本发明专利技术关于一种用于真空溅镀装置的辅助导引系统，包括设置于该真空溅镀装置一侧的至少一气压缸，提供辅助及缓冲动力；分设于该气压缸二进出气口的二流量控制组件，调控高压气体进出该气压缸的流量以控制门板作动的速度；设置于该气压缸外侧的一辅助氮气缸；及以气压管路与该流量控制组件连接的一方向控制组件，调控气压工作回路至预定状态；藉由本发明专利技术的辅助导引系统辅助真空溅镀装置的门板作动以进行开启或关闭。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术关于一种辅助导引系统，其特别系关于一种用于真 空溅镀装置的辅助导引系统。
技术介绍
在半导体制程当中，真空溅镀技术是其中重要的一个环节，所使 用的溅镀装置常因为其门板的厚重，使得操作人员往往需要花费偌大 的气力去开启或关闭之，有时甚至需要合二人之力才得以开启，在操 作上相当地不便，更有甚者，操作人员时常因为无法负荷门板重量， 在关闭门板的时候导致手指压伤。按，于2004年01月21日公告的中国台湾新型第573599公告号 r定位导引机构J专利，揭露一种定位导引机构，用以承接来自一机 械手臂运送的待加工对象，包括复数个运动机构，该复数个运动机构 对应设置于该待加工对象的周缘，且该运动机构皆具有一杆件，该杆 件可受该运动才几构控制而进行往复运动；以及复^个对应于该运动机 构的承载组件；该运动机构系为一气压缸、 一油压缸或一马达，提供 一往复运动的动力以利加工程序的进行。然而，在真空溅镀装置中若能加入导引装置的设计以辅助门板的 开启与关闭，将可解决上述因门板沉重造成操作人员在操作上的困扰， 故本专利技术的专利技术人鉴于习知的缺点，特用心研发出一种辅助导引系统， 用于导引 一 真空溅镀装置的门板开启或关闭程序。
技术实现思路
本专利技术的主要目的乃提供一种用于真空溅镀装置的辅助导引系 统，包括设置于该真空'践镀装置一侧的至少一气压缸；分设于该气压 缸二进出气口的二流量控制组件；设置于该气压缸外侧的一辅助氮气缸；以及以气压管路与该流量控制组件连接的一方向控制组件。其中， 导引步骤如下该方向控制组件，调控气压工作回路至预定状态；该 流量控制组件，调控高压气体进出该气压缸的流量以控制门板作动的 速度；该气压缸，提供辅助及緩冲动力使门板开启或关闭；以及该辅 助氮气缸，提供辅助动力使门板开启或关闭。本专利技术的另一目的在于提供一种用于真空濺镀装置的辅助导引装 置，包括 一气压缸，设置于该真空溅镀装置一侧，以提供门板开启 或关闭所需的辅助动力；二流量控制组件，分别设置于该气压缸的二 进出气口，以调节高压气体流量，进而控制该气压缸导引门板开启或 关闭的辅助力量大小； 一辅助氮气缸，设置于该气压缸的外侧，以提 供门板开启或关闭所需的辅助动力；以及一方向控制组件，以气压管 路连接于该流量控制组件，将气压工作回路调控于预定状态。其中，该之方向控制组件系为一电磁阀，用以将气压工作回路调 控于预定状态，该预定状态系为门板预开启状态或门板预关闭状态。其中，该流量控制组件则为一节流岡，用以调控高压气体进出该 气压缸的流量使该气压缸提供稳定的力量使门板开启或关闭。另，在门板开启或关闭的过程中，当作动至一a角度，该a角度 系介于15度至45度之间，该辅助氮气缸即提供辅助动力帮助门板继 续开启或关闭，当作动至一P角度，该P角度系介于55度至75度之 间，该气压缸即提供一緩沖力道使门板停止于全开启^^全关闭状态。藉由本专利技术的辅助导引系统，操作人员不再需要花费很大的力气 去开启真空溅镀装置的门板，且在关闭门板时，更由于本专利技术所提供 的緩沖功能，抵销了门板沉重的下压力道，使操作人员不再因为不堪 负荷门板重量而有受伤之虞。附图说明图l说明冬专利技术的关闭状态示意图; 图2说明本专利技术的开启状态示意图; 图3A与图3B说明本专利技术的第一实施例门板开启状态气压工作回 路示意图4A与太阳4B说明本专利技术的第二实施例门板关闭状态气压工作 回路示意图5A与图5B说明本专利技术的第一实施例门板开启角度示意图；以及图6A与图6B说明本专利技术的第二实施例门板关闭角度示意图。图号说明1辅助导引装置 111缸体 113气缸加长轴 121第一流量控制组件 13辅助氮气缸 132活塞杆 141气压管路 21门板 4第二固定座 6第四固定座 II中位闭锁状态 a门板开启或关闭角度具体实施例方式为使熟悉该项技艺人士了解本专利技术的目的、特征及功效，兹藉由 下述具体实施例，并配合所附的图式，对本专利技术详加说明，说明如后本专利技术的辅助导引系统，是用于导引 一真空溅镀装置的门板开启 或关闭；请参考图1及图2说明本专利技术的关闭及开启状态示意图，其 中，本专利技术的辅助导引装置1包括二气压缸ll，分别设置于该真空 溅镀装置2的两侧，以提供门板开启或关闭所需的辅助动力；二流量 控制组件12设置于气压缸11的进出气口，以调节气体流量，进而控11气压缸112活塞杆12流量控制组件122第二流量控制组件131缸体14方向控制组件2真空溅镀装置3第一固定座5第三固定座I开启预备状态III关闭预备状态P门板开启或关闭角度制该气压缸ll导引门板开启或关闭的辅助力量大小；二辅助氮气缸13， 设置于该气压缸ll的外側，以提供门板开启或关闭所需的辅助动力； 以及一方向控制组件14，以气压管路141连接于该流量控制组件12， 将气压工作回路调控于预定状态。其中，该辅助氮气缸13更包含一缸体131及一活塞杆132，其中 一第一固定座3连接该活塞杆132前端固定于该门板21 —侧的前端， 该第二固定座4连接该缸体131后端固定于该真空賊镀装置2 —侧的 后端。另外，该气压缸11更具有一缸体111、 一活塞杆112及一气缸加 长轴113，以该气缸加长轴113前端固定于一第三固定座5，并以该缸 体111后端固定于一第四固定座6，该第三固定座5固设于该第一固定 座3之上，该第四固定座6则设置于该真空賊镀装置2后侧靠近该第 二固定座4的一端。再者，该流量控制组件12系设置于该气压缸11缸体111的二进 出气口，并且以气压管路141与该方向控制组件14相连"J秦，经由该方 向控制组件14将气压工作回路设定于预定状态后，该流量控制组件12 使高压气体以稳定的流量进出该气压缸11，使气压缸11以稳定的速度 带动门板21开启或关闭。接着，说明本专利技术第一实施例的门板开启程序，请配合第一、二 图暨参考图3A、 B以及图5A、 B;图3A、 B为气压工作回路示意图及 图5A、图5B说明门板开启角度示意图。其中气压工作回路分别有开 启预备状态I、中位闭锁状态II、与关闭预备状态III三种设定状态。 该导引门板开启的步骤说明如下提供一方向控制组件14，当该门板 21处于全关闭状态，该气压缸11的活塞杆U2处于伸出状态，该方向 控制组件14将气压工作回路设定于中位闭锁状态n,欲开启该门板21 时，该方向控制组件14将气压工作回路切换至门板开启预备状态I; 提供二流量控制组件12与一气压缸11,该流量控制组件12系为一第 一流量控制组件121及一第二流量控制组件122，该门板21初开启时， 高压气体通过该第一流量控制組件121以稳定的流量经第一进出气口E进入该气压缸ll，推回该活塞杆112,原本在气压缸11内的高压气 体则通过第二进出气口 F经该第二流量控制组件122以稳定的流量排出该气压缸11，藉此可供应辅助动力使门板以稳定的速度开启；提供 一辅助氮气缸13,当该门板21开启至一a角度，该a角度系介于15 度至45度之间，在本实施例中a为30度，该辅助氮气缸13即提供另I辅助动力帮助门板继续开启；当该门板21开启至一J3角度，该p角 度系介于55度至75度之间，在本实施例中P为60度，为避免门板关 闭力道过大，该气压缸11即提供一緩冲力道，使该门板21緩慢地停 止于全本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于真空溅镀装置的辅助导引系统，包括设置于该真空溅镀装置一侧的至少一气压缸；分设于该气压缸二进出气口的二流量控制组件；设置于该气压缸外侧的一辅助氮气缸；以及以气压管路与该流量控制组件连接的一方向控制组件； 其中，该导引步骤如下： 该方向控制组件，调控气压工作回路至预定状态； 该流量控制组件，调控高压气体进出该气压缸的流量以控制门板作动的速度； 该气压缸，提供辅助及缓冲动力使门板开启或关闭；以及 该辅助氮气缸，提供辅助动力使门板开启或关闭。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：郭勋聪，
申请(专利权)人：钰衡科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]
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