【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及薄膜制备
，具体涉及一种用于真空、高温镀膜条件下的小曲率半径大口径透镜镀膜夹具。
技术介绍
目前采用电子束蒸发技术制备薄膜元件时，对需镀膜元件的夹持通常使其处于半自由状态，具体指只对需镀膜元件下表面进行夹持，侧面给予少量的伸缩空间，上表面则处于自由状态。这种夹持方式对平面元件比较适合，但对于曲率半径小，口径大的透镜来说并不适应。若采用此种夹持方式，在真空、高温镀膜过程中，由于夹具高速转动和高温热膨胀的双重影响会使镀膜元件发生崩边、磨边及微裂纹现象，导致透镜不可用。因此，我们突破传统夹具设计思想，设计了该专用镀膜夹具，其特征是对透镜采取轴向和径向的弹性夹持，消除透镜在镀膜过程中的横向和径向位移，可保证小曲率半径大口径透镜在真空、高温镀膜过程中的安全性。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种用于真空、高温镀膜条件下的小曲率半径大口径透镜镀膜夹具，该镀膜夹具可保障小曲率半径大口径透镜在镀膜过程中不产生轴向和径向位移，可保证小曲率半径大口径透镜在真空、高温镀膜过程中的安全性。本专利技术的技术解决方案如下：一种小曲率半径大口径透镜镀膜夹具，其特点是该夹具包括轴向弹性夹持结构和径向弹性夹持结构两部分：所述的径向弹性夹持结构包括环形弹性垫圈、圆环形托盘、圆环形夹具盘、侧挡块、调节螺母和压簧，所述的圆环形托盘的内侧有一个环形凹槽，该环形凹槽的直径与待夹持的透镜的通光口径相近，所述的环形...
【技术保护点】
一种小曲率半径大口径透镜镀膜夹具，其特征是该夹具包括轴向弹性夹持结构和径向弹性夹持结构两部分：所述的径向弹性夹持结构包括环形弹性垫圈(1)、圆环形托盘(2)、圆环形夹具盘(3)、侧挡块(4)、调节螺母(5)和压簧(6)，所述的圆环形托盘(2)的内侧有一个环形凹槽，该环形凹槽的直径与待夹持的透镜(12)的通光口径相近，所述的环形弹性垫圈(1)放置在所述的环形凹槽内，在所述的圆环形夹具盘(3)的圆周均匀地设有三个以上的通孔，在每个通孔设置所述的侧挡块(4)，该侧挡块(4)由侧挡和轴杆一体构成，所述的侧挡的内侧为弧面，该弧面的曲率半径与待夹持透镜的曲率半径接近，所述的轴杆套上所述的压簧(6)后从内向外穿过所述的通孔，然后在所述的通孔外的轴杆的螺纹段套设所述的调节螺母(5)；所述的轴向弹性夹持结构包括圆环形盖板(7)和圆环形压板(9)，所述的圆环形盖板(7)盖在所述的圆环形夹具盘(3)上，然后利用螺丝(8)固定之，在所述的圆环形夹具盘(3)內放置所述的圆环形压板(9)，然后通过多组蝶簧(10)和螺丝(11)将所述的圆环形压板(9)固定在所述的圆环形盖板(7)的凹槽內。
【技术特征摘要】
1.一种小曲率半径大口径透镜镀膜夹具，其特征是该夹具包括轴向弹性夹持结
构和径向弹性夹持结构两部分：
所述的径向弹性夹持结构包括环形弹性垫圈(1)、圆环形托盘(2)、圆环形夹
具盘(3)、侧挡块(4)、调节螺母(5)和压簧(6)，所述的圆环形托盘(2)的内
侧有一个环形凹槽，该环形凹槽的直径与待夹持的透镜(12)的通光口径相近，所
述的环形弹性垫圈(1)放置在所述的环形凹槽内，在所述的圆环形夹具盘(3)的
圆周均匀地设有三个以上的通孔，在每个通孔设置所述的侧挡块(4)，该侧挡块(4)
由侧挡和轴杆一体构成，所述的侧挡的内侧为弧面，该弧面的曲率半径与待夹持透
镜的曲率半径接近，所述的轴杆套上所述的压簧(6)后从内向外穿过所述的通孔，
然后在所述的通孔外的轴杆的螺纹段套设...
【专利技术属性】
技术研发人员：柯立公，张伟丽，杨留江，孙建，易葵，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31
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