一种确定单晶圆棒切割点的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种确定单晶圆棒切割点的装置，包括：第一平板和第二平板，所述第一平板为正方形平板，所述第二平板为正多边形平板，所述第二平板用于当所述第一平板的对角线和端面的对角线相互平行且在同一平面内，偏转角度为预设偏转角度时，确定所述第二平板的半径所在的直线在所述端面上的投影与所述端面的圆周线的交点为切割点，通过第一平板和第二平板相互配合，即可快速准确的确定出单晶圆棒的端面上的切割点。本实用新型专利技术的装置结构简单，易于制造，且能够快速准确的确定出切割点，提高工作效率，并提高了切割获得的单晶籽晶可用性，由此单晶籽晶成长出的类单晶品质更好。

A device for determining the cutting point of single crystal circular rod

The utility model discloses a device for determining the cutting point of a single crystal round rod, which comprises a first plate and a second flat plate, the first plate is a square flat plate, and the second plate is a positive polygon plate. The second plate is used for the diagonal parallel between the diagonal line and the end face of the first plate and in the same plane. When the deflection angle is a preset deflection angle, it is determined that the intersection of the projection of the radius of the second plate on the end surface and the circumference line of the end face is the cutting point, and the cutting point on the end face of the single crystal circular rod can be quickly and accurately determined by the combination of the first plate and the second plate. The utility model has simple structure, easy to manufacture, and can quickly and accurately determine the cutting point, improve the working efficiency, and improve the availability of single crystal seed crystal obtained by cutting, thus the quality of the single crystal growth of the single crystal seed crystal is better.

【技术实现步骤摘要】
一种确定单晶圆棒切割点的装置
本技术涉及类单晶
，特别是涉及一种确定单晶圆棒切割点的装置。
技术介绍
类单晶技术是基于多晶铸锭的工艺，使用单晶籽晶获得外观和电性能均类似单晶的多晶硅片。类单晶是从单晶籽晶位置开始生长的，因此单晶籽晶的铺设是影响长成的类单晶品质的关键因素之一。在单晶籽晶铺底过程中，使用方块状的类单晶籽晶进行铺底会在铸造类单晶时，在单晶籽晶的接缝处产生大量的错位。为解决上述问题，在单晶籽晶铺底过程中，普遍采用成一定夹角设置的单晶籽晶进行铺底，相比于无偏转夹角的铺底，单晶籽晶的错位密度降低了70％以上。但是获得具有一定偏转角度的单晶籽晶，就需要在单晶籽晶端面上确认出偏转角度并确定在该偏转角度下的刀剖点。目前一般是根据单晶圆棒的棱线在圆棒的端面确认出中心点，在使用固定角度模型或勾股定理计算，在端面上依次确定刀剖点，并将相邻刀剖点连线后，进行刀剖。该方法虽然能够获得具有一定偏转角度的单晶籽晶，但是操作麻烦，工作效率低，且精度不足，降低了生长的类单晶的品质。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种确定单晶圆棒切割点的装置，解决了对单晶圆棒切割时，精度不足，工作效率低的问题，实现了快速准确确定切割点，且获得的切割后的单晶籽晶能够成长出品质更好的类单晶。为解决上述技术问题，本技术提供一种确定单晶圆棒切割点的装置，包括：第一平板和第二平板，所述第一平板为正方形平板，所述第二平板为正多边形平板；所述第二平板设置在所述第一平板上，所述第一平板和所述第二平板的中心点连线所在的直线垂直于所述第一平板和所述第二平板；所述第二平板用于当所述第一平板的对角线和端面正方形的对角线相互平行且在同一竖直平面内，偏转角度为预设偏转角度时，确定所述第二平板的半径所在的直线在所述端面上的投影与所述端面的圆周线的交点为切割点；其中，所述端面正方形为在待切割的单晶圆棒的端面上，单晶圆棒侧面的四条棱线和所述端面的交点依次相连组成的正方形；所述偏转角度为所述第一平板的半径所在的直线和所述第二平板的半径所在的直线之间的夹角。其中，所述第一平板的半径长度和所述第二平板的半径长度等于所述端面的半径长度。其中，所述第一平板为边长大小可调的正方形板，所述第二平板为边长大小可调的正多边形板。其中，所述第一平板包括中心正方形板和正方形边框，所述方形边框具有正方形内框，所述中心方形板可拆卸地安装在所述方形边框内框上；所述第二平板包括中心正多边形板和正多边形边框，所述多边形边框具有正多边形内框，所述中心正多边形板可拆卸地安装在所述正多边形边框内框上。其中，所述第一平板的半径和所述第二平板的半径小于所述端面的半径，所述第一平板和所述第二平板的各个顶点均沿半径方向设置有指针。其中，所述第二平板为正方形平板。其中，还包括：读数指针和量角器；所述读数指针设置在所述第二平板背向所述第一平板的表面，所述读数指针和所述第一平板的对角线相互平行且在同竖直平面内；所述量角器设置在所述第二平板和所述读数指针之间，且所述量角器的原点和所述第二平板的中心点重合，起止线和所述第二平板的半径重合。其中，所述量角器为度量范围为360度的量角器。其中，所述读数指针上设置有角度放大器，以便放大所述量角器上的度量所述读数指针位置的角度值。其中，还包括：固定装置，设置在所述第一平板上，以便将所述第一平板固定在所述端面上。本技术所提供的一种确定单晶圆棒切割点的装置，在确定切割点时，能够根据第二平板的半径所在的直线在待切割的单晶圆棒的端面上的投影快速的确定出各个切割点的位置，工作效率高。另外，在单晶圆棒的端面上，单晶圆棒的四条棱线和端面有四个交点，四个交点之间的用直线段相连后，在端面组成一个正方形，通过正方形的第一平板的对角线和端面正方形的对角线平行且位于同一竖直平面内，也就确定了第一平板的中心点位于单晶圆棒的中心轴线上，而第一平板的中心和第二平板的中心的连线垂直于第一平板和第二平板，从而保证了第一平板中心和第二平板中心都在单晶圆棒的中心轴线上，相对于现有技术中，采用固定角度模型的圆心和端面的中心来确定固定角度模型的圆心在单晶圆棒的中心轴线上的这种点和点来确定位置的方式，本技术是通过第一平板和单晶圆棒这种面和面确定位置的方式，能够使得确定的结果更为准确。且本技术中可以同时确定出所有切割点的位置，而不用逐个确定，在结果精确的前提下，提高了工作效率。本技术提供的装置，能够快速准确的确定出切割点，应用简单，工作效率高，根据本技术的装置获得的单晶籽晶更标准，提高了类单晶的品质。附图说明为了更清楚的说明本技术实施例或现有技术的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术一种具体实施例提供的确定单晶圆棒切割点的装置的结构示意图；图2为本技术中单晶圆棒上棱线的结构示意图；图3为本技术中单晶圆棒的端面的结构示意图；图4为本技术中一种具体实施例中第一平板的结构示意图；图5为本技术另一具体实施例提供的确定单晶圆棒切割点的装置的结构示意图；附图中，1为第一平板、2为第二平板、3为单晶圆棒、4为棱线、5为端面、6为端面正方形、7为正方形边框、8为中心正方形板、9为第一平板指针、10为第二平板指针、11为量角器、12为读数指针。具体实施方式为了使本
的人员更好地理解本技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步的详细说明。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参考图1、图2和图3，图1为本技术一种具体实施例提供的确定单晶圆棒切割点的装置的结构框图，图2为本技术中单晶圆棒上棱线的结构示意图，图3为本技术实施例中单晶圆棒端面示意图，参照图1该装置可以包括：第一平板1和第二平板2，所述第一平板1为正方形平板，所述第二平板2为正多边形平板；所述第二平板2设置在所述第一平板1上，所述第一平板1和所述第二平板2的中心点连线所在的直线垂直于所述第一平板1和所述第二平板2；在待切割的单晶圆棒3的侧面上存在四条棱线4，每条棱线4和单晶圆棒3的端面5都存在一个交点，可以将四个交点依次相连，在端面5组成一个端面正方形6。在确定单晶圆棒3的切割点时，通常所说的偏转角度是指，某一条棱线4和端面5的交点与近距离该交点最近的一个切割点分别和端面5的圆心连线，这两条线段之间的夹角即为需要切割的单晶籽晶的偏转角度。因此，在实际确定切割点时，可以以端面正方形6为参考，确定相对于端面正方形6的四个顶点具有一定偏转角度的切割点。在测量时，将第一平板1贴合到单晶圆棒3的端面5上，第一平板1的对角线和端面正方形6的对角线相互平行且在同一竖直平面内，本技术中认为单晶圆棒3的端面5是位于水平面内的，此时以第一平板1可以代替端面正方形6作为参照。对于正多边形而言，中心点和顶点的连线即为正多边形的半径，以第二平板2的半径所在的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种确定单晶圆棒切割点的装置，其特征在于，包括：第一平板和第二平板，所述第一平板为正方形平板，所述第二平板为正多边形平板；所述第二平板设置在所述第一平板上，所述第一平板和所述第二平板的中心点连线所在的直线垂直于所述第一平板和所述第二平板；所述第二平板用于当所述第一平板的对角线和端面正方形的对角线相互平行且在同一竖直平面内，偏转角度为预设偏转角度时，确定所述第二平板的半径所在的直线在所述端面上的投影与所述端面的圆周线的交点为切割点；其中，所述端面正方形为在待切割的单晶圆棒的端面上，单晶圆棒侧面的四条棱线和所述端面的交点依次相连组成的正方形；所述偏转角度为所述第一平板的半径所在的直线和所述第二平板的半径所在的直线之间的夹角。

【技术特征摘要】
1.一种确定单晶圆棒切割点的装置，其特征在于，包括：第一平板和第二平板，所述第一平板为正方形平板，所述第二平板为正多边形平板；所述第二平板设置在所述第一平板上，所述第一平板和所述第二平板的中心点连线所在的直线垂直于所述第一平板和所述第二平板；所述第二平板用于当所述第一平板的对角线和端面正方形的对角线相互平行且在同一竖直平面内，偏转角度为预设偏转角度时，确定所述第二平板的半径所在的直线在所述端面上的投影与所述端面的圆周线的交点为切割点；其中，所述端面正方形为在待切割的单晶圆棒的端面上，单晶圆棒侧面的四条棱线和所述端面的交点依次相连组成的正方形；所述偏转角度为所述第一平板的半径所在的直线和所述第二平板的半径所在的直线之间的夹角。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一平板的半径长度和所述第二平板的半径长度等于所述端面的半径长度。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述第一平板为边长大小可调的正方形板，所述第二平板为边长大小可调的正多边形板。4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述第一平板包括中心正方形板和正方形边框，所述方形边框具有正方形内框，所述中心方形板可拆卸地安装在所述方形边框内框上；所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李林东，汪沛渊，陈伟，欧子杨，王全志，晏文勇，邓清香，程海燕，金浩，
申请(专利权)人：晶科能源有限公司，浙江晶科能源有限公司，
类型：新型
国别省市：江西,36