气相沉积装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于衬底的气相沉积的蒸汽沉积装置，特别地，该衬底包括热敏物质，例如ＯＬＥＤ。为了使热量远离这些物质，该蒸汽沉积装置包括具有专用喷嘴条的蒸发器管。这种喷嘴条包括若干线性布置的开口，并相对于蒸发器管以朝着要被涂布的衬底的方向突出。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及气相沉积装置，更具体地，本专利技术涉及衬底气相沉积的具有蒸发器源的气相沉积装置。
技术介绍
现代平板显示器包括液晶元件(LCE)或等离子体元件，用于显示图像。近来也已经开始利用有机发光二极管(OLED)作为彩色象素来生产平板显示器。与已知的结构元件相比，OLED的一大优点就是其超过16％的高效率(Helmuth LemmeOLEDs-Senkrechtstarter aus Kunststoff，Elektronik 2/2002，p.98，right column，2nd paragraph，No.Yi He；Janicky，J.High Efficiency Organic Polymer Light-Emitting HeterostructureDevices，Eurodisplay 99，VDE-Verlag Berlin，Offenbach)。此外，OLED的效率远高于由无机III-V族半导体构成的LED的量子效率。而且，OLED具有更低重量、更宽辐射角，并能产生更强亮度的色彩，而且能够用于从负40℃到正85℃的宽温度范围。还有一个优点就是它们可以在低于5伏电压的情况下运行，并具有低电能消耗，从而使OLED特别适于安装在电池供电的装置中。OLED可通过OVPD技术(OVPD＝有机气相沉积)生产，例如在美国专利US 5 554 220或德国专利DE 101 28 091 C1中所描述的。其中有机材料被涂敷到位于玻璃上的电极上。这种电极可以是，例如，先前已经被气相沉积到玻璃上的ITO电极(其中ITO为铟锡氧化物)。可以在以这样的方式产生的OLED层上涂敷或气相沉积另外的材料，特别是作为反电极的金属层。用于汽化金属的装置是已知的，例如参见EP 0 477 474 B1，JP 10008241 A1，DE 976 068，US 4 880 960中描述的汽化金属装置。在用于汽化金属的蒸发器装置中，蒸发器壳体垂直地置于坩锅上(参见DE 102 56 038 A1)，其中所述汽化金属用于OLED平板显示器的生产。这种蒸发器装置，如根据德国专利DE 101 28 091 A1的蒸发器装置那样，也包括线性分配器系统。在这种线性分配器系统中，若干蒸发器孔口被线性地布置。通过这些孔口逸出的金属蒸汽撞击到衬底上，该衬底平行于蒸发器孔口设置。在根据德国专利DE 102 56 038 A1的蒸发器装置中，热隔离在蒸汽出口孔附近被中断，因此蒸发器管在这个位置处比由隔热件包围的蒸发器管的那些位置处要冷。这种热隔离的中断导致衬底在这部分蒸发器管上要承受强的热负荷。因为，虽然蒸发器管在出口孔附近变得较冷，但它仍然很热并将热能辐射到衬底上。为了保护或屏蔽衬底，至少一定程度上，不受出口孔附近处的辐射热的影响，在现有技术的装置中提供有反向反射金属板。最后要介绍的是，还有一种已知的蒸发器装置，利用该装置被汽化的金属可以沉积到板件上的掩模上(参见JP 2004-214185)。这种蒸发器装置包括蒸发器坩锅，其中该坩锅中的材料被汽化。在坩锅的上部区域是朝向板件的突出部分。在该突出部分设置开口，而且该开口特别地是在从坩锅内部朝向板件的方向上设置。绕着该突出部分在与开口同样的高度或低于开口的高度处设置屏蔽件，并且该屏蔽件与坩锅的上表面隔开。不可能利用这种蒸发器装置来涂布方向平行于地球重力方向的平面衬底，例如玻璃板，因为蒸发器气流或蒸发器凸起(lobe)是平行于地球重力方向出射或延伸的。
技术实现思路
本专利技术的目的是减小平面衬底的热负荷，即使这些衬底表面的方向平行于地球重力方向。这个目的是利用以下方式实现的。根据本专利技术的一个方案，提供一种用于衬底气相沉积的具有蒸发器源35的气相沉积装置，其中将要被汽化的材料的表面基本垂直于地球重力的方向延伸，蒸发器室17置于蒸发器源35之上而且其纵向轴线平行于地球重力的方向延伸，其中蒸发器室17包括喷嘴条18，该喷嘴条设置有若干线性排列的出口，所述喷嘴条18中的出口垂直于地球重力的方向延伸，所述气相沉积装置的特征在于，所述喷嘴条区域相对于所述汽化室17向前设置，该喷嘴条中设置出口22。本专利技术因此涉及一种用于气相沉积衬底的气相沉积装置，特别地，该衬底包括热敏物质，例如OLED。为了使热量远离这些物质，该气相沉积装置包括具有专用喷嘴条的蒸发器管。这个喷嘴条包括若干线性布置或排列的开口，并相对于蒸发器管以朝着将被涂布的衬底的方向突出。本专利技术的优点包括，特别地，喷嘴条以这样的方式位于蒸发器管前部，可使蒸发器管与喷嘴条隔离从而使热辐射区域减小。因为这种改进的热隔离，衬底显著地被更好地保护以减小辐射热的影响，也使得热敏物质，例如OLED，可以被涂布金属。附图说明 本专利技术的实施例的示例在附图中示出，并在下面被进一步详细地描述。其中 图1是气相沉积装置的整体透视图， 图2是局部剖开的气相沉积装置， 图3是根据图1的气相沉积装置的纵向剖视图， 图4是从图2切出的放大的视图， 图5是喷嘴条，具有向前设置的锥形喷嘴， 图6是蒸发器管的切出的一部分，该部分具有根据图5的喷嘴条。具体实施例方式图1所示为一种气相沉积装置1的整体透视图，该装置包括上部2和下部3。两个部分2、3通过上和下连接夹板4、5以及螺栓6被固定在一起。若干这样的连接夹板和螺栓可以设置在气相沉积装置1的四周上。在上部2的顶侧7上示出入口管8。冷却装置口9和10位于上部2的顶侧上。进一步地，冷却装置口11、12位于下部3上。气相沉积装置1竖直放置，即，平行于地球重力的方向放置。将要被涂布的衬底13，例如，涂布有OLED的玻璃板，被引导通过气相沉积装置1，具体地是在水平方向上，如箭头14所示。OLED可以设置在ITO层上，该ITO层形成第一电极。在这种情况下，现在将被气相沉积的金属层例如形成第二电极。在对着衬底13的气相沉积装置的上部2中是竖直设置的间隙15，通过该间隙涂覆材料到达衬底13的表面。因此，涂覆材料线性地且垂直地到达衬底13的表面。图2再次以局部剖视图的形式示出了气相沉积装置1的上部2。通过平行于底面的A-A剖视图，示出了上部2的内部结构。与图1所示的相比，上部2转动了大约90度，因此示出了间隙15的详细情形。转动是以箭头16的方向(图1)发生的，即在逆时针方向转动。在该上部2中，内部蒸发器管17在其周边的一个位置处发置有向外突出的喷嘴条18。该喷嘴条18具有两个侧翼27、28，这些侧翼从周边突出，并在它们的端部通过连接板21连接。在这个连接板21中线性地设置一个在另一个上方的若干开口22，这些开口延伸分布在喷嘴条18的整个长度范围内。在蒸发器管17的周围放置隔层26，隔层26包括，例如，石墨毡或专用陶瓷，隔层一直到喷嘴条18的前边缘19、20处。隔层26必须承受高达1700℃的温度，在隔层26的周围放置管式屏蔽件29，例如金属管式屏蔽件，而该屏蔽件被双壁管包围，该双壁管优选是金属的，双壁管的管壁30和31通过连接板32、33彼此连接。在这些板32、33之间，冷却介质，例如水，可以流动，即，连接板32、33形成冷却介质通道。隔层26、屏蔽件29、和双壁管在喷嘴条18处具有切口，从而形成凹陷。喷嘴条18具有非常良好的导热本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于衬底气相沉积的具有蒸发器源（３５）的气相沉积装置，其中将要被汽化的材料的表面基本垂直于地球重力的方向延伸，蒸发器室（１７）置于所述蒸发器源（３５）之上而且其纵向轴线平行于地球重力的方向延伸，其中所述蒸发器室（１７）包括喷嘴条（１８），该喷嘴条设置有若干线性排列的出口，所述喷嘴条（１８）中的出口垂直于地球重力的方向延伸，所述气相沉积装置的特征在于，所述喷嘴条区域相对于所述汽化室（１７）向前设置，该喷嘴条中设置出口（２２）。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：M本德尔，U霍夫曼，G科勒姆，D哈斯，U英格勒特，
申请(专利权)人：应用薄膜有限公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]