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本发明涉及一种用于衬底的气相沉积的蒸汽沉积装置，特别地，该衬底包括热敏物质，例如ＯＬＥＤ。为了使热量远离这些物质，该蒸汽沉积装置包括具有专用喷嘴条的蒸发器管。这种喷嘴条包括若干线性布置的开口，并相对于蒸发器管以朝着要被涂布的衬底的方向突出。...
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