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本发明涉及一种用于衬底容器的衬底支撑组合件。所述组合件可包含一对衬底支撑柱，其各自包含多个架部件的堆叠及插入通过所述堆叠以将所述堆叠固定在一起的多个支撑杆。每一架部件可包含叶片部分，其具有第一及第二相对表面以及内及外周边。所述叶片部分的每一...
该专利属于恩特格里斯公司所有，仅供学习研究参考，未经过恩特格里斯公司授权不得商用。

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