用于从胺中去除金属物种的膜制造技术

技术编号:46493007 阅读:3 留言:0更新日期:2025-09-26 19:11
本申请案涉及用于从胺中去除金属物种的膜。本公开内容涉及从流体中去除金属污染物,以及用于实施此类方法的配体改性过滤材料。本公开的过滤器及方法对于从包含胺的液体组合物中去除金属特别有效。此类金属量明显减少的液体组合物可用于微电子制造工艺,例如用于去除光致抗蚀剂的液体或蚀刻中所使用的液体。配体改性过滤器(例如配体改性多孔膜)可经配置用于微电子制造系统,所述配体改性过滤器可作为对进入所述系统的液体使用金属去除特征的点用于所述系统中。

【技术实现步骤摘要】

以下公开涉及配体改性物件,例如过滤膜,以及涉及使用所述物件从液体组合物中去除金属的方法。


技术介绍

1、过滤器用于从有用流体流中去除不需要的物质,并且已成为各种工业技术中的重要特征。经过处理以去除不需要的物质的流体包括水、液体工业溶剂及加工流体、用于制造或加工的工业气体,以及具有医疗或制药用途的液体。从流体中去除的不需要的物质包括杂质及污染物,例如颗粒、微生物及溶解的化学物质。过滤器应用的具体实例包括它们与液体物质一起用于半导体及微电子装置制造。

2、过滤器可以通过多种不同的方式去除不需要的物质,例如通过尺寸排阻或通过与物质的化学及/或物理相互作用。一些过滤器由为过滤器提供多孔结构的结构物质界定,并且过滤器能够截留不能通过孔的尺寸的颗粒。一些过滤器由过滤器的结构物质或与结构物质缔合的化学物质与流经过滤器的物质缔合并相互作用的能力来定义。例如,过滤器的化学特征可以与来自流经过滤器的物流中的不需要的物质缔合,例如通过离子、配位、螯合或氢键合相互作用截留那些不需要的物质。一些过滤器可以利用尺寸排阻及化学相互作用特征从过滤物流中去除物质。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种多孔聚合物膜,其上附接配体,所述配体包含选自以下的部分:(i)环胍部分,和(ii)环脒部分。

2.根据权利要求1所述的多孔聚合物膜,其中所述部分是环胍部分。

3.根据权利要求1所述的多孔聚合物膜,其中所述部分是环脒部分。

4.根据权利要求1所述的多孔聚合物膜,其中所述配体是具有以下结构的化合物:

5.根据权利要求1所述的多孔聚合物膜,其中所述配体选自具有以下结构的化合物:

6.根据权利要求1所述的多孔聚合物膜,其中所述配体选自以下结构:

7.根据权利要求1所述的多孔聚合物膜,其包括选自以下的聚合物材料:聚酰胺...

【技术特征摘要】

1.一种多孔聚合物膜,其上附接配体,所述配体包含选自以下的部分:(i)环胍部分,和(ii)环脒部分。

2.根据权利要求1所述的多孔聚合物膜,其中所述部分是环胍部分。

3.根据权利要求1所述的多孔聚合物膜,其中所述部分是环脒部分。

4.根据权利要求1所述的多孔聚合物膜,其中所述配体是具有以下结构的化合物:

5.根据权利要求1所述的多孔聚合物膜,其中所述配体选自具有以下结构的化合物:

6.根据权利要求1所述的多孔聚合物膜,其中所述配体选自以下结构:

7.根据权利要求1所述的多孔聚合物膜,其包括选自以下的聚合物材料:聚酰胺、聚酰亚胺、聚砜、聚醚砜、聚烯烃、卤化聚合物或其组合。

8.根据权利要求1所述的多孔聚合物膜,其中所述聚合物材料选自超高分子量聚乙烯及聚(四氟乙烯)。

9.根据权利要求1所述的多...

【专利技术属性】
技术研发人员:J·哈姆齐克J·布鲁斯特S·桑帕斯J·A·贾比尔A·A·米尔
申请(专利权)人:恩特格里斯公司
类型:发明
国别省市:

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