衬底运载装置制造方法及图纸

本申请涉及一种用于衬底的运载装置，其中运载装置至少部分是由热膨胀系数高于衬底热膨胀系数的材料构成。为了避免或者至少减少衬底在边缘处的不均匀涂敷，特别是在溅射过程中，板片在中心与运载装置相连。该板片的热膨胀系数低于其在运载装置固定的位置处运载装置在该区域的热膨胀系数。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及运载装置，具体地，本申请涉及用于运载衬底的装置，其中构成该运载装置的至少部分材料具有的膨胀系数大于衬底的膨胀系数。
技术介绍
通常引导衬底使其通过溅射装置，溅射装置也称为靶，从靶表面溅射出的粒子沉积在衬底上。可以使用的衬底是，例如，玻璃板，其被运送通过在线的溅射装置。这些玻璃板被设置在与运送装置相连的框架内。已知的用于将衬底运送进并通过真空处理单元内的一种装置，例如，包括笨重的基座部分，该基座部分由与一个轨道和一个支撑轴承相关联的两个车轮组构成(DE 41 39 549 A1)。在这里被处理的衬底通过矩形的衬底座来固定。另一种已知的是用于安装圆形衬底片的环形衬底座，而这个衬底座由四个平均分布的固定臂来固定(DE 102 11 827 C1)。如果衬底被固定在框架中，衬底的热膨胀系数不同于框架的热膨胀系数，衬底在边缘处就很大程度上在被覆盖得不均匀或单侧覆盖。在这种情况下的晶片就称为“边缘排除(edge exclusion)”，即，晶片的周缘没有被涂敷。因此，本专利技术解决的问题就是，提供了一种用于衬底的运载装置，从而使衬底在边缘处可以被均匀地覆盖并覆盖得不太厚。这个问题根据本专利申请权利要求1的特征部分来解决。
技术实现思路
本申请因此涉及一种用于衬底的运载装置，其中运载装置至少部分是由热膨胀系数高于衬底的热膨胀系数的材料构成。为了避免，或者至少减少衬底在边缘处的不均匀涂敷，特别在溅射过程中，一板片或板条(web)在中心与运载装置相连。该板片具有的热膨胀系数低于其在运载装置固定位置处的运载装置在该区域的热膨胀系数。本专利技术的优点特别在于，通过结合膨胀程度高的重量轻经济实用的铝和膨胀程度较小的材料例如钛制成的定心装置，减少或降低了“边缘排除”。附图说明本专利技术的一个实施例在附图中示出，并在下面进一步详细描述。其中图1a到图1c基本表示了与热膨胀不同的衬底连用的衬底运载装置；图2是一种框架形式的衬底运载装置，其具有由热膨胀系数相对低的材料例如钛制成的板片；图3a到图3c示意性地说明本专利技术的操作机能；图4示出了图3a中沿着线B-B的横截面。具体实施例方式图1a到图1c示出一种常规衬底运载装置1的原理，该装置在板片3、4上支撑大衬底2。结合这个图可以阐释所要解决的问题。假定衬底是玻璃，而衬底运载装置1由铝构成。图1a示出了在大约20℃(0℃＝273.15°K，即，20℃＝293.15°K)下的状态。衬底2的端部40、41邻接板片3、4的突起部42、43。44表示衬底2将被涂敷的一侧。衬底2在图1a所示的位置处被板片3、4覆盖的那些区域a、b，在溅射的时候不会被涂敷。区域a、b的尺寸相等。然而，溅射是在例如高于220°K(大约等于513.15°K)的温度下发生的，在这个温度下玻璃和铝的膨胀是不同的。图1b和图1c示出了这种不同的膨胀产生的效果。彼此连接的铝板片3、4——连接没有示出——向侧边的迁移比衬底2显著地远。因此就可能产生两种不同的布局，一种在图1b中示出，另一种在图1c中示出。在实践中发现，衬底2的端部区域45、46中的一个区域比另一个更紧地靠在板片3、4上，从而使一个端部区域——在图1b中端部区域46——离开突起部42，而另一个端部区域45则保持在原位置。衬底2因此在端部区域46几乎全部被覆盖或涂敷，而端部区域45则保持未涂敷的状态。图1c示出了端部区域46保持在原位，而端部区域45相对于板片4进行了迁移。因此，在图1b中“边缘排除”发生在端部区域45中，相反，在图1c中，发生在端部区域46中。如果衬底是1950毫米宽的玻璃板，而温差是例如ΔT＝220°K，玻璃的热膨胀是1.6毫米，铝的热膨胀是10.2毫米。部段C因此是8.6毫米。图2示出了根据本专利技术用于衬底2的衬底运载装置1。衬底2也是玻璃板。衬底运载装置1主要由框架形成，该框架具有两个竖直板片3、4和两个水平板5、6。竖直板片3、4例如是钛板。然而，它们也可以由另一种材料构成。水平板5、6优选地包括铝，并用螺钉或铆钉7、8、9、10或11-16与竖直板片3、4的端部分别相连。邻近衬底2的下部延伸着相对薄的钛板17，在该钛板的每个端部具有上指的指状部18、19。该板片17在中心用螺钉20或类似的装置与铝板6相连。板片17下的铝板6提供了用于钛板17的导向槽(未示出)。如果衬底2没有利用板片17和指状部18、19，——即，仅仅接触铝板5、6——而被运送到热的溅射室内，铝板5、6膨胀的程度就大于玻璃衬底2膨胀的程度。而板片3、4彼此远离——如图1a到1c中所示的那样——这就意味着衬底2不再由这些板片3、4限制。衬底2可以是左边(参考图1c)在板片3上，也可以是右边(参考图1b)在板片4上。在任何情况下当其相对于板片3、4不位于中心时，都将导致衬底2的边缘不能被均匀地涂敷。相反地，如果衬底位于钛板17的指状物18、19之间，衬底2就能保持在中心，因为钛板17在其中心与铝板6的中心相连。因此，钛板17相对于螺钉20向左右对称地迁移。因为钛的热膨胀系数显著地低于铝的热膨胀系数，衬底2只是相对于指状物18、19稍微地移动。因此，它相对于竖直板片3、4仍旧保持在中心位置。该原理也在图3a到图3c中示出。图3a示出了在大约20℃下的状态。钛板17的指状物18、19一方面邻接突起部42、43，另一方面，邻接衬底的端部40、41。如果温度升高了例如220°K，就会产生如图3b或图3c的布局。因为随着加热钛的温度的升高，钛膨胀得显著地比铝少，衬底2相对于钛板17的指状部19或18分别仅有很小的公差c或d。因此，衬底2的涂敷明显地比图1b或图1c所示的情形更均匀。在温差220°K下，在假定的宽度钛板17仅膨胀3.5毫米。与之相关的距离c和d仅为1.9毫米。除了钛，可以用其它具有较低热膨胀系数的材料，例如陶瓷，可以选择地，陶瓷可以用玻璃纤维来增强。在图4中，示出了根据图3a沿着线B-B的结构。在此，钛板17的指状部18、19很明显。框架3、4、50整个用相同的材料构成，例如用铝制成。权利要求1.用于衬底的运载装置，其中所述运载装置的至少部分是由热膨胀系数高于所述衬底热膨胀系数的材料构成，其特征在于，板片(17)在中心被固定在所述运载装置(1)的特定区域，该板片的热膨胀系数低于其固定区域的热膨胀系数。2.如权利要求1所述的运载装置，其特征在于，所述板片(17)具有端部突起部(18、19)，所述衬底(2)的一端置于所述突起部之间。3.如权利要求1所述的运载装置，其特征在于，所述运载装置(1)以框架的形式来实施。4.如权利要求1所述的运载装置，其特征在于，所述运载装置(1)的至少部分(5、6)由铝构成。5.如权利要求1所述的运载装置，其特征在于，其包括两个竖直板片(3、4)和两个水平板(5、6)，所述水平板(5、6)由铝构成。6.如权利要求5所述的运载装置，其特征在于，所述两个竖直板片(3、4)由钛构成。7.如权利要求1所述的运载装置，其特征在于，所述衬底(2)是玻璃板。8.如权利要求1所述的运载装置，其特征在于，固定在所述运载装置(1)上的板片(17)由钛构成。9.如权利要求5所述的运载装置，其特征在于，所述水平板(5、6)与所述运载装置(1)的竖直板片(3、4)本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于衬底的运载装置，其中所述运载装置的至少部分是由热膨胀系数高于所述衬底热膨胀系数的材料构成，其特征在于，板片（１７）在中心被固定在所述运载装置（１）的特定区域，该板片的热膨胀系数低于其固定区域的热膨胀系数。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：T克卢格，O海默尔，
申请(专利权)人：应用薄膜有限公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]