一种可移动冷却机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种冷却机，尤其涉及一种可移动冷却机，包括：水平运动部件，用于进行水平运动；通过一第一阀门连接的一第一冷却箱和一第二冷却箱；第二冷却箱密封；进水管，分别与第一冷却箱和化学气相沉积设备连接，用于将化学气相沉积设备中的液体输入至第一冷却箱中；进气管，与第二冷却箱连接，用于向第二冷却箱内输气；排气管，与第二冷却箱连接，用于从第二冷却箱中向外排气，且排气管上设置有一第二阀门；出水管，分别与第二冷却箱和化学气相沉积设备连接，用于在进气管进气时将第二冷却箱内受压的液体输出至化学气相沉积设备中；能够将化学气相沉积的设备中的液体提取出来进行冷却，提高了液体冷却的效率，便于设备维护，同时冷却机能够移动，使用灵活。

A removable cooling machine

The utility model relates to a cooling machine, in particular a movable cooling machine, including a horizontal moving part for horizontal movement, a first cooling box and a second cooling box connected through a first valve, a second cooling box seal, and a water inlet pipe connected to the first cooling box and chemical vapor deposition equipment, respectively. Connect the liquid in the chemical vapor deposition equipment into the first cooling box; the intake pipe is connected to the second cooling box for gas transmission in the second cooling box; the exhaust pipe is connected to the second cooling box to exhaust from the second cooling box, and the exhaust pipe is set up with a second valve; outlet pipes, respectively, It is connected with the second cooling box and chemical vapor deposition equipment to output the compressed liquid in the second cooling box to the chemical vapor deposition equipment when the intake pipe is intake. It can cool the liquid in the chemical vapor deposition equipment to improve the efficiency of the liquid cooling, facilitate the maintenance of the equipment, and cooling at the same time. The machine can move and use flexibly.

【技术实现步骤摘要】
一种可移动冷却机
本技术涉及一种冷却机，尤其涉及一种可移动冷却机。
技术介绍
化学气相沉积机台主要由反应室、供气系统和加热系统组成，反应室是实现化学气相沉积的最基本的部分，常采用石英管制成，采用腔体存放用于进行反应的液体。现有的机台的情况是，多个腔体公用一个冷却机，冷却温度为75℃，但这样的温度过高，无法满足设备维护要求的40℃以下的温度，因此无法使用冷却机对液体进行冷却降温。即使一些机台能够实现单腔体降温，从75℃降至40℃也需要大约1.5小时，并且腔体温度过高不利于设备维护的拆卸和安装操作，例如会产生螺丝热涨而滑丝的现象。
技术实现思路
针对上述问题，本技术提出了一种可移动冷却机，应用于对一化学气相沉积设备中的液体进行冷却；其中，包括：水平运动部件，用于进行水平运动；通过一第一阀门连接的一第一冷却箱和一第二冷却箱；所述第二冷却箱密封；进水管，分别与所述第一冷却箱和所述化学气相沉积设备连接，用于将所述化学气相沉积设备中的液体输入至所述第一冷却箱中；进气管，与所述第二冷却箱连接，用于向所述第二冷却箱内输气；排气管，与所述第二冷却箱连接，用于从所述第二冷却箱中向外排气，且所述排气管上设置有一第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可移动冷却机，应用于对一化学气相沉积设备中的液体进行冷却；其特征在于，包括：水平运动部件，用于进行水平运动；通过一第一阀门连接的一第一冷却箱和一第二冷却箱；所述第二冷却箱密封；进水管，分别与所述第一冷却箱和所述化学气相沉积设备连接，用于将所述化学气相沉积设备中的液体输入至所述第一冷却箱中；进气管，与所述第二冷却箱连接，用于向所述第二冷却箱内输气；排气管，与所述第二冷却箱连接，用于从所述第二冷却箱中向外排气，且所述排气管上设置有一第二阀门；出水管，分别与所述第二冷却箱和所述化学气相沉积设备连接，用于在所述进气管进气时将所述第二冷却箱内受压的液体输出至所述化学气相沉积设备中。

【技术特征摘要】
1.一种可移动冷却机，应用于对一化学气相沉积设备中的液体进行冷却；其特征在于，包括：水平运动部件，用于进行水平运动；通过一第一阀门连接的一第一冷却箱和一第二冷却箱；所述第二冷却箱密封；进水管，分别与所述第一冷却箱和所述化学气相沉积设备连接，用于将所述化学气相沉积设备中的液体输入至所述第一冷却箱中；进气管，与所述第二冷却箱连接，用于向所述第二冷却箱内输气；排气管，与所述第二冷却箱连接，用于从所述第二冷却箱中向外排气，且所述排气管上设置有一第二阀门；出水管，分别与所述第二冷却箱和所述化学气相沉积设备连接，用于在所述进气管进气时将所述第二冷却箱内受压的液体输出至所述化学气相沉积设备中。2.根据权利要求1所述的可移动冷却机，其特征在于，还包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑高锋，
申请(专利权)人：武汉新芯集成电路制造有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北,42