The invention discloses a device and method for measuring the central thickness of an optical coating lens, including a light source, a light splitting device, an optical probe, a spectrometer and a computer. The light source is connected with a light splitting device. The light splitting device, the optical probe and the center of the measured coating lens are located on the same light path, and the light path direction is successively in accordance with the direction of the optical path. In turn, the light incident end of the light splitting device is connected with the spectrometer, and the spectrometer is connected with the computer; the light splitting device and the optical probe are fixed by the support frame, and the measured coating lens is fixed by a fixture on the carrier table; the light source is in turn through the light splitting device and the light. After the probe, the light spot can be hit at the central position of the fixture, and the computer calculates the thickness of the center of the coating lens by processing the spectral data. The invention does not need to directly contact the sample, causing no loss to the surface of the sample, and the accuracy of the thickness calculation method is greatly improved by using the method of the invention.
【技术实现步骤摘要】
光学镀膜透镜中心厚度测量装置及方法
本专利技术涉及光学精密测量
,特别是涉及光学镀膜透镜中心厚度测量装置及方法。
技术介绍
随着信息产业的发展,光学透镜的需求不断增大,对器件特性的要求也越来越高。在光学领域中,中心厚度、折射率和曲率半径是透镜的三项基本参数,其中透镜中心厚度加工的误差是影响光学系统成像的重要因素。例如在航空、航天等高精度光学系统产品中,对透镜的公差有着严格的要求,透镜的光轴偏角、径向偏移和轴向间隙需要根据镜头中透镜的中心厚度来进行精密的调整。而其加工是否满足精度要求,则需要高精度的仪器对其进行检查和测量。现代光学透镜通常都镀有单层或多层氟化镁的增透膜,单层增透膜可使反射减少至1.5%,多层增透膜则可让反射降低至0.25%,因此镀膜透镜中心厚度的测量成为生产中一个必不可少的环节。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种方便快速精确的光学镀膜透镜中心厚度测量装置及测量方法。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:光学镀膜透镜中心厚度测量装置,包括光源、分光装置、光学探头、光谱仪和计算机;所述光源和分光装置相连,所述分光装置、所述光学探头和被测镀膜透镜的中心位于同一光路上,且按照光路方向先后依次排列;所述分光装置的光入射端与所述光谱仪相连接,所述光谱仪与所述计算机相连接;所述分光装置与所述光学探头由支撑架固定,所述被测镀膜透镜由位于载物台上的夹具固定;所述光源依次经所述分光装置与所述光学探头之后,其光斑能够打在所述夹具的中心位置;所述计算机通过对光谱数据处理得出镀膜透镜中心的厚度值。进一步,所述支撑架上设有悬臂,摇动所述悬臂能够带动所述分 ...
【技术保护点】
光学镀膜透镜中心厚度测量装置,其特征在于,包括光源、分光装置、光学探头、光谱仪和计算机;所述光源和分光装置相连,所述分光装置、所述光学探头和被测镀膜透镜的中心位于同一光路上,且按照光路方向先后依次排列;所述分光装置的光入射端与所述光谱仪相连接,所述光谱仪与所述计算机相连接;所述分光装置与所述光学探头由支撑架固定,所述被测镀膜透镜由位于载物台上的夹具固定;所述光源依次经所述分光装置与所述光学探头之后,其光斑能够打在所述夹具的中心位置;所述计算机通过对光谱数据处理计算得出镀膜透镜中心的厚度值。
【技术特征摘要】
1.光学镀膜透镜中心厚度测量装置,其特征在于,包括光源、分光装置、光学探头、光谱仪和计算机;所述光源和分光装置相连,所述分光装置、所述光学探头和被测镀膜透镜的中心位于同一光路上,且按照光路方向先后依次排列;所述分光装置的光入射端与所述光谱仪相连接,所述光谱仪与所述计算机相连接;所述分光装置与所述光学探头由支撑架固定,所述被测镀膜透镜由位于载物台上的夹具固定;所述光源依次经所述分光装置与所述光学探头之后,其光斑能够打在所述夹具的中心位置;所述计算机通过对光谱数据处理计算得出镀膜透镜中心的厚度值。2.根据权利要求1所述的光学镀膜透镜中心厚度测量装置,其特征在于,所述支撑架上设有悬臂,摇动所述悬臂能够带动所述分光装置和所述光学探头上下移动。3.根据权利要求1所述的光学镀膜透镜中心厚度测量装置,其特征在于,还包括定中心工具;所述定中心工具与所述夹具相对固定连接,所述定中心工具顶面的小孔对准所述被测镀膜透镜的中心。4.根据权利要求3所述的光学镀膜透镜中心厚度测量装置,其特征在于,所述定中心工具为圆柱形的筒,其底面卡入位于所述夹具中心位置的圆形凹槽内。5.根据权利要求1所述的光学镀膜透镜中心厚度测量装置,其特征在于,所述载物台上设有旋钮,旋动所述旋钮能够带动所述载物台水平移动。6.根据权利要求5所述的光学镀膜透镜中心厚度测量装置,其特征在于,所述旋钮为两个,一个用于带动所述载物台前后移动,另一个用于带动所述载物台左右移动。7.根据权利要求1-6任一项所述的光学镀膜透镜中心厚度测量装置,其特征在于,所述计算镀膜透镜中心的厚度值的公式采用拟合的方法得出,具体计算表达式如下:未镀膜透镜的中心厚度计算公式:镀膜透镜的中心厚度计算公式:
【专利技术属性】
技术研发人员:姚红兵,李航宇,范宁,朱仁杰,
申请(专利权)人:南京珂亥韧光电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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