互锁模块化衬底支撑柱制造技术

本发明专利技术涉及一种用于衬底容器的衬底支撑组合件。所述组合件可包含一对衬底支撑柱，其各自包含多个架部件的堆叠及插入通过所述堆叠以将所述堆叠固定在一起的多个支撑杆。每一架部件可包含叶片部分，其具有第一及第二相对表面以及内及外周边。所述叶片部分的每一表面可包含肋结构及定位成朝向所述外周边且从所述叶片部分的前向部分延伸到后向部分的多个轴套。互锁特征部可界定于所述肋结构上。所述架部件的所述堆叠可包含经由所述肋结构与一或多个相邻架部件堆叠的每一架部件，借此经由所述互锁特征部互锁每一架部件与所述一或多个相邻架部件。

Interlocking modular substrate support column

The invention relates to a substrate support assembly for a substrate container. The combination may include a pair of substrate support columns, each containing a stack of a plurality of frame components and a plurality of support poles inserted through the stack to fix the stack together. Each component may include a blade portion having a first and two relative surface and an inner and outer periphery. Each surface of the blade portion may include a rib structure and a plurality of shaft sleeves positioned toward the outer circumference and extending from the front part of the blade portion to the backward part. The interlocking feature section can be bounded on the ribbed structure. The stack of the frame components may include each component stacked with one or more adjacent frame components through the ribbed structure, thereby interlocking each component with the one or more adjacent frame components via the interlocking feature section.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】互锁模块化衬底支撑柱相关申请案本申请案主张2015年8月25日申请的第62/209,771号美国临时申请案及2015年12月21日申请的第62/270,388号美国临时申请案的优先权，所述申请案的揭示内容的全文以引用的方式并入本文中。
本专利技术涉及半导体处理设备，且更明确来说，涉及用于半导体衬底的容器。
技术介绍
随着对更小、更低成本且高性能的半导体装置的需求的增加，对更小的且更薄的集成电路的需求增加。为实现这些较小集成电路，可在集成电路制造工艺中使用薄半导体衬底或晶片。在将晶片处理成集成电路的各个点处，将晶片固定于衬底容器中。这些衬底容器可在晶片的下部及晶片的外周边处水平地支撑晶片。然而，随着晶片变得更薄，其趋于在定位于此类衬底容器中时越来越松垂，这是归因于重力对越来越薄的晶片结构的影响。此松垂增大将晶片支撑于衬底容器中的难度且因此增大在处理期间损坏晶片的风险。此外，晶片的额外松垂可产生与用于处置晶片的自动化过程的互操作性问题。因此，可期望一种用于处置薄衬底的改进的衬底容器。
技术实现思路
本专利技术的各种实施例可安装于各种类型的衬底容器中。例如，本专利技术的一些实施例包含具有偏离安本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种衬底支撑组合件，其包括：一对衬底支撑柱，其各自包含多个架部件的堆叠及插入通过所述堆叠以将所述堆叠固定在一起的多个支撑杆，每一架部件包含叶片部分，所述叶片部分具有第一及第二相对表面及从所述叶片部分的前向部分延伸到后向部分且界定所述叶片部分的外周边及内周边的一对纵长边缘，所述叶片部分包含：从所述第一表面延伸的第一肋结构及从所述第二表面延伸的第二肋结构，所述第一肋结构及所述第二肋结构定位成靠近所述外周边且从所述前向部分延伸到所述后向部分；从所述第一表面延伸的第一多个轴套及从所述第二表面延伸的第二多个轴套，所述第一多个轴套及所述第二多个轴套定位成靠近所述外周边且各自包含定位于所述前向部分处的前向轴...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.08.25 US 62/209,771;2015.12.21 US 62/270,3881.一种衬底支撑组合件，其包括：一对衬底支撑柱，其各自包含多个架部件的堆叠及插入通过所述堆叠以将所述堆叠固定在一起的多个支撑杆，每一架部件包含叶片部分，所述叶片部分具有第一及第二相对表面及从所述叶片部分的前向部分延伸到后向部分且界定所述叶片部分的外周边及内周边的一对纵长边缘，所述叶片部分包含：从所述第一表面延伸的第一肋结构及从所述第二表面延伸的第二肋结构，所述第一肋结构及所述第二肋结构定位成靠近所述外周边且从所述前向部分延伸到所述后向部分；从所述第一表面延伸的第一多个轴套及从所述第二表面延伸的第二多个轴套，所述第一多个轴套及所述第二多个轴套定位成靠近所述外周边且各自包含定位于所述前向部分处的前向轴套及定位于所述后向部分处的后向轴套，所述前向轴套及所述后向轴套界定通过所述架部件的孔口；及界定于所述第一肋结构的边缘上的第一群组的互锁特征部及界定于所述第二肋结构的边缘上的第二群组的互锁特征部，所述第一群组的互锁特征部包含突出部且所述第二群组的互锁特征部包含对应凹部以在所述多个架部件的相邻架部件之间互补地互锁；其中所述多个架部件的所述堆叠包含经由所述第一肋结构及所述第二肋结构中的至少一者与一或多个相邻架部件堆叠的所述架部件中的每一者，借此经由所述第一群组及所述第二群组的互锁特征部的至少一个群组互锁所述多个架部件的每一架部件与所述一或多个相邻架部件，所述多个架部件的所述孔口经对准且界定通过所述堆叠的多个通道以供插入所述多个支撑杆。2.根据权利要求1所述的衬底支撑组合件，其中：所述第一肋结构延伸于所述第一多个轴套的所述前向轴套与所述后向轴套之间，且所述第二肋结构延伸于所述第二多个轴套的所述前向轴套与所述后向轴套之间。3.根据权利要求1所述的衬底支撑组合件，其中：所述叶片部分进一步包含界定于所述第一表面上的对准特征部及界定于所述第二表面上的第二对准特征部，所述第一对准特征部及所述第二对准特征部定位成靠近所述外周边且包含从所述第一表面及所述第二表面延伸以与衬底容器中的槽接合而对准所述支撑柱的肋。4.根据权利要求1所述的衬底支撑组合件，其中：所述堆叠包含具有所述第一表面及所述第二表面的面向上表面的最顶部架部件；及所述堆叠包含连接到所述面向上表面的所述前向轴套的上支架，所述上支架包含主体部分及从所述主体部分向上延伸的对准特征部，所述对准特征部包含用于与衬底容器中的槽接合以对准所述支撑柱的肋。5.根据权利要求4所述的衬底支撑组合件，其中：所述最顶部架部件及所述上支架是整体结构。6.根据权利要求1所述的衬底支撑组合件，其中：所述堆叠包含具有所述第一表面及所述第二表面的面向下表面的最底部架部件；及所述堆叠包含连接到所述面向下表面的所述前向轴套的第一下支架及连接到所述面向下表面的所述后向轴套的第二下支架，所述第一下支架及所述第二下支架包含：支撑杆入口，其连接到所述多个支撑杆中的一者的端；安装部分，其用于连接到衬底容器的底板；及偏离部分，其使所述安装部分从所述支撑杆入口偏离。7.根据权利要求6所述的衬底支撑组合件，其中：所述最底部架部件以及所述第一下支架及所述第二下支架是整体结构。8.根据权利要求1所述的衬底支撑组合件，其中：所述第一多个轴套及所述第二多个轴套各自包含定位于所述前向轴套与所述后向轴套之间的中间轴套，所述中间轴套界定通过所述架部件的孔口。9.根据权利要求1所述的衬底支撑组合件，其中：所述多个架部件的每一侧是彼此的镜像。10.根据权利要求1所述的衬底支撑组合件，其中：所述多个架部件中的每一者是个别模制件。11.一种衬底容器，其包括：容器部分，其包含两个相对侧壁、背部侧壁、顶部侧壁及底板，所述容器部分在所述衬底容器的前部分中界定到用于容纳衬底的内部的开口，所述容器部分安装于输送板上；门，其经配置以遮盖且密封由所述容器部分界定的所述开口；及一对衬底支撑柱，其安装于所述内部以支撑衬底，所述对衬底支撑柱各自包含多个架部件的堆叠及插入通过所述堆叠以将所述堆叠固定在一起的多个支撑杆，每一架部件包含叶片部分，所述叶片部分具有第一及第二相对表面及从前向部分延伸到后向部分且界定外周边及内周边的一对纵长边缘，所述叶片部分包含：从所述第一表面延伸的第一肋结构及从所述第二表面延伸的第二肋结构，所述第一肋结构及所述第二肋结构定位成靠近所述外周边且从所述前向部分延伸到所述后向部分；从所述第一表面延伸的第一多个轴套及从所述第二表面延伸的第二多个轴套，所述第一多个轴套及所述第二多个轴套定位成靠近所述外周边且各自包含定位于所述前向部分处的前向轴套及定位于所述后向部分处的后向轴套，所述前向轴套及所述后向轴套界定通过所述架部件的孔口；及界定于所述第一肋结构的边缘上的第一群组的互锁特征部及界定于所述第二肋结构的边缘上的第二群组的互锁特征部，所述第一群组的互锁特征部包含突出...

【专利技术属性】
技术研发人员：M·富勒，C·哈尔，
申请(专利权)人：恩特格里斯公司，
类型：发明
国别省市：美国,US