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本实用新型涉及一种冷却机，尤其涉及一种可移动冷却机，包括：水平运动部件，用于进行水平运动；冷却箱，固定于水平运动部件上；冷却箱包括：一箱体；一进水管，分别与箱体和化学气相沉积设备连接，用于将化学气相沉积设备中的液体输入至箱体中；一水泵，用于...
该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。

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