一种四（二甲氨基）钛的精制方法技术

本发明专利技术涉及一种四（二甲氨基）钛的精制方法，工业级四（二甲氨基）钛进入装有四（二甲氨基）钛提纯渗透膜的膜反应器中，温度10‑30℃，流速1‑5BV/h，得到初步精制的四（二甲氨基）钛，再经精馏得到高纯度的四（二甲氨基）钛。

【技术实现步骤摘要】
一种四（二甲氨基）钛的精制方法
本专利技术涉及一种胺基钛的纯化方法，特别是一种四（二甲氨基）钛的精制方法。
技术介绍
半导体制造业的不断发展，使得必须寻找适合ALD和CVD使用的高k和金属栅材料前驱物。对于32nm技术节点来讲，材料的挥发性，输运方式以及纯度等问题变得至关重要。随着信息存储和获取量的大幅提升，对于更高K值材料的需求也不断升温，这些材料遍布从氧化铝到稀有金属中任何可用的元素。选择恰当的高K材料，可满足介电常数、热力学稳定性、栅极电极兼容和界面层稳定性等生产上的要求。四（二甲胺基）钛,分子式C8H24N4Ti,常温下是液体，是对空气和水汽非常敏感的化合物，能溶于醇类、苯、四氯化碳等有机溶剂中，不仅具有较好的稳定性、较高的蒸汽压，而且表现出了相当高的反应性，是现今ALD研究领域的热点。CN103193818A.公开了一种四（二甲胺基）钛的合成方法，包括如下步骤：在惰性气氛保护下，在反应器中加入二甲胺和烃类溶剂，然后向体系中加入有机锂化合物，制得二甲胺的锂盐；向体系中加入四氯化钛；反应结束后进行蒸馏，得到所述四（二甲胺基）钛。本专利技术合成方法不需要分步使用多种不同的溶剂，只以简单的单一烃类作为唯一的反应溶剂，降低了成本和反应的毒性，具有更好的操作可行性，更有助于规模化的生产。而且反应不需要经过过滤从体系中除去生成的氯化锂盐的过程，而是直接蒸馏得到目标化合物，从而简化操作。反应过程中的副产物相对较少，产率较高。CN106268903A公开了一种基于ALD技术的表面氮改性二氧化钛纳米颗粒的可见光催化剂的制备方法，首先将二氧化钛粉末转移入ALD反应室，对其表面进行超薄TiN薄膜的沉积包裹，包裹参数为：反应室温度100-500-oC；钛源：四氯化钛、四二甲氨基钛或异丙醇钛；氮源：氨气或者氨气等离子体；载气：钛源使用高纯氮气或者氩气作为载气，流量为50-200-sccm；氮源使用高纯氩气作为载气，流量为50-200-sccm；脉冲和清洗时间：钛源脉冲为0.1-10-s；每次无机源脉冲之后都紧接着用高纯氮气清洗2-60-s；氮源脉冲为5-60s，紧接着用高纯氮气清洗2-60-s，冲掉反应副产物和残留的反应源。该方法简单易行，产品的可见光催化性能显著增强。现有专利及文献技术所使用生产四（二甲氨基）钛经精馏处理后，四（二甲氨基）钛纯度难以超过99.99%。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种四（二甲氨基）钛的精制方法。为了解决以上技术问题，本专利技术采用了如下的技术方案：一种四（二甲氨基）钛的精制方法，包括以下步骤：(1)按重量份计，将100份聚砜中空纤维超滤膜，浸埋在1000-2000份去离子水，3-10份2-羟基-4-三氟甲基苯胺混合溶液中，浸泡10-30小时，取出晾干，再浸埋在1000-2000份正己烷，10-30份均苯三甲酰氯，浸泡10-30小时，取出，50-80℃烘干，然后浸埋在1000-2000份正己烷，0.001-0.01份2,4-癸二烯醛，0.001-0.01份双环戊二烯二氯化钛，0.01-0.1份3,3-二烯丙基四氢呋喃-2-醇的混合溶液中，N2保护，用60Coγ射线照射剂量为10-50kGy左右，辐照时间10-30分钟，将接枝膜取出，用1000-2000份甲醇清洗膜的表面，干燥，得到四（二甲氨基）钛提纯渗透膜。(2)工业级四（二甲氨基）钛进入装有四（二甲氨基）钛提纯渗透膜的膜反应器中，温度10-27℃，流速1-4BV/h，得到初步精制的四（二甲氨基）钛，再经精馏得到高纯度的四（二甲氨基）钛；进一步的，膜反应器压力0.3-1MPa。所述的反应物均为市售产品，优选工业级产品。所述的精馏，包括多级精馏和单级精馏。与现有技术相比，本专利技术具有以下有益效果：经本专利四（二甲氨基）钛提纯渗透膜通过接枝2,4-癸二烯醛，双环戊二烯二氯化钛以及3,3-二烯丙基四氢呋喃-2-醇，以及其形成的金属配合物，可以吸附四（二甲氨基）钛中的杂质，工业级四（二甲氨基）钛经膜处理后，再经精馏即可以得到体积分数99.999%的高纯度四（二甲氨基）钛。具体实施方式以下结合具体实施例，进一步阐明本专利技术，但这些实施例仅用于解释本专利技术，而不是用于限制本专利技术的范围。实施例中工业级四（二甲氨基）钛为市售产品，纯度97％。实施例1一种四（二甲氨基）钛的精制方法，包括以下步骤：(1)按重量份计，将100份聚砜中空纤维超滤膜，浸埋在1500份去离子水，8份2-羟基-4-三氟甲基苯胺混合溶液中，浸泡17小时，取出晾干，再浸埋在1800份正己烷，19份均苯三甲酰氯，浸泡15小时，取出，60℃烘干，然后浸埋在1500份正己烷，0.005份2,4-癸二烯醛，0.004份双环戊二烯二氯化钛，0.08份3,3-二烯丙基四氢呋喃-2-醇的混合溶液中，N2保护，用60Coγ射线照射剂量为30kGy左右，辐照时间19分钟，将接枝膜取出，用1500份甲醇清洗膜的表面，干燥，得到四（二甲氨基）钛提纯渗透膜。(2)工业级四（二甲氨基）钛进入装有四（二甲氨基）钛提纯渗透膜的膜反应器中，温度22℃，流速2BV/h，压力0.4MPa，得到初步精制的四（二甲氨基）钛，再经精馏得到高纯度的四（二甲氨基）钛。四（二甲氨基）钛纯度见表1。实施例2一种四（二甲氨基）钛的精制方法，包括以下步骤：(1)按重量份计，将100份聚砜中空纤维超滤膜，浸埋在1000份去离子水，3份2-羟基-4-三氟甲基苯胺混合溶液中，浸泡10小时，取出晾干，再浸埋在1000份正己烷，10份均苯三甲酰氯，浸泡10小时，取出，50℃烘干，然后浸埋在1000份正己烷，0.001份2,4-癸二烯醛，0.001份双环戊二烯二氯化钛，0.01份3,3-二烯丙基四氢呋喃-2-醇的混合溶液中，N2保护，用60Coγ射线照射剂量为10kGy左右，辐照时间30分钟，将接枝膜取出，用1000份甲醇清洗膜的表面，干燥，得到四（二甲氨基）钛提纯渗透膜。(2)工业级四（二甲氨基）钛进入装有四（二甲氨基）钛提纯渗透膜的膜反应器中，温度10℃，流速1BV/h，压力0.3MPa，得到初步精制的四（二甲氨基）钛，再经精馏得到高纯度的四（二甲氨基）钛。四（二甲氨基）钛纯度见表1。实施例3一种四（二甲氨基）钛的精制方法，包括以下步骤：(1)按重量份计，将100份聚砜中空纤维超滤膜，浸埋在2000份去离子水，10份2-羟基-4-三氟甲基苯胺混合溶液中，浸泡30小时，取出晾干，再浸埋在2000份正己烷，30份均苯三甲酰氯，浸泡30小时，取出，80℃烘干，然后浸埋在2000份正己烷，0.01份2,4-癸二烯醛，0.01份双环戊二烯二氯化钛，0.1份3,3-二烯丙基四氢呋喃-2-醇的混合溶液中，N2保护，用60Coγ射线照射剂量为50kGy左右，辐照时间10分钟，将接枝膜取出，用2000份甲醇清洗膜的表面，干燥，得到四（二甲氨基）钛提纯渗透膜。(2)工业级四（二甲氨基）钛进入装有四（二甲氨基）钛提纯渗透膜的膜反应器中，温度27℃，流速4BV/h，压力1MPa，得到初步精制的四（二甲氨基）钛，再经精馏得到高纯度的四（二甲氨基）钛。四（二甲氨基）钛纯度见表1。对比例13,3-二烯丙基四氢呋喃-2-醇不加入，其它同实施例1，四（本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种四（二甲氨基）钛的精制方法，其特征在于包括以下步骤：工业级四（二甲氨基）钛进入装有四（二甲氨基）钛提纯渗透膜的膜反应器中，温度10‑27℃，流速 1‑4BV/h，得到初步精制的四（二甲氨基）钛，再经精馏得到高纯度的四（二甲氨基）钛。

【技术特征摘要】
1.一种四（二甲氨基）钛的精制方法，其特征在于包括以下步骤：工业级四（二甲氨基）钛进入装有四（二甲氨基）钛提纯渗透膜的膜反应器中，温度10-27℃，流速1-4BV/h，得到初步精制的四（二甲氨基）钛，再经精馏得到高纯度的四（二甲氨基）钛。2.根据权利要求1所述的一种四（二甲氨基）钛的精制方法，其特征在于四（二甲氨基）钛提纯渗透膜的制备方法包括：按重量份计，将100份聚砜中空纤维超滤膜，浸埋在1000-2000份去离子水，3-10份2-羟基-4-三氟甲基苯胺混合溶液中，浸泡10-30小时，取出晾干，再浸埋在1000-2000份正己烷，10-30份均苯三甲酰氯，浸泡10-30...

【专利技术属性】
技术研发人员：李军，陈刚，贺辉龙，陈立峰，花永紧，张雪刚，
申请(专利权)人：浙江博瑞电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33