一种无油润滑涡旋真空泵制造技术

本实用新型专利技术公开了一种无油润滑涡旋真空泵，包括动涡旋、静涡旋、曲轴、电机、防自转机构、轴向间隙调节装置；动涡旋采用无静平衡设计结构，改善了动平衡特性，使涡旋真空泵整体尺寸更加紧凑；所提出的具有径向随变的小曲拐防自转机构与具有偏心结构的曲轴共同作用，调整回转半径的大小，保证动涡旋公转平动更加稳定；为了提高涡旋真空泵的吸气效率，采用内、外侧型线不对称且有单一吸气口的静涡旋，针对这种静涡旋结构造成的工作腔内容积比不相等、涡旋倾覆、压力波动问题，通过动涡旋齿齿头切齿处理或调整排气口开设范围两种方式来解决；同时轴向间隙调节装置通过调节动、静涡旋盘结合处由加工制造误差引起的间隙，减少轴向间隙泄漏。

A kind of oil free lubricating vortex vacuum pump

The utility model discloses a kind of oil free lubricating scroll vacuum pump, which includes dynamic scroll, static vortex, crankshaft, motor, anti self rotation mechanism and axial clearance adjustment device. The dynamic scroll adopts a non static balance design structure to improve the dynamic balance characteristic and make the overall size of the vortex vacuum pump tighter and tighten. In order to improve the suction efficiency of the vortex vacuum pump, in order to improve the suction efficiency of the vortex vacuum pump, the internal and lateral lines are asymmetrical and there are static vortices with a single suction port to improve the suction efficiency of the vortex vacuum pump. There are two ways to solve the problem of the volume ratio of the cavity content, the overturning of the vortex and the pressure fluctuation, and through the tooth cutting of the tooth head of the scroll teeth or adjusting the opening range of the exhaust port, and the axial clearance adjustment device reduces the leakage of the axial gap by adjusting the gap caused by the machining error.

【技术实现步骤摘要】
一种无油润滑涡旋真空泵
本技术属于涡旋真空泵
，尤其涉及一种适用于无油润滑涡旋真空泵的动涡旋、防自转机构以及排气结构。
技术介绍
涡旋真空泵是一种容积式真空泵，由于压缩腔容积的变化是连续的，因而驱动扭矩变化小，功率变化小，振动噪声低，已被广泛应用于半导体行业、科学仪器行业和医疗设备行业。涡旋真空泵作为分子泵和小型低温泵的前级泵是获得无油真空系统的最佳配置。涡旋真空泵通常采用偏心结构保证动涡旋和静涡旋的正确啮合，形成多对封闭工作腔实现吸气、压缩和排气过程。现有的涡旋真空泵由于动涡旋自身重量不平衡，在运转过程中会产生较大的离心力，引起振动，通常在动涡旋盘端面设计平衡块保证动涡旋静平衡，平衡块的设计增大了加工难度，不利于后续零件的安装和运行。目前，大多数涡旋真空泵生厂商为了提高泵的吸气效率，采用内、外侧型线不对称且有单吸气口的静涡旋结构，这种结构在吸气初始阶段吸气容积不相等，导致排气开始时两排气腔的排气压力不相等，导致涡旋真空泵产生振动、涡旋盘倾覆、压力波动、噪音问题，影响涡旋真空泵的工作效率和性能。此外，泄漏问题一直是影响无油润滑涡旋真空泵工作效率和性能的最直接的原因，根据现有研究本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种无油润滑涡旋真空泵，包括：电机(1)、第一平衡铁(2)、支架体(3)、支撑盘(4)、动涡旋(5)、静涡旋(6)、齿顶密封条(7)、轴向间隙调节装置(8)、防自转机构(9)、偏心轴套(10)、偏心轴套轴承(11)、曲轴(12)、第二平衡铁(13)；其特征是：动涡旋(5)由动涡旋齿(501)、动涡旋盘(502)、轮毂(503)、偏心套轴承安装孔(504)和动涡旋齿顶密封槽(505)组成；动涡旋盘(502)的外径Ф1与轮毂(503)内孔直径Ф2同心，同心轴线为O‑O；动涡旋齿(501)的重心O1在动涡旋盘(502)与轮毂(503)的同心轴线O‑O上；静涡旋(6)由静涡旋齿(601)、吸气口(60...

【技术特征摘要】
1.一种无油润滑涡旋真空泵，包括：电机(1)、第一平衡铁(2)、支架体(3)、支撑盘(4)、动涡旋(5)、静涡旋(6)、齿顶密封条(7)、轴向间隙调节装置(8)、防自转机构(9)、偏心轴套(10)、偏心轴套轴承(11)、曲轴(12)、第二平衡铁(13)；其特征是：动涡旋(5)由动涡旋齿(501)、动涡旋盘(502)、轮毂(503)、偏心套轴承安装孔(504)和动涡旋齿顶密封槽(505)组成；动涡旋盘(502)的外径Ф1与轮毂(503)内孔直径Ф2同心，同心轴线为O-O；动涡旋齿(501)的重心O1在动涡旋盘(502)与轮毂(503)的同心轴线O-O上；静涡旋(6)由静涡旋齿(601)、吸气口(602)、排气口(603)、静涡旋盘(604)和静涡旋齿顶密封槽(605)组成；静涡旋齿(601)的内侧型线比外侧型线多一圈，吸气口(602)设置在静涡旋齿(601)的内侧型线与外侧型线末端形成的槽中；在涡旋真空泵运行过程中，动涡旋齿(501)的内侧型线和外侧型线均参与啮合，静涡旋齿(601)的内侧型线末端与动涡旋齿(501)的外侧型线末端形成的工作腔S11比静涡旋齿(601)的外侧型线末端与动涡旋齿(501)的内侧型线末端形成的工作腔S21大；动涡旋(5)与静涡旋(6)的端面连接处设有调节轴向间隙调节装置(8)，该装置由动涡旋(5)上的周向通孔(801)、动涡旋盘(502)上的轴向密封凹槽(802)和具有弹性功能的密封元件(803)组成；在动涡旋(5)的动涡旋齿顶密封槽(505)和静涡旋(6)的静涡旋齿顶密封槽(605)中安装密封性能和回弹性较好的齿顶密封条(7)；防自转机构(9)包括：小曲拐(901)、偏心套(902)、偏心套轴承(903)和小曲拐主轴承(904)；小曲拐(901...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹晨燕，刘强，王君，魏蜀红，杨舒然，赵峰，
申请(专利权)人：中国石油大学华东，
类型：新型
国别省市：山东,37