钨填充凹槽结构的方法技术

本发明专利技术公开了一种钨填充凹槽结构的方法，包括步骤：步骤一、形成凹槽结构；步骤二、形成氮化钛层；步骤三、采用WF6作为钨源形成钨成核层；步骤四、进行氟去除处理；步骤五、进行采用WF6作为钨源的CVD工艺淀积钨主体层；步骤六、进行钨的化学机械性研磨工艺，形成仅由填充于凹槽结构中的氮化钛层、钨成核层和钨主体层组成的钨金属结构。本发明专利技术能降低钨成核层中的氟残留，减少氮化钛层的厚度，从而能降低整个钨金属结构的电阻并提升器件的性能。

【技术实现步骤摘要】
钨填充凹槽结构的方法
本专利技术涉及一种半导体集成电路的制造方法，特别是涉及一种钨填充凹槽结构的方法。
技术介绍
在大多数先进半导体器件中广泛采用了金属钨的填充工艺，这是由于金属钨具有较低的电阻，在进行大块高深宽比的沟槽填充时具有较好的保形性以及能填充窄沟槽的特性。例如，金属钨已经应用在逻辑接触、局域金属互联(localinterconnect，LIC)和金属栅(metalgate，MG)的填充工艺中。现有技术中，钨填充沟槽时通常采用如下步骤：首先、形成氮化钛层(TiN)，氮化钛层的厚度为30埃～50埃，氮化钛层即作为粘附在介质层上的粘附层，又作为一个阻挡层阻挡金属钨的CVD淀积工艺中的氟扩散。接着、采用WF6作为钨源再加上硅烷(SiH4)或硼烷(B2H6)进行原子层淀积(ALD)工艺形成钨成核层(nucleation)。最后、进行采用WF6作为钨源的CVD工艺在所述钨成核层的表面淀积钨主体层。到目前为止，TiN是目前已知的最好的CVD淀积的钨的粘附层以及F扩散的阻挡层，但是在CVD工艺淀积的钨主体层之前还是需要形成钨成核层，如果能够实现不含氟的钨(Flourine-freeW，FFW)的淀积，则能够降低TiN所需要的厚度甚至可以不需要采用TiN。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种钨填充凹槽结构的方法，能降低钨成核层中的氟残留，提高器件的性能。为解决上述技术问题，本专利技术提供的钨填充凹槽结构的方法包括如下步骤：步骤一、形成凹槽结构。步骤二、形成氮化钛层，氮化钛层作为后续钨填充的粘附层和氟扩散阻挡层；所述氮化钛层形成于所述凹槽结构的内侧表面并延伸到所述凹槽结构外的表面；所述氮化钛层的厚度根据后续形成的钨金属结构中的氟残留量进行设置，所述钨金属结构中的氟残留量越低，所述氮化钛层的厚度越薄，所述钨金属结构电阻越低。步骤三、采用WF6作为钨源在所述氮化钛层表面形成钨成核层。步骤四、进行去除所述钨成核层中的氟残留的氟去除处理。步骤五、进行采用WF6作为钨源的CVD工艺在所述钨成核层的表面淀积钨主体层并将所述凹槽结构完全填充。步骤六、进行钨的化学机械性研磨工艺将所述凹槽结构外的所述钨主体层、所述钨成核层、所述氮化钛层都去除，形成仅由填充于所述凹槽结构中的所述氮化钛层、所述钨成核层和所述钨主体层组成的钨金属结构。进一步的改进是，步骤一中所述凹槽结构形成于第一介质层中并穿过所述第一介质层，所述第一介质层位于半导体衬底表面且所述凹槽结构将所述第一介质层底部的所述半导体衬底表面露出。进一步的改进是，所述钨金属结构为金属栅，被所述钨金属结构所覆盖的所述半导体衬底中形成有沟道区。进一步的改进是，所述钨金属结构为接触孔，被所述钨金属结构所覆盖的所述半导体衬底中形成有需要被引出的掺杂区。进一步的改进是，在所述半导体衬底中形成的需要被引出的掺杂区包括N+区或P+区。进一步的改进是，所述钨金属结构为通孔，所述凹槽结构穿过位于两层金属层之间的层间膜。进一步的改进是，步骤三中采用原子层淀积工艺形成所述钨成核层。进一步的改进是，所述原子层淀积工艺所采用的工艺气体为WF6加SiH4或B2H6。进一步的改进是，步骤四的所述氟去除处理采用H2等离子体进行处理。进一步的改进是，所述H2等离子体为所述氟去除处理腔体内提供的本地等离子体；或者，所述H2等离子体为所述氟去除处理腔体外提供的远程等离子体。进一步的改进是，所述H2等离子体的射频功率为10W～800W。进一步的改进是，所述H2等离子体的H2流量为50sccm～5000sccm。进一步的改进是，步骤四中的所述氟去除处理还插入到所述钨主体层淀积过程中并对所述钨主体层淀积形成的钨中的氟残留进行去除。进一步的改进是，在所述钨主体层淀积过程中插入所述氟去除处理的次数为一次以上。进一步的改进是，步骤五中所述钨主体层淀积对应的CVD工艺的气体采用WF6和H2。本专利技术通过在形成钨成核层增加一步去除钨成核层中的氟残留的氟去除处理，能降低甚至消除和氮化钛层相接触的钨中的氟，而由于氮化钛层除了做粘附层外还作为钨中的氟扩散的阻挡层，由于和氮化钛层相接触的钨中的氟减少甚至消除，故可以减少氮化钛层的厚度，而减少氮化钛层的厚度能够降低整个钨金属结构的电阻，从而能提升器件的性能。本专利技术的氟去除处理的工艺除了能直接去除钨成核层中的氟残留外，还能插入到钨主体层的CVD淀积工艺中，能够进一步减少整个钨金属结构中的氟残留。附图说明下面结合附图与具体实施方式对本专利技术作进一步详细的说明：图1是本专利技术实施例钨填充凹槽结构的方法的流程图；图2A-图2F是本专利技术实施例方法各步骤中的器件结构图。具体实施方式如图1所示，是本专利技术实施例钨填充凹槽结构的方法的流程图；如图2A至图2F所示，是本专利技术实施例方法各步骤中的器件结构图；本专利技术实施例钨填充凹槽结构的方法包括如下步骤：步骤一、如图2A所示，形成凹槽结构201。所述凹槽结构201形成于第一介质层101中并穿过所述第一介质层101，所述第一介质层101位于半导体衬底表面且所述凹槽结构201将所述第一介质层101底部的所述半导体衬底表面露出。步骤二、如图2B所示，形成氮化钛层102，氮化钛层102作为后续钨填充的粘附层和氟扩散阻挡层；所述氮化钛层102形成于所述凹槽结构201的内侧表面并延伸到所述凹槽结构201外的表面；所述氮化钛层102的厚度根据后续形成的钨金属结构中的氟残留量进行设置，所述钨金属结构中的氟残留量越低，所述氮化钛层102的厚度越薄，所述钨金属结构电阻越低。步骤三、如图2C所示，采用WF6作为钨源在所述氮化钛层102表面形成钨成核层103。较佳为，采用原子层淀积工艺形成所述钨成核层103。所述原子层淀积工艺所采用的工艺气体为WF6加SiH4或B2H6。步骤四、如图2D所示，进行去除所述钨成核层103中的氟残留的氟去除处理。所述钨成核层103中的氟残留如图2C中的标记202所示，氟残留去除后请参考图2D所示。较佳为，所述氟去除处理采用H2等离子体进行处理。所述H2等离子体为所述氟去除处理腔体内提供的本地等离子体(LocalPlasma)；或者，所述H2等离子体为所述氟去除处理腔体外提供的远程等离子体(RemotePlasma)。所述H2等离子体的射频功率为10W～800W。所述H2等离子体的H2流量为50sccm～5000sccm。步骤五、如图2E所示，进行采用WF6作为钨源的CVD工艺在所述钨成核层103的表面淀积钨主体层104并将所述凹槽结构201完全填充。较佳为，所述钨主体层104淀积对应的CVD工艺的气体采用WF6和H2。步骤四中的所述氟去除处理还插入到所述钨主体层104淀积过程中并对所述钨主体层104淀积形成的钨中的氟残留进行去除。在所述钨主体层104淀积过程中插入所述氟去除处理的次数为一次以上，也即形成“dep-treat”组成的多个循环步骤，dep对应于所述钨主体层104的CVD淀积工艺，treat对应于所述氟去除处理。步骤六、如图2F所示，进行钨的化学机械性研磨工艺将所述凹槽结构201外的所述钨主体层104、所述钨成核层103、所述氮化钛层102都去除，形成仅由填充于所述凹槽结构201中的所述氮化钛层102、所述钨成核层103和所述钨主体层104组成的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种钨填充凹槽结构的方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一、形成凹槽结构；步骤二、形成氮化钛层，氮化钛层作为后续钨填充的粘附层和氟扩散阻挡层；所述氮化钛层形成于所述凹槽结构的内侧表面并延伸到所述凹槽结构外的表面；所述氮化钛层的厚度根据后续形成的钨金属结构中的氟残留量进行设置，所述钨金属结构中的氟残留量越低，所述氮化钛层的厚度越薄，所述钨金属结构电阻越低；步骤三、采用WF6作为钨源在所述氮化钛层表面形成钨成核层；步骤四、进行去除所述钨成核层中的氟残留的氟去除处理；步骤五、进行采用WF6作为钨源的CVD工艺在所述钨成核层的表面淀积钨主体层并将所述凹槽结构完全填充；步骤六、进行钨的化学机械性研磨工艺将所述凹槽结构外的所述钨主体层、所述钨成核层、所述氮化钛层都去除，形成仅由填充于所述凹槽结构中的所述氮化钛层、所述钨成核层和所述钨主体层组成的钨金属结构。

【技术特征摘要】
1.一种钨填充凹槽结构的方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一、形成凹槽结构；步骤二、形成氮化钛层，氮化钛层作为后续钨填充的粘附层和氟扩散阻挡层；所述氮化钛层形成于所述凹槽结构的内侧表面并延伸到所述凹槽结构外的表面；所述氮化钛层的厚度根据后续形成的钨金属结构中的氟残留量进行设置，所述钨金属结构中的氟残留量越低，所述氮化钛层的厚度越薄，所述钨金属结构电阻越低；步骤三、采用WF6作为钨源在所述氮化钛层表面形成钨成核层；步骤四、进行去除所述钨成核层中的氟残留的氟去除处理；步骤五、进行采用WF6作为钨源的CVD工艺在所述钨成核层的表面淀积钨主体层并将所述凹槽结构完全填充；步骤六、进行钨的化学机械性研磨工艺将所述凹槽结构外的所述钨主体层、所述钨成核层、所述氮化钛层都去除，形成仅由填充于所述凹槽结构中的所述氮化钛层、所述钨成核层和所述钨主体层组成的钨金属结构。2.如权利要求1所述的钨填充凹槽结构的方法，其特征在于：步骤一中所述凹槽结构形成于第一介质层中并穿过所述第一介质层，所述第一介质层位于半导体衬底表面且所述凹槽结构将所述第一介质层底部的所述半导体衬底表面露出。3.如权利要求2所述的钨填充凹槽结构的方法，其特征在于：所述钨金属结构为金属栅，被所述钨金属结构所覆盖的所述半导体衬底中形成有沟道区。4.如权利要求2所述的钨填充凹槽结构的方法，其特征在于：所述钨金属结构为接触孔，被所述钨金属结构所覆盖的所述半导体衬底中形成有需要被引出的掺杂区。5.如权利要求4所述的钨填充凹槽结构的方法，其特征在于：在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：鲍宇，陈广，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31