晶圆检查设备的镜头壳体组合制造技术

一种晶圆检查设备的镜头壳体组合，包含外壳体，具有一顶部，外壳体于该顶部具有第一孔，外壳体于外围具有槽体。透明片，设置在外壳体，并且盖住第一孔。外盖，设置在外壳体，外盖具有第二孔和第三孔，且外盖与外壳体之间形成第一间隙，第一间隙连通第二孔和第三孔。以及框体，套设在外壳体或外盖，框体位在槽体上方，框体具有顶缘，顶缘位置同高或高出外盖。由此，减少受测晶圆上的芯片脱离蓝膜或互相碰撞的情况，也减少蓝膜上的余液。

Lens shell combination of wafer inspection equipment

A combination of the lens shell of a wafer inspection device comprising a shell with a top with a first hole on the top and a body with a tank on the outside. The transparent film is arranged in the shell body and covers the first hole. The outer cover is set in the shell body, the outer cover has second holes and the third hole, and the outer cover and the shell form the first gap, the first gap is connected to the second holes and the third hole. The frame body is arranged on the outer shell or outer cover, and the frame body is positioned above the trough body, and the frame body has a top edge, and the top edge position is high or high. As a result, the chip on the wafer is reduced from the blue film or collided with each other, and the residual liquid on the blue film is also reduced.

【技术实现步骤摘要】
晶圆检查设备的镜头壳体组合
本技术与晶圆检查设备有关，特别是指一种晶圆检查设备的镜头壳体组合。
技术介绍
对于晶圆背面切割道检查而言，多数的检测机台从晶圆背面检测切割道时，会因为被晶圆背面的蓝膜(dicingtape)阻隔而无法获得清晰的影像进而无法精确地检测晶圆背面的切割道缺陷。对此，已有中国台湾申请号101147513专利的技术克服影像不清晰的问题，其系运用浸润液体的折射率和蓝膜的折射率匹配达成获得清晰影像的功效。此外，另有中国台湾申请号102119748专利的技术，让检测机台在检测时具有足够的浸润液体，并且排放多余的浸润液体。然而，运用上述技术的检测机台从晶圆背面检测晶圆时，仍有需要改善的地方，说明如下：1、待检测的晶圆为已经被切割的晶圆，切割道所在之处仅有蓝膜本身而无芯片贴覆。如申请号102119748专利图1-3显示，浸润液体由第一间隙21流至第二间隙31覆盖透明片30的同时也接触蓝膜80，实际上，因为浸润液体为受加压的液体，所以浸润液体流出第二间隙31后会施加压力在蓝膜80上，使得受浸润液体压力的局部区域位置(约透明片30大小)被浸润液体撑高，造成芯片因为局部位置突起而脱离蓝膜，或是相邻芯片因为周围局部位置突起彼此靠近而碰撞。2、由于浸润液体接触蓝膜后会在蓝膜上残留，需要进一步处置残留在蓝膜上的浸润液体，避免残留的浸润液体滴落在检测机台内产生检测机台故障或锈蚀的风险。
技术实现思路
针对前述问题，本技术的目的在于提供一种晶圆检查设备的镜头壳体组合，减少受测晶圆上的芯片脱离蓝膜或互相碰撞的情况。此外，本技术的另一目的在于提供一种晶圆检查设备的镜头壳体组合，能够减少检测晶圆后蓝膜上的余液。为了达成上述目的，本技术提供一种晶圆检查设备的镜头壳体组合，包含一外壳体，具有一顶部，该外壳体于该顶部具有一第一孔，该外壳体于外围具有一槽体；一透明片，设置在该外壳体，并且盖住该第一孔；一外盖，设置在该外壳体，该外盖具有一第二孔和一第三孔，且该外盖与该外壳体之间形成一第一间隙，该第一间隙连通该第二孔和该第三孔：以及一框体，套设在该外壳体或该外盖，该框体位在该槽体上方，该框体具有一顶缘，该顶缘位置同高或高出该外盖。此外，还可以让该框体与该外盖之间形成一第二间隙，液体从该第二间隙流入该槽体。更佳地，该框体具有一刮壁部，该顶缘位于该刮壁部顶端，该刮壁部为橡胶材料制成，用以让该刮壁部保持接触蓝膜。还有，该框体具有一刮壁部，该顶缘位于该刮壁部顶端，该刮壁部于该顶缘的外围形成一斜面，以减少镜头移动时因刮壁部接触蓝膜所造成的摩擦阻力。本技术的有益效果：使用配有本技术所提供的镜头壳体组合的晶圆检测机台时，浸润液体分布范围将会是该框体所围绕的范围，将大于现有技术约透明片大小的范围，因而减少局部区域位置被撑高的程度，减少受测晶圆上的芯片脱离蓝膜或互相碰撞的情况。此外，检测机台执行检测作业时，该框体与受测晶圆背面的蓝膜接触，并且让浸润液体系在该框体内分布，随着镜头移动，该框体将会刮除蓝膜上的余液，故能够减少检测晶圆后蓝膜上的余液。附图说明图1为本技术实施例的立体图。图2为本技术实施例的侧视图。图3为本技术实施例的剖视图。图4为本技术实施例的剖面示意图。其中，附图标记：11外壳体111顶部112第一孔113槽体12透明片13外盖131第二孔132第三孔133第一间隙14框体141顶缘142第二间隙143刮壁部144斜面具体实施方式请参阅图1-4，本技术实施例所提供一种晶圆检查设备的镜头壳体组合，包含一外壳体11、一透明片12、一外盖13和一框体14。该外壳体11，具有一顶部111，该顶部111是锥形突起，该外壳体11于该顶部111具有一第一孔112，当检测机台所使用的镜头设置在该外壳体11内部时，通过该第一孔112撷取孔外的影像。该外壳体11于外围具有一槽体113，该槽体113朝上开设，用来收集浸润液体。该透明片12，设置在该外壳体11，并且盖住该第一孔112，让装设在该外壳体11内的镜头透过该透明片12而撷取到该第一孔112外的影像，并且防止外物，如浸润液体，经过该第一孔112进入到该外壳体11内。该外盖13，设置在该外壳体11，该外盖13具有一第二孔131和一第三孔132，且该外盖13与该外壳体11之间形成一第一间隙133，该第一间隙133连通该第二孔131和该第三孔132。须说明的是，在本实施例中，该第二孔131是供管线输入浸润液体，浸润液体流经该第一间隙133后会由该第三孔132溢流出该外盖13，并且让浸润液体覆盖该透明片12。该第三孔132，是让该第三孔132孔外的影像能够从该透明片12穿透进入该外壳体11内。该框体14，套设在该外壳体11或该外盖13，在本实施例中以套设在该外盖13为例，但是不以此为限，也可以套设在该外壳体11。该框体14位在该槽体113上方，如此一来，浸润液体能够从该框体14顺利地流入该槽体113。另外，该框体14具有一顶缘141，该顶缘141位置同高或高出该外盖13，由此确保检测机台运作时，该框体14因为该顶缘141相对于该外盖13的位置关系，能够持续地接触蓝膜。值得一提的是，本实施例中，该框体14与该外盖13之间形成一第二间隙142，供浸润液体从该第二间隙142流入该槽体113。若不设该第二间隙142，则浸润液体将从该框体14溢流而出，会产生该框体14没有持续接触蓝膜的情况，减低该框体14刮除蓝膜上余液的效果。此外，在本实施例中，该框体14具有一刮壁部143，该顶缘141位于该刮壁部143顶端，该刮壁部143具有弹性，例如为橡胶材料制成，藉此减少该框体14没有持续接触蓝膜的情况。而且，该刮壁部143于该顶缘141的外围形成一斜面144，用以减少镜头移动时因该刮壁部143接触蓝膜所造成的摩擦阻力。当然，本技术还可有其它多种实施例，在不背离本技术精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员可根据本技术作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本技术权利要求的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶圆检查设备的镜头壳体组合，其特征在于，该镜头壳体组合包含：一外壳体，具有一顶部，该外壳体于该顶部具有一第一孔，该外壳体于外围具有一槽体；一透明片，设置在该外壳体，并且盖住该第一孔；一外盖，设置在该外壳体，该外盖具有一第二孔和一第三孔，且该外盖与该外壳体之间形成一第一间隙，该第一间隙连通该第二孔和该第三孔；以及一框体，套设在该外壳体或该外盖，该框体位在该槽体上方，该框体具有一顶缘，该顶缘位置同高或高出该外盖。

【技术特征摘要】
2016.11.02 TW 1051354801.一种晶圆检查设备的镜头壳体组合，其特征在于，该镜头壳体组合包含：一外壳体，具有一顶部，该外壳体于该顶部具有一第一孔，该外壳体于外围具有一槽体；一透明片，设置在该外壳体，并且盖住该第一孔；一外盖，设置在该外壳体，该外盖具有一第二孔和一第三孔，且该外盖与该外壳体之间形成一第一间隙，该第一间隙连通该第二孔和该第三孔；以及一框体，套设在该外壳体或该外盖，该框体位...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈建成，
申请(专利权)人：亚亚科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71