一种自聚焦透镜用镀膜系统技术方案

一种自聚焦透镜用镀膜系统，包括有真空室、氧气供给组件、尾气排出组件以及控制器，真空室具有氧气供给安装口以及尾气排出安装口；氧气供给组件包括有氧气瓶、氧气供给通路、电子阀，电子阀设置于氧气供给通路上，氧气供给通路与氧气供给安装口以及氧气瓶连接；尾气排出组件包括有静电吸附装置、尾气排出通路，尾气排出通路与尾气排出安装口连接，尾气排出通路的另一端设置有静电吸附装置，静电吸附装置设置于尾气排出通路尾端的管路内部；还包括有加热器，加热器设置于氧气供给通路上。设置加热器，能够对充入到真空室内的氧气进行预热，避免低温氧气进入真空室造成真空室的温度骤降，对氧气预热能够提高透镜镀膜的品质。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光学设备
，更具体地说，特别涉及一种自聚焦透镜用镀膜系统。
技术介绍
目前，在自聚焦透镜的生产工艺中，为了提高透镜的透过率，一般都会对透镜的端部进行镀膜处理。传统的透镜镀膜都是在反应室内进行，由于镀膜需要在高温环境下进行，所以在镀膜工艺开始前就需要对反应室进行升温，一般在200-250℃之间，当温度升高后才能够进行后续的充氧镀膜。在传统工艺中，氧气是需要持续不断地充入到反应室内以保证反应室内气压稳定，然而，不断充入的氧气气体温度较低，直接进入到反应室内会降低反应室内的温度，从而影响镀膜效果。
技术实现思路
可见，如何在镀膜过程中，氧气供给操作不会对反应室温度产生影响，成为了本领域技术人员亟待解决的问题。本技术提供了一种自聚焦透镜用镀膜系统，包括有真空室、氧气供给组件、尾气排出组件以及控制器，所述真空室具有氧气供给安装口以及尾气排出安装口；所述氧气供给组件包括有氧气瓶、氧气供给通路、电子阀，所述电子阀设置于所述氧气供给通路上用于导通或者闭合所述氧气供给通路，所述氧气供给通路的一端与所述氧气供给安装口连接，所述氧气供给通路的另一端与所述氧气瓶连接，所述电子阀与所述控制器信号连接；所述尾气排出组件包括有静电吸附装置、尾气排出通路，所述尾气排出通路的一端与所述尾气排出安装口连接，所述尾气排出通路的另一端设置有所述静电吸附装置，所述静电吸附装置设置于所述尾气排出通路尾端的管路
内部；还包括有加热器以及热传感器，所述加热器以及所述热传感器均设置于所述氧气供给通路上，所述加热器以及所述热传感器均与所述控制器信号连接。优选地，所述热传感器设置于所述氧气供给通路与所述氧气供给安装口连接的通路管口上。优选地，所述氧气供给通路包括有主管路以及分支管路，所述分支管路包括有多个，全部的所述分支管路与所述主管路连通；所述加热器设置于所述主管路内，所述热传感器设置于所述分支管路上。优选地，所述真空室为正方体结构，于所述真空室的各个侧壁上均设置有一个所述分支管路。优选地，本技术还包括有热回收装置，所述热回收装置包括有热回收管、集热箱体以及循环泵；所述热回收管设置于所述尾气排出通路内，所述热回收管与所述集热箱体连接，所述集热箱体用于装载导热介质，所述热回收管用于导热介质的流通，所述循环泵设置于所述热回收管上。优选地，于所述集热箱体上还设置有热能输出管；所述热能输出管上设置有循环泵，所述热能输出管设置于所述氧气供给通路内。优选地，所述热回收管为金属管；所述热能输出管为金属管。通过上述结构设计，本技术提供的自聚焦透镜用镀膜系统基于现有基础，特别提供了控制器、加热器以及静电吸附装置，其中，控制器能够实现本技术的自动控制，从而减少人为干预，降低出错率。设置加热器，能够对充入到真空室内的氧气进行预热，避免低温氧气进入真空室造成真空室的温度骤降，对氧气预热能够提高透镜镀膜的品质。静电吸附装置能够对镀膜尾气进行处理，避免尾气中的离子杂质散播到空气中，避免出现空气污染的情况出现。附图说明图1为本技术实施例中自聚焦透镜用镀膜系统的结构示意图；在图1中，图中标记如下所示：真空室1、控制器2、氧气瓶3、静电吸附装置4、加热器5。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不能用来限制本技术的范围。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。请参考图1，图1为本技术实施例中自聚焦透镜用镀膜系统的结构示意图。本技术提供了一种自聚焦透镜用镀膜系统，包括有真空室1、氧气供给组件、尾气排出组件以及控制器2。在上述结构设计中：真空室1，真空室1采用高强度钢板制成，在真空室1内壁设置一层耐高温板材，例如陶瓷或者耐热砖，采用钢板制成真空室1的外层框架，能够提高真空室1的结构强度，从而保证真空室1能够承受非常高的真空度，在真空室1内设置耐高温板材，能够避免在真空室1室内加热时钢板变形的情况出现。在本技术中，真空室1具有氧气供给安装口以及尾气排出安装口，安装到上述两个安装口上的管路采用法兰连接，如此可以保证管路连接的可
靠性以及保证连接部位保持较高的气密性。控制器2为工控单片机，其具有逻辑、控制功能，控制器2与显示器以及输入设备连接，显示器能够对控制信息等进行显示，输入设备则能够对控制器2的控制参数进行更改。控制器2与本技术中涉及到的电子设备连接，控制器2能够以时间为参数也可以以传感器的监测信号为参数对这些电子设备进行智能控制。氧气供给组件，氧气供给组件包括有氧气瓶3、氧气供给通路、电子阀，电子阀设置于氧气供给通路上用于导通或者闭合氧气供给通路，氧气供给通路的一端与氧气供给安装口连接，氧气供给通路的另一端与氧气瓶3连接，电子阀与控制器2信号连接。氧气供给通路可以采用PE管或者钢管，氧气供给通路与氧气瓶3之间通过螺纹接口方式连接，这样不仅便于氧气瓶3的更换，还能够保证连接的可靠性以及提高连接的气密性。电子阀采用现有技术中常用的电子阀，电子阀安装到氧气供给通路上，通过控制器2对电子阀的控制，能够实现氧气供给通路的开、闭。氧气供给通路与氧气供给安装口连接，能够向真空室1供给氧气，以便于镀膜工艺的进行。尾气排出组件，尾气排出组件包括有静电吸附装置4、尾气排出通路，尾气排出通路的一端与尾气排出安装口连接，尾气排出通路的另一端设置有静电吸附装置4，静电吸附装置4设置于尾气排出通路尾端的管路内部。对于本领域技术人员而言，在对透镜进行镀膜时，真空室1排出的尾气会包含有较多的离子杂质，为了对尾气进行净化，本技术特别设置了静电吸附装置4，静电吸附装置4安装在尾气排出通路上利用静电的吸附作用能够将尾气中的离子杂质进行静电吸附，从而避免尾气污染的情况出现。热传感器，热传感器采用现有技术中常用的热传感器，热传感器的温度检测范围为30℃-350℃。热传感器与控制器2连接，能够将其检测到的温度检测信号发送给控制器2，控制器2能够以该温度检测信号作为控制参数对加热器5进行控制。热加热，加热器5为电热管加热器5，加热器5设置在氧气供给通路上(可以设置在氧气供给通路内，也可以设置在氧气供给通路外侧)，通过热传感作用对经过氧气供给通路的氧气进行加热。通过上述结构设计，本技术提供的自聚焦透镜用镀膜系统基于现有基础，特别提供了控制器2、加热器5以及静电吸附装置4，其中，控制器2能够实现本技术的自动控制，从而减少人为干预，降低出错率。设置加本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自聚焦透镜用镀膜系统，包括有真空室(1)、氧气供给组件、尾气排出组件以及控制器(2)，其特征在于，所述真空室具有氧气供给安装口以及尾气排出安装口；所述氧气供给组件包括有氧气瓶(3)、氧气供给通路、电子阀，所述电子阀设置于所述氧气供给通路上用于导通或者闭合所述氧气供给通路，所述氧气供给通路的一端与所述氧气供给安装口连接，所述氧气供给通路的另一端与所述氧气瓶连接，所述电子阀与所述控制器信号连接；所述尾气排出组件包括有静电吸附装置(4)、尾气排出通路，所述尾气排出通路的一端与所述尾气排出安装口连接，所述尾气排出通路的另一端设置有所述静电吸附装置，所述静电吸附装置设置于所述尾气排出通路尾端的管路内部；还包括有加热器(5)以及热传感器，所述加热器以及所述热传感器均设置于所述氧气供给通路上，所述加热器以及所述热传感器均与所述控制器信号连接。

【技术特征摘要】
1.一种自聚焦透镜用镀膜系统，包括有真空室(1)、氧气供给组件、尾气排出组件以及控制器(2)，其特征在于，所述真空室具有氧气供给安装口以及尾气排出安装口；所述氧气供给组件包括有氧气瓶(3)、氧气供给通路、电子阀，所述电子阀设置于所述氧气供给通路上用于导通或者闭合所述氧气供给通路，所述氧气供给通路的一端与所述氧气供给安装口连接，所述氧气供给通路的另一端与所述氧气瓶连接，所述电子阀与所述控制器信号连接；所述尾气排出组件包括有静电吸附装置(4)、尾气排出通路，所述尾气排出通路的一端与所述尾气排出安装口连接，所述尾气排出通路的另一端设置有所述静电吸附装置，所述静电吸附装置设置于所述尾气排出通路尾端的管路内部；还包括有加热器(5)以及热传感器，所述加热器以及所述热传感器均设置于所述氧气供给通路上，所述加热器以及所述热传感器均与所述控制器信号连接。2.根据权利要求1所述的自聚焦透镜用镀膜系统，其特征在于，所述热传感器设置于所述氧气供给通路与所述氧气供给安装口连接的通路管口上。3.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋海峰，
申请(专利权)人：杰讯光电福建有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35