【技术实现步骤摘要】
本专利技术关于一种离子布植机用的供气系统，尤指一种可远程输送离子布植机用气体的供气系统。
技术介绍
1、半导体设备厂用的离子布植机包含有多个反应腔室，且各反应腔室会随着不同产品工艺配方改变所使用的掺杂气体种类，该些掺杂气体具有受高电压解离特性，也对人体具有毒性；该些掺杂气体会预先装罐后，设置在该离子布植机的一金属室内，并与金属室内的管路连接，透过管路将掺杂气体输送至离子布植机；此一金属室会与高电压源电连接，即该金属室连接至高电压源的高电位，而该金属室底面与地板之间会再设置有多个电性绝缘件，避免金属室内产生一高压差环境。
2、由于气瓶容量有限，若未控制好离子布植机中各该反应腔室于工艺中的使用量，在工艺中的反应腔室会出现掺杂气体耗尽，而被迫中止工艺造成损失；因此，目前许多半导体设备厂开始研发如何将离子布植机的管路连接至远程的大量储存的掺杂气体源，使供气无虞。如图6所示，为一种气体传输装置，在金属室70与远程大量掺杂气体储放室71之间设置有一相互串接的电性绝缘管72及金属波型管73，金属波型管73因为延展性较佳可吸收外界震动能量，...
【技术保护点】
1.一种离子布植机用的供气系统，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的供气系统，其中所述电性绝缘盒的长度与其盒内气体压力乘积大于所述硬质绝缘管件的所述第一端与所述第二管路连接处及所述硬质绝缘管件的所述第二端与所述可挠性管件连接处之间的最大解离电压差。
3.如权利要求1所述的供气系统，其中所述硬质绝缘管件长度与其输送掺杂气体的气体压力的乘积大于所述硬质绝缘管件的所述第一端与所述第二管路连接处及所述硬质绝缘管件的所述第二端与所述可挠性管件连接处之间的最大解离电压差。
4.如权利要求1所述的供气系统，进一步包含：
5.如权...
【技术特征摘要】
1.一种离子布植机用的供气系统，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的供气系统，其中所述电性绝缘盒的长度与其盒内气体压力乘积大于所述硬质绝缘管件的所述第一端与所述第二管路连接处及所述硬质绝缘管件的所述第二端与所述可挠性管件连接处之间的最大解离电压差。
3.如权利要求1所述的供气系统，其中所述硬质绝缘管件长度与其输送掺杂气体的气体压力的乘积大于所述硬质绝缘管件的所述第一端与所述第二管路连接处及所述硬质绝缘管件的所述第二端与所述可挠性管件连接处之间的最大解离电压差。
4.如权利要求1所述的供气系统，进一步包含：
5.如权利要求1所述的供气系统，进一步包含：
6.如权利要求1所述的供气系统，其中所述电性绝缘盒填充环氧树脂，并包覆所述硬质绝缘管件。
7.如权利要求1至6中任一项所述的供气系统，进一步包含：
8.如权利要求7所述的供气系统，其中所述第一管路输送气体压力小于大气压力，所述第二管路输送气体压力大于大气压力。
9.如权利要求1至6中任一项所述的供气系统，其中所述硬质绝缘管件材质为蓝宝石玻璃、陶瓷或塑化材料；其中所述塑化材料为乙烯类聚合物、苯酯类聚合物、硫醚类聚合物其中之一。
10.如权利要求1至6中任一项所述的供气系统，其中可挠性管件的材质为不锈钢。
11.如权利要求1至6中任一项所述的供气系统，其中所述掺杂气体为砷化氢、磷化氢、三氟化硼、一氧化碳、四氟化锗、四氟化硅、磷化氟、三氟化氮、四氢化锗。
...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。