供了一种应用于柔性基板制作的涂布液供给装置，制造成本低、不会产生Particle，且涂布液吐出流量大。为了实现上述的目的，本专利技术采用了如下的技术方案：一种应用于柔性基板制作的涂布液供给装置，包括外壳、设于所述外壳内的涂布液存储容器以及与所述外壳连通的真空发生装置，所述外壳上开设有涂布液进口、涂布液出口，所述涂布液存储容器同时与所述涂布液进口、所述涂布液出口连通，并与所述外壳围成密闭的腔体；所述真空发生装置与所述腔体连通，以对所述腔体加压使所述涂布液存储容器容积变小而将涂布液从所述涂布液出口压出。作为其中一种实施方式，所述涂布液存储容器的至少一部分为柔性材料制成。作为其中一种实施方式，所述涂布液存储容器包括囊状的主体部分和分别连通所述主体部分不同部位的第一管道和第二管道，所述第一管道、所述第二管道分别与所述涂布液进口、所述涂布液出口连通。作为其中一种实施方式，所述主体部分包括分别与所述第一管道、所述第二管道连通的两个缩口部分，越靠近临近的所述第一管道或所述第二管道，相应的所述缩口部分的截面积越小。作为其中一种实施方式，所述外壳上还开设有空气进口、空气出口，所述空气进口、空气出口分别与所述真空发生装置连通。作为其中一种实施方式，所述涂布液进口、所述涂布液出口分别设于所述外壳的两相对端，所述第一管道和第二管道分别设于所述主体部分的两端。作为其中一种实施方式，所述涂布液进口与所述涂布液存储容器之间还设有用于防止所述涂布液存储容器内的涂布液在压力作用下朝所述涂布液进口回流的止回模块。作为其中一种实施方式，所述止回模块包括挡球和挡板，所述挡板自所述涂布液存储容器内壁延伸出，所述挡球在涂布液流向上可移动地设于所述挡板与所述涂布液进口之间，且所述挡球的直径大于所述涂布液进口。作为其中一种实施方式，所述挡板相对于涂布液流向倾斜设置。作为其中一种实施方式，所述挡板上开设有供涂布液穿过的通孔。本专利技术的涂布液供给装置结构简单，涂布液不与气体压缩腔直接接触，无需对密闭腔体进行高精度的处理或研磨，制造成本低，不会产生Particle，且涂布液吐出流量大，可以适用于高世代的基板的制作。附图说明图1为本专利技术实施例的涂布液供给装置的结构示意图；图2为本专利技术实施例的止回模块的工作原理图。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。参阅图1，为本专利技术实施例的应用于柔性基板制作的涂布液供给装置的结构示意图，涂布液供给装置主要包括外壳10、设于外壳10内的涂布液存储容器20以及与外壳20连通的真空发生装置30，外壳10上开设有涂布液进口11、涂布液出口12，涂布液存储容器20同时与涂布液进口11、涂布液出口12连通，并与外壳10围成密闭的腔体100；真空发生装置30与腔体100连通，以对腔体100加压使涂布液存储容器20容积变小而将涂布液从涂布液出口12压出。作为其中一种实施方式，涂布液存储容器20的至少一部分为柔性材料制成，也可以全部采用柔性材料制成，例如可以采用铁氟龙类具有一定柔韧性和强度的材料，在外力的作用下，该材料可以产生一定程度的变形而不破损，同时又具有一定的形变恢复能力。在供给涂布液时，真空发生装置30对腔体100充气而压缩涂布液存储容器20，从而使得涂布液存储容器20内的涂布液随着涂布液存储容器20的形变而被从涂布液出口12挤出，在此过程中，通过真空发生装置30对腔体100持续加压直至涂布液存储容器20完全干瘪，从而实现涂布液的供给，然后，通过真空发生装置30对腔体100抽气使涂布液存储容器20恢复原状，通过涂布液进口11使涂布液存储容器20充满涂布液，重复以上操作即可实现下一个涂布液供给过程。涂布液存储容器20包括囊状的主体部分21和分别连通主体部分21不同部位的第一管道22和第二管道23，第一管道22、第二管道23分别与涂布液进口11、涂布液出口12连通。第一管道22、第二管道23的径向尺寸均小于主体部分21的中间部分，使得涂布液出口12极易形成喷出压力，保证涂布液的连续供给。优选地，主体部分21包括分别与第一管道22、第二管道23连通的两个缩口部分，且越靠近临近的第一管道22或第二管道23，相应的缩口部分的截面积越小。即每个缩口部分均为喇叭口形状，其内壁沿轴向的截面为斜面或弧面，可以使得囊状的主体部分21可以很好地充满，涂布液自主体部分21朝向第二管道23的注入过程更顺利。这里，为连通真空发生装置30，外壳20上还开设有空气进口13、空气出口14，空气进口13、空气出口14分别与真空发生装置30连通。空气的进口和出口分开，这样可以分别调节进口和出口的空气流量，相比使用同一个进口和出口来充气或抽气，本实施例的，进气和出气可以同时进行，实际操作过程中只需要合理地控制空气进口13与空气出口14的气压差，即可很方便地调节腔体100内的压力，充气、抽气切换动作更灵敏。进一步地，涂布液进口11、涂布液出口12分别设于外壳10的两相对端，第一管道22和第二管道23分别设于主体部分21的两端，空气进口13、空气出口14分别设于外壳10的同一侧壁。涂布液存储容器20可以设计为相对比较规则的细长形状，空气进口13、空气出口14分别设于外壳10的长侧壁上，与涂布液存储容器20的长侧壁正对，可以方便地进行充气和压缩动作。结合图2所示，本实施例的涂布液进口11与涂布液存储容器20之间还设有用于防止涂布液存储容器20内的涂布液在压力作用下朝涂布液进口11回流的止回模块110。作为其中一种实施方式，止回模块本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种应用于柔性基板制作的涂布液供给装置，其特征在于，包括外壳(10)、设于所述外壳(10)内的涂布液存储容器(20)以及与所述外壳(20)连通的真空发生装置(30)，所述外壳(10)上开设有涂布液进口(11)、涂布液出口(12)，所述涂布液存储容器(20)同时与所述涂布液进口(11)、所述涂布液出口(12)连通，并与所述外壳(10)围成密闭的腔体(100)；所述真空发生装置(30)与所述腔体(100)连通，以对所述腔体(100)加压使所述涂布液存储容器(20)容积变小而将涂布液从所述涂布液出口(12)压出。

【技术特征摘要】
1.一种应用于柔性基板制作的涂布液供给装置，其特征在于，包括外壳(10)、设于所述外壳(10)内的涂布液存储容器(20)以及与所述外壳(20)连通的真空发生装置(30)，所述外壳(10)上开设有涂布液进口(11)、涂布液出口(12)，所述涂布液存储容器(20)同时与所述涂布液进口(11)、所述涂布液出口(12)连通，并与所述外壳(10)围成密闭的腔体(100)；所述真空发生装置(30)与所述腔体(100)连通，以对所述腔体(100)加压使所述涂布液存储容器(20)容积变小而将涂布液从所述涂布液出口(12)压出。2.根据权利要求1所述的应用于柔性基板制作的涂布液供给装置，其特征在于，所述涂布液存储容器(20)的至少一部分为柔性材料制成。3.根据权利要求2所述的应用于柔性基板制作的涂布液供给装置，其特征在于，所述涂布液存储容器(20)包括囊状的主体部分(21)和分别连通所述主体部分(21)不同部位的第一管道(22)和第二管道(23)，所述第一管道(22)、所述第二管道(23)分别与所述涂布液进口(11)、所述涂布液出口(12)连通。4.根据权利要求3所述的应用于柔性基板制作的涂布液供给装置，其特征在于，所述主体部分(21)包括分别与所述第一管道(22)、所述第二管道(23)连通的两个缩口部分，越靠近临近的所述第一管道(22)或所述第二管道(23)，相应的所述缩口部分的截面积越小。5.根据权利要求2所述的应用于柔性...

【专利技术属性】
技术研发人员：张纯，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42