一种可移动冷却机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种冷却机，尤其涉及一种可移动冷却机，包括：水平运动部件，用于进行水平运动；冷却箱，固定于水平运动部件上；冷却箱包括：一箱体；一进水管，分别与箱体和化学气相沉积设备连接，用于将化学气相沉积设备中的液体输入至箱体中；一水泵，用于将箱体中的液体泵出；一出水管，分别连接水泵和化学气相沉积设备，用于将水泵泵出的液体输送回化学气相沉积设备；一冷却设备，设置于箱体内，用于对箱体中的液体进行冷却；能够将化学气相沉积的设备中的液体提取出来进行冷却，提高了液体冷却的效率，便于设备维护，同时冷却机能够移动，使用灵活。

A removable cooling machine

The utility model relates to a cooling machine, in particular a movable cooling machine, including a horizontal moving part for horizontal movement, a cooling box, fixed to a horizontal moving part, and a cooling box consisting of a box, a inlet pipe, connected to a cabinet and a chemical vapor deposition equipment, for chemical gas phase. The liquid in the deposition equipment into the box; a pump used to pump out the liquid in the box; a water pipe, connected to a pump and a chemical vapor deposition equipment, used to pump the pump out of the liquid to the chemical vapor deposition equipment; a cooling device, set in a box, used to cold the liquid in the box. However, the liquid in the chemical vapor deposition equipment can be extracted and cooled to improve the efficiency of the liquid cooling and the maintenance of the equipment. At the same time, the cooling machine can be moved and used flexibly.

【技术实现步骤摘要】
一种可移动冷却机
本技术涉及一种冷却机，尤其涉及一种可移动冷却机。
技术介绍
化学气相沉积机台主要由反应室、供气系统和加热系统组成，反应室是实现化学气相沉积的最基本的部分，常采用石英管制成，采用腔体存放用于进行反应的液体。现有的机台的情况是，多个腔体公用一个冷却机，冷却温度为75℃，但这样的温度过高，无法满足设备维护要求的40℃以下的温度，因此无法使用冷却机对液体进行冷却降温。即使一些机台能够实现单腔体降温，从75℃降至40℃也需要大约1.5小时，并且腔体温度过高不利于设备维护的拆卸和安装操作，例如会产生螺丝热涨而滑丝的现象。
技术实现思路
针对上述问题，本技术提出了一种可移动冷却机，应用于对一化学气相沉积设备中的液体进行冷却；其中，包括：水平运动部件，用于进行水平运动；冷却箱，固定于所述水平运动部件上；所述冷却箱包括：一箱体；一进水管，分别与所述箱体和所述化学气相沉积设备连接，用于将所述化学气相沉积设备中的液体输入至所述箱体中；一水泵，用于将所述箱体中的液体泵出；一出水管，分别连接所述水泵和所述化学气相沉积设备，用于将所述水泵泵出的液体输送回所述化学气相沉积设备；一冷却设备，设置于所述箱体内，用于对所述箱体中的液体进行冷却。上述的可移动冷却机，其中，所述冷却设备为风扇。上述的可移动冷却机，其中，所述进水管和所述出水管的两头均设置有快接接头。上述的可移动冷却机，其中，所述冷却箱还包括：内设管道，设置于所述箱体内与所述进水管连接；所述内设管道远离所述进水管的一端延伸至所述箱体的底部。上述的可移动冷却机，其中，所述进水管和所述出水管均为防爆水管。上述的可移动冷却机，其中，所述液体为乙二醇和去离子水的混合液。上述的可移动冷却机，其中，还包括：一把手，与所述水平运动部件连接。有益效果：本技术提出的一种可移动冷却机能够将化学气相沉积的设备中的液体提取出来进行冷却，提高了液体冷却的效率，便于设备维护，同时冷却机能够移动，使用灵活。附图说明图1为本技术一实施例中可移动冷却机的结构示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术进行进一步说明。在一个较佳的实施例中，如图1所示，提出了一种可移动冷却机，可以应用于对一化学气相沉积设备中的液体进行冷却；其中，可以包括：水平运动部件10，用于进行水平运动；冷却箱20，固定于水平运动部件上；冷却箱20包括：一箱体21；一进水管22，分别与箱体21和化学气相沉积设备连接，用于将化学气相沉积设备中的液体输入至箱体21中；一水泵23，用于将箱体21中的液体泵出；一出水管24，分别连接水泵23和化学气相沉积设备，用于将水泵23泵出的液体输送回化学气相沉积设备；一冷却设备25，设置于箱体21内，用于对箱体21中的液体进行冷却。上述技术方案中，化学气相沉积设备中的液体进入该冷却机后，腔体为空腔状态，温度迅速降低，设备维护工作可以快速开始，无需等待，能够提高设备的维护效率。在一个较佳的实施例中，冷却设备25为风扇，实现容易，成本低廉。在一个较佳的实施例中，进水管22和出水管24的两头均设置有快接接头，与水平运动部件10相配合能够实现冷却机的灵活高效地使用于不同的机台之间。在一个较佳的实施例中，冷却箱20还可以包括：内设管道26，设置于箱体21内与进水管22连接；内设管道26远离进水管22的一端延伸至箱体21的底部，从而最大程度地避免进入箱体21的液体对箱体21内的液体的扰动最小，并且避免液体与空气接触，从而使得冷却机对液体的性质和功能的影响最小。在一个较佳的实施例中，进水管22和出水管24可以均为防爆水管，起安全防护的作用。在一个较佳的实施例中，液体可以为乙二醇和去离子水的混合液。在一个较佳的实施例中，还可以包括：一把手11，与水平运动部件10连接，便于工作人员推/拉施力使得水平运动部件10运动。通过说明和附图，给出了具体实施方式的特定结构的典型实施例，基于本技术精神，还可作其他的转换。尽管上述技术提出了现有的较佳实施例，然而，这些内容并不作为局限。对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本技术的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容，都应认为仍属本技术的意图和范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可移动冷却机，应用于对一化学气相沉积设备中的液体进行冷却；其特征在于，包括：水平运动部件，用于进行水平运动；冷却箱，固定于所述水平运动部件上；所述冷却箱包括：一箱体；一进水管，分别与所述箱体和所述化学气相沉积设备连接，用于将所述化学气相沉积设备中的液体输入至所述箱体中；一水泵，用于将所述箱体中的液体泵出；一出水管，分别连接所述水泵和所述化学气相沉积设备，用于将所述水泵泵出的液体输送回所述化学气相沉积设备；一冷却设备，设置于所述箱体内，用于对所述箱体中的液体进行冷却。

【技术特征摘要】
1.一种可移动冷却机，应用于对一化学气相沉积设备中的液体进行冷却；其特征在于，包括：水平运动部件，用于进行水平运动；冷却箱，固定于所述水平运动部件上；所述冷却箱包括：一箱体；一进水管，分别与所述箱体和所述化学气相沉积设备连接，用于将所述化学气相沉积设备中的液体输入至所述箱体中；一水泵，用于将所述箱体中的液体泵出；一出水管，分别连接所述水泵和所述化学气相沉积设备，用于将所述水泵泵出的液体输送回所述化学气相沉积设备；一冷却设备，设置于所述箱体内，用于对所述箱体中的液体进行冷却。2.根据权利要求1所述的可移动冷却机，其特征在于，所述冷却...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑高锋，
申请(专利权)人：武汉新芯集成电路制造有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北,42