【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及二氧化硅颗粒的制备方法，特别涉及一种结构均匀的 ，用于二氧化硅光学薄膜的蒸镀材料制 备。
技术介绍
蒸发镀膜材料是制备各种光学薄膜的起始材料，它的形状结构直 接影响光学薄膜的致密性和折射率均匀性。以往各种蒸发材料均为形 状尺寸大小无规则的颗粒，如通常在制备二氧化硅薄膜时都使用如图1所示的方法，将不规则石英小颗粒8 (二氧化硅颗粒)放置于光学镀膜 机真空室的蒸发坩埚9里，在真空室里的电子枪灯丝3发射电子束4 照射在该石英颗粒上，使之发热。当温度达到石英玻璃的沸点后，石 英玻璃迅速熔化、蒸发，蒸发的石英分子(s/q)凝聚在基片上形成二 氧化硅薄膜，当与其他高折射率材料配合，反复交替蒸发镀制，可以 形成蒸发膜堆或膜系，组成各种功能的光学滤光膜。显然使用上述无 规则颗粒蒸发材料存在两个明显缺陷由于放置在蒸发坩埚中是无规则尺寸的石英颗粒，这些无规则石 英颗粒被电子束加热，汽化的蒸发分子的蒸发发射角会发生不断的变 化，从而到达在基片上凝结的石英分子会产生不均匀，造成成品率下 降；由于熔融石英的蒸发状况呈上升状态，这些无规则的石英颗粒堆 积之间的空隙不一致，且大...
【技术保护点】
一种二氧化硅蒸镀材料的制备方法，其特征在于，依次包括以下步骤：１）在物料板上涂上粘接剂，将一组相同的二氧化硅棒紧密并排粘接于该物料板后烘干；２）将一组相同的切割剧片与一组相同的隔板，通过该切割剧片与隔板两两间隔设置，紧密并排 固定于磨床主轴；３）将粘接有该二氧化硅棒的物料板对应固定于该磨床操作台，卡紧并切割，形成二氧化硅颗粒；４）将该二氧化硅颗粒从该物料板上铲下，通过沸水清洗并烘干，形成二氧化硅蒸镀材料。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：许士荣，
申请(专利权)人：昆山光铭光电子元件有限公司，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]
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