一种硅片生产线上碎片筛选装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种硅片生产线上碎片筛选装置，包括光源、图像采集装置、第一机械手、控制器、图像显示装置和碎片收集盒，图像采集装置设于光源附近，图像采集装置、第一机械手和图像显示装置分别与控制器电连接。还包括来料提升机，第一机械手设于来料提升机与图像采集装置之间，来料提升机包括第一传送带、第一花篮卡紧机构和第一花篮提升机构，第一花篮卡紧机构设于第一传送带上方，第一花篮提升机构设于第一花篮卡紧机构下方。该装置无需到现场的每个工艺节点处挑拣硅片中的碎片，可在图像显示装置上同时对多个工艺节点处的碎片进行挑拣，效率高；生产线与筛选装置之间连续性更高，效率更高。

A fragment screening device for silicon wafer production line

The utility model provides a fragment screening device for silicon wafer production line, which includes a light source, an image acquisition device, a first manipulator, a controller, an image display device and a fragment collection box. The image acquisition device is located near the light source. The image acquisition device, the first manipulator and the image display device are electrically connected with the controller. It also includes the feed hoist, the first manipulator is placed between the feed hoist and the image acquisition device. The feed hoist includes the first conveyor belt, the first basket tight mechanism and the first basket lifting mechanism. The first basket tight mechanism is located above the first conveyor belt, the first basket lifting mechanism is placed under the first basket tight mechanism. Fang. The device does not need to pick debris from each process node in the field, and can pick up the fragments at the image display device at the same time. The efficiency is high, and the continuity between the production line and the screening device is higher and the efficiency is higher.

【技术实现步骤摘要】
一种硅片生产线上碎片筛选装置
本技术涉及半导体器件生产设备领域，尤其是涉及一种硅片生产线上碎片筛选装置。
技术介绍
随着半导体行业的迅速发展，半导体硅片产能日趋扩大。而在硅片生产时，会涉及到多种作业流程，包括扩散、玻钝和切割等工艺，而在硅片生产加工的各个环节，都有可能使硅片受到损害，因此在硅片生产加工流程上会产生许多碎片，而这些碎片已失去使用价值，如果继续进入下一加工流程会对生产用能源造成浪费，因此，在各个工艺节点上需要对产生的碎片进行收集。现有技术中，通常是生产工人在生产线的各个节点检查并挑出其中的碎片，但是人工挑拣碎片会消耗大量的人力，且效率低。
技术实现思路
本技术要解决的问题是提供一种硅片生产线上碎片筛选装置，无需在每个工艺节点安排操作工人对生产线上的碎片进行挑拣，碎片挑拣自动化，方便且效率高。为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：一种硅片生产线上碎片筛选装置，包括光源、图像采集装置、第一机械手、控制器、图像显示装置和碎片收集盒，图像采集装置设于光源附近，图像采集装置、第一机械手和图像显示装置分别与控制器电连接。技术方案中，优选的，还包括来料提升机，第一机械手设于来料提升机与图像采集装置之间，来料提升机包括第一传送带、第一花篮卡紧机构和第一花篮提升机构，第一花篮卡紧机构设于第一传送带上方，第一花篮提升机构设于第一花篮卡紧机构下方。技术方案中，优选的，还包括缓存提升机构，缓存提升机构与图像采集装置之间设有第二机械手，缓存提升机构包括第二传送带、第二花篮卡紧机构和第二花篮提升机构，第二花篮卡紧机构设于第二传送带上方，第二花篮提升机构设于第二花篮卡紧机构下方，第二机械手与控制器电连接。技术方案中，优选的，缓存提升机构与来料提升机之间还设有横移机器人。技术方案中，优选的，光源上方设有支撑架。本技术具有的优点和积极效果是：1.工作人员无需到现场的每个工艺节点处监测筛选、挑拣硅片中的碎片，可在图像显示装置上同时监测多个工艺节点处的碎片情况，并对碎片进行挑拣，省时省力，效率高；2.设有来料提升机，可与上道工序的生产线进行直接衔接，使生产线与碎片筛选装置之间的操作更连贯，生产连续性更高，自动化程度更高；3.设有缓存提升装置，可缓存来料提升机无法及时处理的物料，并可与来料提升机穿插进行硅片的筛选，效率更高。附图说明图1是本技术碎片筛选装置的结构示意图。图2是本技术中来料提升机的俯视图。图3是本技术中来料提升机的主视图。图4是本技术中缓存提升机构的俯视图。图5是本技术中缓存提升机构的主视图。图中：1、光源2、图像采集装置3、机械手4、来料提升机5、碎片收集盒6、缓存提升机构7、机械手8、横移机器人9、支撑架41、传送带42、花篮卡紧机构43、花篮提升机构44、支撑架61、传送带62、花篮卡紧机构63、花篮提升机构64、支撑架具体实施方式下面结合附图对本技术实施例做进一步描述：如图1所示，本实施例所述的一种硅片生产线上碎片筛选装置，包括光源1、图像采集装置2、机械手3、控制器、图像显示装置和碎片收集盒5，图像采集装置2设于光源1的附近，图像采集装置2、机械手3和图像显示装置分别与控制器电连接。机械手3将生产线上的硅片由承载花篮中抽出，并放于光源1的上方，在光源1的照射下，控制图像采集装置2对硅片进行拍照，并将图像传至图像显示装置，工作人员在图像显示装置前观测到硅片碎片后，通过操作机械手3将碎片的硅片转移至碎片收集盒5中，从而将碎片筛选出来。工作人员可在图像显示装置上同时监测多个工艺节点处的碎片情况，且无需到现场将碎片挑拣出来，省时省力，效率高。其中，图像采集装置2可以为工业相机。还可在光源1上方设支撑架9，机械手3从承载花篮中将硅片抽出后放在支撑架9上，进行图像采集。如图2、图3所示，其中，还包括来料提升机4，机械手3设于来料提升机4与图像采集装置2之间，来料提升机4可与上一工艺的生产线进行直接衔接，连贯性更高，自动化程度更高，来料提升机4包括传送带41、花篮卡紧机构42、支撑架44和花篮提升机构43，传送带41架设在支撑架44上，花篮卡紧机构42设于传送带41上方，花篮提升机构43设于花篮卡紧机构42下方。硅片由上一工艺传送至来料提升机4的传送带41上，并被花篮卡紧机构42固定，机械手3从花篮中将硅片抽出，放在光源1上方采集图像，由于硅片逐渐被抽走，花篮中硅片的高度随之下降，为了保证花篮中第一个硅片的高度不变，每抽走一个硅片后，花篮提升机构43将花篮高度升高，使最上层的硅片与机械手高度保持一致。花篮提升机构43可以为电机控制升降，传送带41架设于支撑架44的两侧，支撑架44中间部位为空，升降电机的螺纹轴由支撑架44的中间伸出，与花篮下方的花篮卡紧机构42接触，将其顶起，提高花篮的高度。来料提升机4可与上道工序的生产线进行直接衔接，使生产线与碎片筛选装置之间的操作更连贯，生产连续性更高，自动化程度更高。如图4、图5所示，还包括缓存提升机构6，与来料提升机4类似，缓存提升机构6与图像采集装置2之间设有机械手7，缓存提升机构6包括传送带61、花篮卡紧机构62、支撑架64和花篮提升机构63，传送带61架设在支撑架64上，花篮卡紧机构62设于传送带61上方，花篮提升机构63设于花篮卡紧机构62下方，机械手7与控制器电连接，缓存提升机构6与来料提升机4之间还设有横移机器人8，当上一工艺转运至来料提升机4的物料过多，而碎片筛选较慢时，可通过横移机器人8将承载花篮运至缓存提升机构6，在缓存提升机构6与图像采集装置2之间同样设有机械手7，可与来料提升机4上的硅片穿插进行图像采集，进行碎片筛选，碎片筛选效率高。本实施例所述的一种硅片生产线上碎片筛选装置，工作人员无需到现场的每个工艺节点处监测筛选、挑拣硅片中的碎片，可在图像显示装置上同时监测多个工艺节点处的碎片情况，并对碎片进行挑拣，省时省力，效率高；设有来料提升机，可与上道工序的生产线进行直接衔接，使生产线与碎片筛选装置之间的操作更连贯，生产连续性更高，自动化程度更高；设有缓存提升装置，可缓存来料提升机无法及时处理的物料，并可与来料提升机穿插进行硅片的筛选，效率更高。以上对本技术的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本技术的较佳实施例，不能被认为用于限定本技术的实施范围。凡依本技术申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本技术的专利涵盖范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片生产线上碎片筛选装置，其特征在于：包括光源、图像采集装置、第一机械手、控制器、图像显示装置和碎片收集盒，所述图像采集装置设于所述光源附近，所述图像采集装置、所述第一机械手和所述图像显示装置分别与所述控制器电连接。

【技术特征摘要】
1.一种硅片生产线上碎片筛选装置，其特征在于：包括光源、图像采集装置、第一机械手、控制器、图像显示装置和碎片收集盒，所述图像采集装置设于所述光源附近，所述图像采集装置、所述第一机械手和所述图像显示装置分别与所述控制器电连接。2.根据权利要求1所述的碎片筛选装置，其特征在于：还包括来料提升机，所述第一机械手设于所述来料提升机与所述图像采集装置之间，所述来料提升机包括第一传送带、第一花篮卡紧机构和第一花篮提升机构，所述第一花篮卡紧机构设于所述第一传送带上方，所述第一花篮提升机构设于所述第一花篮卡紧机构下方。3.根据权利要求1所述的碎片筛选装置，其特征在于：还包括缓存提升机构，所述缓存提升机构与所述图像采集装置之间设有第二机械手，所述缓存提升机构包括第二传送带、...

【专利技术属性】
技术研发人员：董文一，魏文博，张会生，徐长坡，陈澄，梁效峰，杨玉聪，甄辉，齐风，李亚哲，黄志焕，王晓捧，王宏宇，王鹏，徐艳超，
申请(专利权)人：天津环鑫科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：天津,12