一种超声耦合微电流除氟化氢中砷制备电子级氟化氢与电子级氢氟酸的方法技术

本发明专利技术涉及化工领域，本发明专利技术公开了一种超声耦合微电流除氟化氢中砷制备电子级氟化氢和电子级氢氟酸的方法，包括电解制氟气、超声氧化、精馏和吸收等步骤；本发明专利技术采用微电流电解液化氟化氢，产生H2和F2，利用产生的F2在超声波场中将液化氟化氢中的三氟化砷氧化成五氟化砷，五氟化砷的沸点远远低于氟化氢，可通过精馏高效脱除；本发明专利技术是一种电子级氟化氢和电子级氢氟酸制备中除砷的新方法，不仅无二次污染，而且多余的氟还能将液态氟化氢中残留的微量水分除去，达到进一步纯化的目的。达到进一步纯化的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种超声耦合微电流除氟化氢中砷制备电子级氟化氢与电子级氢氟酸的方法


[0001]本专利技术涉及化工领域，尤其是一种超声耦合微电流除氟化氢中砷制备电子级氟化氢和电子级氢氟酸的方法。

技术介绍

[0002]电子级氟化氢和电子级氢氟酸作为集成电路制造中的关键性基础化工材料，主要用于芯片的清洗和蚀刻，它们的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。在氟化氢原料气中，重金属砷是以三价态存在，由于三价态的砷沸点几乎等同于氢氟酸，不管是精馏还是吸附都无法将其有效分离，单纯依靠工艺改进已很难将其去除。
[0003]CN103864018B涉及一种工业氟化氢除砷的方法，首先采用取样滴定的方式，利用少量的样品和滴定结果的准确度，低成本、高效率、高精度地计算出待除砷的无水氟化氢所要消耗的高锰酸钾量T2，然后再按照T2的1.45～1.55倍的量加入高锰酸钾溶液与待除砷的无水氟化氢进行反应，经实验结果证明，该加入量下反应得到的氟化氢，虽然含有微量的高锰酸钾(以锰离子和钾离子存在)，但经过精馏后可以完全去除，且最终得到的氢氟酸中的砷含量在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超声耦合微电流除氟化氢中砷制备电子级氟化氢和电子级氢氟酸的新方法，超声耦合微电流除氟化氢中砷在超声耦合微电流电解条件下进行。2.根据权利要求1所述的一种超声耦合微电流除氟化氢中砷的方法，其特征在于：所述的超声耦合微电流管线路分为两条，微电流电解支路和超声精馏主路。3.根据权利要求1所述的一种超声耦合微电流除氟化氢中砷的方法，其特征在于：其方案为：步骤一、电解制氟气：液化氟化氢在所述的微电流电解支路中经过微电流电解，电解支路电极的阴极和阳极分别产生氢气和氟气；步骤二、超声氧化：微电流电解支路中产生的氟气经过管路进入到超声精馏主路中与主路中的液化氟化氢混合后经过超声场超声，氟气将三氟化砷氧化成五氟化砷；步骤三、精馏吸收：经过超声精馏主路氧化的液化氟化氢进入到精馏塔中精馏，脱除五氟化砷等杂质制得电子级氟化氢，然后经过气化并用超纯水吸收后即可得到电子级氢氟酸。4.根据权利要求3所述的一种超声耦合微电流除氟化氢中砷的方法，其特征在于：所述的微电流电解支路的电解电压为1
‑
12V。5.根据权利要求3所述的一种超声耦合微电流除氟化氢中砷的方法，其特征在于：电解电流密...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶向荣，周黎旸，陈刚，贺辉龙，程文海，周井森，张晓东，孙立柱，
申请(专利权)人：浙江博瑞电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：